JP2012099598A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012099598A JP2012099598A JP2010245149A JP2010245149A JP2012099598A JP 2012099598 A JP2012099598 A JP 2012099598A JP 2010245149 A JP2010245149 A JP 2010245149A JP 2010245149 A JP2010245149 A JP 2010245149A JP 2012099598 A JP2012099598 A JP 2012099598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- atoms
- electrode layer
- semiconductor device
- silicon carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims abstract description 83
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 45
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims abstract description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 17
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 64
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910021334 nickel silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N nickel silicide Chemical compound [Ni]=[Si]=[Ni] RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 that is Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910021484 silicon-nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/048—Making electrodes
- H01L21/0485—Ohmic electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/45—Ohmic electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66053—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide
- H01L29/66068—Multistep manufacturing processes of devices having a semiconductor body comprising crystalline silicon carbide the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1608—Silicon carbide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】電極層16は、炭化珪素基板90上に接し、かつNi原子およびSi原子を有する。Ni原子の数はNi原子およびSi原子の総数の67%以上である。電極層16の少なくとも炭化珪素基板90に接する側はSiおよびNiの化合物を含む。電極層16の表面側においてC原子濃度はNi原子濃度よりも小さい。
【選択図】図1
Description
好ましくは半導体装置は、電極層の表面側に接する金属パッド層を有する。金属パッド層は好ましくはAl層である。好ましくは金属パッド層は、電極層上に形成された密着層と、密着層上に形成された本体層とを含む。密着層は、Ti、TiW、およびTiNのいずれかから作られている。
(実施の形態1)
図1を参照して、本実施の形態の半導体装置は、炭化珪素基板90と、電極層16と、金属パッド層19とを有する。
図2(A)を参照して、まず炭化珪素基板90が準備される。次に、炭化珪素基板90上に接し、かつNi原子およびSi原子を有する材料層50aが形成される。Ni原子の数はNi原子およびSi原子の総数の67%以上である。材料層50aは、SiおよびNiの混合層である。この混合層の形成は、たとえば、Siからなるターゲットと、Niからなるターゲットとを同時にスパッタすることによって行うことができる。
図3を参照して、本変形例の半導体装置の金属パッド層19Vは、電極層16上に形成された密着層19aと、密着層19a上に形成された本体層19bとを含む。密着層19aは、Ti、TiW、およびTiNのいずれかから作られている。本体層19bは、好ましくはAl層またはAl−Si層である。
主に図4を参照して、本実施の形態においては材料層50a(図2(A))の代わりに材料層50bが形成される。材料層50bを形成する工程はSi層51およびNi層52を積層する工程を含む。好ましくは、形成される積層体の最上層はNi層52とされる。これにより、アニール後に得られる電極層16の表面側におけるNi原子の比率を高めることができるので、電極層16の表面側の電気伝導度を高めることができる。
本実施の形態においては、上述した実施の形態1または2の半導体装置のより詳しい構造の一例について説明する。
SIMSを用いた濃度プロファイルデータを参照しつつ、本発明に対する比較例について説明する。なお金属層の表面上への金属パッド層の形成は行わなかったので、濃度プロファイルにおけるスパッタ時間0の近傍が電極層の表面に対応する。またスパッタレートは約10nm/分とされた。また測定の前には、表面の洗浄処理が行われた。以下に、比較例について具体的に説明する。
材料層50aの代わりにNi層が用いられた。またレーザアニールの代わりにランプアニールが用いられた。
材料層50b(図4)として、Niが80原子%、Siが20原子%となるような積層体が用いられた。またレーザアニールの代わりにランプアニールが用いられた。
材料層50a(図2(A))の代わりに、よりNi比率の低い層が用いられた。具体的には、Ni65原子%、Si35原子%の組成を有する混合層が用いられた。またレーザアニールの代わりにランプアニールが用いられた。得られた電極層の平均的な電気伝導度は、本発明の実施例のものに比して低かった。
Claims (12)
- 炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板上に接し、かつNi原子およびSi原子を有する電極層とを備え、
前記Ni原子の数は前記Ni原子および前記Si原子の総数の67%以上であり、
前記電極層の少なくとも前記炭化珪素基板に接する側はSiおよびNiの化合物を含み、
前記電極層の表面側においてC原子濃度はNi原子濃度よりも小さい、半導体装置。 - 電極層の表面側において、C原子濃度は3%未満である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記電極層の表面側に接する金属パッド層をさらに備える、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記金属パッド層はAl層を含む、請求項3に記載の半導体装置。
- 前記金属パッド層は、前記電極層上に形成された密着層と、前記密着層上に形成された本体層とを含み、前記密着層は、Ti、TiW、およびTiNのいずれかから作られている、請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記電極層の表面側におけるSi原子濃度は30%より小さい、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 炭化珪素基板を準備する工程と、
前記炭化珪素基板上に接し、かつNi原子およびSi原子を有する材料層を形成する工程とを備え、
前記Ni原子の数は前記Ni原子および前記Si原子の総数の67%以上であり、さらに
前記材料層をレーザ光でアニールすることによって、少なくとも前記炭化珪素基板に接する側がSiおよびNiの化合物を含む電極層を形成する工程を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記電極層の上に金属パッド層を形成する工程をさらに備える、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属パッド層はAl層を含む、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属パッド層を形成する工程は、前記電極層上に密着層を形成する工程と、前記密着層上に本体層を形成する工程とを含み、前記密着層は、Ti、TiW、およびTiNのいずれかから形成される、請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記材料層を形成する工程はSiおよびNiの混合層を形成する工程を含む、請求項7〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記材料層を形成する工程はSi層およびNi層を積層する工程を含む、請求項7〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010245149A JP5418466B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
KR1020127023119A KR20130122898A (ko) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
CA2790077A CA2790077A1 (en) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
CN201180013968.2A CN102804342B (zh) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | 半导体器件及其制造方法 |
PCT/JP2011/073995 WO2012060222A1 (ja) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | 半導体装置およびその製造方法 |
US13/579,482 US8823017B2 (en) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
EP11837873.6A EP2637198B1 (en) | 2010-11-01 | 2011-10-19 | Method of manufacturing a semiconductor device |
TW100138734A TW201234609A (en) | 2010-11-01 | 2011-10-25 | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010245149A JP5418466B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012099598A true JP2012099598A (ja) | 2012-05-24 |
JP2012099598A5 JP2012099598A5 (ja) | 2013-07-25 |
JP5418466B2 JP5418466B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=46024339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010245149A Active JP5418466B2 (ja) | 2010-11-01 | 2010-11-01 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8823017B2 (ja) |
EP (1) | EP2637198B1 (ja) |
JP (1) | JP5418466B2 (ja) |
KR (1) | KR20130122898A (ja) |
CN (1) | CN102804342B (ja) |
CA (1) | CA2790077A1 (ja) |
TW (1) | TW201234609A (ja) |
WO (1) | WO2012060222A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013190901A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
WO2014097714A1 (ja) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | 住友重機械工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
WO2016027584A1 (ja) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
DE102015213318A1 (de) | 2014-08-20 | 2016-02-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer Siliziumkarbidhalbleitervorrichtung |
JP2016046308A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP2016046448A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 住友重機械工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP2016046309A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JPWO2014065018A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-09-08 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2017168676A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体素子および炭化珪素半導体素子の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5962475B2 (ja) * | 2012-12-06 | 2016-08-03 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法及び炭化珪素半導体装置 |
JP2016046449A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 住友重機械工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP6728096B2 (ja) | 2017-04-24 | 2020-07-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 |
JP6728097B2 (ja) | 2017-04-24 | 2020-07-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 |
DE102019101268A1 (de) * | 2019-01-18 | 2020-07-23 | Psc Technologies Gmbh | Verfahren zur Herstellung oder Modifizierung von siliciumcarbidhaltigen Objekten |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6422026A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Sony Corp | Manufacture of semiconductor device |
JP2006202883A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2007534143A (ja) * | 2003-08-14 | 2007-11-22 | クリー インコーポレイテッド | 金属−炭化珪素オーミックコンタクトの局所的アニーリングおよびそのようにして形成された素子 |
JP2008117923A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | SiC半導体用オーミック電極、SiC半導体用オーミック電極の製造方法、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2009509339A (ja) * | 2005-09-16 | 2009-03-05 | クリー インコーポレイテッド | 炭化ケイ素パワーデバイスを有する半導体ウェハを処理する方法 |
JP2010062402A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010103229A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3079851B2 (ja) | 1993-09-28 | 2000-08-21 | 富士電機株式会社 | 炭化けい素電子デバイスの製造方法 |
US7297626B1 (en) * | 2001-08-27 | 2007-11-20 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Process for nickel silicide Ohmic contacts to n-SiC |
KR100586949B1 (ko) * | 2004-01-19 | 2006-06-07 | 삼성전기주식회사 | 플립칩용 질화물 반도체 발광소자 |
US20070138482A1 (en) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Nissan Motor Co., Ltd. | Silicon carbide semiconductor device and method for producing the same |
US8076736B2 (en) * | 2007-02-14 | 2011-12-13 | Panasonic Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP4291875B2 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-07-08 | パナソニック株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-11-01 JP JP2010245149A patent/JP5418466B2/ja active Active
-
2011
- 2011-10-19 CN CN201180013968.2A patent/CN102804342B/zh active Active
- 2011-10-19 KR KR1020127023119A patent/KR20130122898A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-10-19 CA CA2790077A patent/CA2790077A1/en not_active Abandoned
- 2011-10-19 WO PCT/JP2011/073995 patent/WO2012060222A1/ja active Application Filing
- 2011-10-19 US US13/579,482 patent/US8823017B2/en active Active
- 2011-10-19 EP EP11837873.6A patent/EP2637198B1/en active Active
- 2011-10-25 TW TW100138734A patent/TW201234609A/zh unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6422026A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Sony Corp | Manufacture of semiconductor device |
JP2007534143A (ja) * | 2003-08-14 | 2007-11-22 | クリー インコーポレイテッド | 金属−炭化珪素オーミックコンタクトの局所的アニーリングおよびそのようにして形成された素子 |
JP2006202883A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2009509339A (ja) * | 2005-09-16 | 2009-03-05 | クリー インコーポレイテッド | 炭化ケイ素パワーデバイスを有する半導体ウェハを処理する方法 |
JP2008117923A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | SiC半導体用オーミック電極、SiC半導体用オーミック電極の製造方法、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2010062402A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010103229A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013190901A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2014003252A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
US8866156B2 (en) | 2012-06-21 | 2014-10-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide semiconductor device and method for manufacturing same |
US9892919B2 (en) | 2012-10-23 | 2018-02-13 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device manufacturing method |
JPWO2014065018A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-09-08 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
WO2014097714A1 (ja) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | 住友重機械工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2016046308A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP2016046310A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2016046309A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
US9384981B2 (en) | 2014-08-20 | 2016-07-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device |
DE102015213318A1 (de) | 2014-08-20 | 2016-02-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer Siliziumkarbidhalbleitervorrichtung |
WO2016027584A1 (ja) * | 2014-08-20 | 2016-02-25 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
JP2016046448A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 住友重機械工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP2017168676A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体素子および炭化珪素半導体素子の製造方法 |
US9978598B2 (en) | 2016-03-16 | 2018-05-22 | Fuji Electric Co., Ltd. | Silicon carbide semiconductor device and method of manufacturing silicon carbide semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2637198B1 (en) | 2018-09-26 |
WO2012060222A1 (ja) | 2012-05-10 |
JP5418466B2 (ja) | 2014-02-19 |
KR20130122898A (ko) | 2013-11-11 |
TW201234609A (en) | 2012-08-16 |
US8823017B2 (en) | 2014-09-02 |
EP2637198A4 (en) | 2014-12-31 |
WO2012060222A9 (ja) | 2012-10-11 |
EP2637198A1 (en) | 2013-09-11 |
US20120319135A1 (en) | 2012-12-20 |
CN102804342B (zh) | 2016-08-03 |
CA2790077A1 (en) | 2012-05-10 |
CN102804342A (zh) | 2012-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5418466B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR101780619B1 (ko) | 반도체 장치와 그 제조 방법 | |
JP6099298B2 (ja) | SiC半導体デバイス及びその製造方法 | |
JP4221012B2 (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2008227174A (ja) | P型4H−SiC基板上のオーミック電極の形成方法 | |
US20150069613A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
CN110797260A (zh) | 用于碳化硅功率半导体器件上的背侧欧姆接触的碳受控欧姆接触层 | |
JP2010205824A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6728097B2 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 | |
JP2012099599A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5156059B2 (ja) | ダイオードとその製造方法 | |
JP2016046310A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
CN104335328A (zh) | 碳化硅半导体装置的制造方法以及由该方法制造的碳化硅半导体装置 | |
JP5920275B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010056100A (ja) | ショットキーバリアダイオード | |
JP5446161B2 (ja) | ショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 | |
US8173523B2 (en) | Method of removing heavy metal in semiconductor substrate | |
JP6089235B2 (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
JP2017168673A (ja) | 炭化珪素半導体素子および炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
JP6540547B2 (ja) | Mpsダイオード | |
JP6439642B2 (ja) | Mpsダイオードの製造方法 | |
JP2014130979A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP6918902B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5939626B2 (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
JP2016149428A (ja) | 半導体装置とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5418466 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |