JP2012092974A - 板ばね、ステージシステム、及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つのオブジェクトの間に装着される板ばねであって、該板ばねが2つの直交方向に高い剛性を有し、他の自由度で比較的低い剛性を有するように構成され、板ばねが実質的にパネル状の本体を有し、板ばねが、板ばねを2つのオブジェクトのうち第1のオブジェクトに装着するためのパネル状の本体の中心又は中心付近の第1の装着位置を含み、板ばねが、板ばねを2つのオブジェクトのうち第2のオブジェクトに装着するためのパネル状の本体の周縁又は周縁付近の1つ又は複数の第2の装着位置と、第1の装着位置と第2の装着位置の間のパネル状の本体の細長い溝及び/又はスリットとを含み、溝及び/又はスリットが2つの直交方向の平面内で少なくとも2つの非直交方向に走る板ばね。
【選択図】図1
Description
上記板ばねが上記板ばねを第1のステージ部に装着するためのパネル状の本体の中心又は中心付近の第1の装着位置を含み、
上記板ばねが上記板ばねを第2のステージ部に装着するためのパネル状の本体の周縁又は周縁付近の1つ又は複数の第2の装着位置を含み、上記板ばねが第1の装着位置と第2の装着位置の間のパネル状の本体の細長い溝及び/又はスリットを含み、溝及び/又はスリットが2つの直交方向の平面内で少なくとも2つの非直交方向に走り、第1のステージ部が各板ばねの第1の装着位置に接続され、1つ又は複数の第2の装着位置が第2のステージ部に接続されたステージシステムが提供される。
上記リソグラフィ装置がステージシステムを備え、ステージシステムが第1のステージ部と、第2のステージ部とを備え、第1のステージ部が1つ又は複数の板ばねで第2のステージ部に装着され、各板ばねが2つの直交方向に高い剛性を有し、他の自由度で比較的低い剛性を有するように構成され、上記板ばねが実質的にパネル状の本体を有し、
上記板ばねが上記板ばねを第1のステージ部に装着するためのパネル状の本体の中心又は中心付近の第1の装着位置を含み、上記板ばねが上記板ばねを第2のステージ部に装着するためのパネル状の本体の周縁又は周縁付近の1つ又は複数の第2の装着位置を含み、上記板ばねが第1の装着位置と第2の装着位置の間のパネル状の本体の細長い溝及び/又はスリットを備え、溝及び/又はスリットが2つの直交方向の平面内で少なくとも2つの非直交方向に走り、第1のステージ部が各板ばねの第1の装着位置に接続され、1つ又は複数の第2の装着位置が第2のステージ部に接続されたリソグラフィ装置が提供される。
1.ステップモードにおいては、パターニングデバイス支持体(例えばマスクテーブル)MT又は「マスク支持体」及び基板テーブルWT又は「基板支持体」は、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWT又は「基板支持体」がX方向及び/又はY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静的露光で像が形成されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
2.スキャンモードにおいては、パターニングデバイス支持体(例えばマスクテーブル)MT又は「マスク支持体」及び基板テーブルWT又は「基板支持体」は同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。パターニングデバイス支持体(例えばマスクテーブル)MT又は「マスク支持体」に対する基板テーブルWT又は「基板支持体」の速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
3.別のモードでは、パターニングデバイス支持体(例えばマスクテーブル)MT又は「マスク支持体」はプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWT又は「基板支持体」を移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWT又は「基板支持体」を移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
Claims (15)
- 2つのオブジェクトの間に装着され、2つの直交方向に高い剛性を有し、他の自由度で比較的低い剛性を有するように構成された板ばねであって、前記板ばねが実質的にパネル状の本体を有し、前記板ばねが、
前記板ばねを前記2つのオブジェクトのうち第1のオブジェクトに装着するための前記パネル状の本体の中心又は中心付近の第1の装着位置と、
前記板ばねを前記2つのオブジェクトのうち第2のオブジェクトに装着するための前記パネル状の本体の周縁又は周縁付近の1つ又は複数の第2の装着位置と、
前記第1の装着位置と前記第2の装着位置の間に配置された前記パネル状の本体の細長い溝及び/又はスリットであって、前記2つの直交方向の平面内で少なくとも2つの非直交方向に走る溝及び/又はスリットと、
を備える板ばね。 - 前記細長い溝及び/又はスリットが直線状である、請求項1に記載の板ばね。
- 前記パネル状の本体が矩形形状を有し、前記矩形の本体の中央部が前記第1の装着位置を画定し、前記本体の反対の側の2つの部分が第2の装着位置を画定し、前記中央部と前記それぞれの反対側の部分との間に第1及び第2の中間部が提供される、請求項1に記載の板ばね。
- 前記中央部と各中間部との間及び前記中間部と前記側面部との間に第1の直線状の溝が配置され、前記直線状の溝が互いに平行に走り、第2の直線状の溝が、各中間部の上に、第1の直線状の溝に対して平行でも垂直でもない角度に配置された、請求項3に記載の板ばね。
- 前記第2の直線状の溝が各々、前記中間部の1つの上で前記側面部と前記中間部との間の前記第1の直線状の溝の一端部から前記中間部と前記中央部との間の前記第1の直線状の溝の一端部へと走り、前記側面部と前記中間部との間の前記第1の直線状の溝の前記端部と、前記中間部と前記中央部との間の前記第1の直線状の溝の前記端部とが前記本体の反対側に配置される、請求項4に記載の板ばね。
- 前記溝が、前記第1の装着位置に対して半径方向に延在するスポーク要素を形成する、請求項1に記載の板ばね。
- 前記スポーク要素の各々の周縁が、2つの直線状の溝又はスリットによって画定され、2つの別の溝又はスリットが2つの異なる半径方向の距離をもって前記第1の装着位置に対して実質的に接線方向に延在する、請求項6に記載の板ばね。
- 前記板ばねが、少なくとも12のスポーク要素を有する、請求項6に記載の板ばね。
- 前記スポーク要素が、前記第1の装着位置を中心として360度にわたって実質的に分割される、請求項6に記載の板ばね。
- 1つ又は複数の前記第2の装着位置が、前記本体の周縁を中心に延在する、請求項6に記載の板ばね。
- 第1のステージ部と、第2のステージ部とを備えるステージシステムであって、請求項1に記載するように前記第1のステージ部が1つ又は複数の板ばねで前記第2のステージ部に装着され、前記第1のステージ部が各板ばねの前記第1の装着位置に接続され、前記1つ又は複数の第2の装着位置が前記第2のステージ部に接続されるステージシステム。
- 前記ステージシステムが、前記第1のステージ部と前記第2のステージ部との間に3つの板ばねを備え、前記3つの板ばねが、3つの異なる向きに装着されて前記第1のステージ部と前記第2のステージ部との間に正確に6自由度の堅固な装着を提供する、請求項11に記載のステージシステム。
- 前記第1のステージ部が、ミラーブロックで、前記第2のステージ部が前記ステージのモータの一部である、請求項11に記載のステージシステム。
- 前記第1の装着位置が、前記第1のステージ部へのボルト又はボルト様の接続用に構成され、前記1つ又は複数の第2の装着位置が、前記第2のステージ部への接着接続用に構成される、請求項13に記載のステージシステム。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
前記パターン付放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムとを備え、
前記リソグラフィ装置が、請求項12に記載のステージシステムを備えるリソグラフィ装置。
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