JP2012064824A - 固体撮像素子、その製造方法、カメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、固体撮像素子は、2次元配列された複数の光電変換部を有する基板と、前記基板に対して積層され、前記各光電変換部に向けて特定の波長域の光を透過させる複数のカラーフィルタと、を備える。前記各カラーフィルタは、相対的に屈折率の異なる第1の層と第2の層との積層構造を有する積層構造部と、2次元方向に周期性を有する周期構造部であって、透過波長域ごとに周期が異なる周期構造部と、を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係る固体撮像素子の模式断面図である。
D=λ/(4×n)で決定される。
図7は、第2実施形態に係る固体撮像素子におけるカラーフィルタ20’B、20’G、20’Rの模式断面図である。図7には、カラーフィルタ20’B、20’G、20’Rのみを示すが、他の基板10、配線層13、マイクロレンズ51などの構造は、前述した実施形態と同じである。
図9は、第3実施形態に係る固体撮像素子の模式断面図である。
図11(a)は、前述した実施形態の固体撮像素子を用いたカメラの模式図である。
Claims (10)
- 2次元配列された複数の光電変換部を有する基板と、
前記基板に対して積層され、前記各光電変換部に向けて特定の波長域の光を透過させる複数のカラーフィルタと、
を備え、
前記各カラーフィルタは、
相対的に屈折率の異なる第1の層と第2の層との積層構造を有する積層構造部と、
2次元方向に周期性を有する周期構造部であって、透過波長域ごとに周期が異なる周期構造部と、
を有することを特徴とする固体撮像素子。 - 前記基板に対して積層され、前記光電変換部と電気的に接続された配線層をさらに備え、前記基板上に前記配線層が設けられ、前記配線層上に前記周期構造部が設けられ、前記周期構造部上に前記積層構造部が設けられたことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記光電変換部の直上に、前記周期構造部が設けられたことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記積層構造部は、積層方向に対称的な構造を有する上部ミラー層と下部ミラー層とを有し、
前記上部ミラー層と前記下部ミラー層との間に、前記透過波長域ごとに厚さもしくは屈折率の異なる制御層が設けられたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の固体撮像素子。 - 前記周期構造部は、前記制御層中に設けられたことを特徴とする請求項4記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルタは、無機材料からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルタにおける前記基板とは反対面側に積層され、無機材料からなるマイクロレンズをさらに備えたことを特徴とする請求項6記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルタにおける前記基板とは反対面側に積層され、無機材料からなる赤外光カットフィルタをさらに備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の固体撮像素子。
- 2次元配列された複数の光電変換部を有する基板上に、前記各光電変換部に向けて特定の波長域の光を透過させる複数のカラーフィルタを形成する工程を備え、
前記カラーフィルタを形成する工程は、
相対的に屈折率の異なる第1の層と第2の層との積層構造を有する積層構造部を形成する工程と、
2次元方向に周期性を有し、透過波長域ごとに周期が異なる周期構造部を形成する工程と、
を有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 筐体と、
前記筐体に支持されたカメラレンズと、
前記筐体の内部に設けられ、前記カメラレンズに入射した光を受ける固体撮像素子と、
を備え、
前記固体撮像素子は、
2次元配列された複数の光電変換部を有する基板と、
前記基板に対して積層され、前記各光電変換部に向けて特定の波長域の光を透過させる複数のカラーフィルタと、
を有し、
前記各カラーフィルタは、
相対的に屈折率の異なる第1の層と第2の層との積層構造を有する積層構造部と、
2次元方向に周期性を有する周期構造部であって、透過波長域ごとに周期が異なる周期構造部と、
を有することを特徴とするカメラ。
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