JP2012061533A - 保持パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持パッド10では、湿式成膜法により複数の発泡3と多数の微細孔6とが連続状に形成された発泡構造を有するポリウレタン樹脂製の発泡シート2を備えている。多数の微細孔6の大きさは、発泡3の大きさより小さく形成されている。発泡シート2に形成された発泡構造において、多数の微細孔6内に補強樹脂5が、微細孔6の体積に対する補強樹脂5の存在する体積の割合が30%以上となるように存在している。補強樹脂5は、樹脂エマルションを発泡シート2に含浸させることで形成されたものである。補強樹脂5が発泡シート2の発泡構造を補強する。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本実施形態の保持パッド10は、湿式成膜法により第1の樹脂としてのポリウレタン樹脂で形成された発泡シート2を備えている。発泡シート2は、被研磨物を保持するための保持面Pを有している。
図2に示すように、保持パッド10は、ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する準備工程、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布する塗布工程、水系凝固液中でポリウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、厚みを均一化させるように研削処理を施す研削工程、発泡シート2に樹脂エマルションを含浸させ、乾燥させる含浸・乾燥工程、発泡シート2と両面テープ7とを貼り合わせるラミネート加工工程を経て製造される。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の保持パッド10の作用等について説明する。
実施例1では、発泡シート2の作製にポリウレタン樹脂として、ポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂を30質量%の割合で溶解させた溶液の100部に対して、溶媒のDMFの45部、顔料としてカーボンブラックの30質量%を含むDMF分散液の40部を添加し混合してポリウレタン樹脂溶液を得た。得られたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に塗布した後、凝固液中で凝固再生させた。凝固再生後のポリウレタン樹脂から成膜基材を剥離し、洗浄・乾燥した後、裏面Q側に研削処理を施した。含浸・乾燥工程で樹脂エマルションを研削処理後のポリウレタン樹脂に含浸させた後、乾燥させる操作を3回繰り返し行い、補強樹脂5の相が形成された実施例1の発泡シート2を得た。このとき、補強樹脂5の充填率が30%であった。
実施例2では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を増やし補強樹脂5の充填率を70%としたこと以外は実施例1と同様にして実施例2の発泡シート2を作製した。
比較例1では、研削処理後のポリウレタン樹脂に補強樹脂5の相を形成しないこと以外は実施例1と同様にして比較例1の発泡シートを作製した。すなわち、比較例1の発泡シートは、従来の保持パッドに用いられた発泡シートである。
比較例2では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を減らし補強樹脂5の充填率を15%としたこと以外は実施例1と同様にして比較例2の発泡シートを作製した。
各実施例及び比較例の発泡シートについて、破壊強度を測定した。破壊強度の測定では、引張万能試験機(エイ・アンド・デイ社製、RTC−1210A)を使用した。すなわち、発泡シートの両面に接着剤を用いてPETフィルムを貼着し、発泡シートの端部に厚さ方向の中間付近で切り込みを入れ、枝分かれした端部のそれぞれを、引張万能試験機のクランプに取り付けた。クランプ同士の間隔は200mmに設定した。その後、毎分200mmの引張速度で短辺と平行に枝分かれした端部を掴みながら、発泡シートを裂くことで破壊し、最大荷重を破壊強度とした。このとき、発泡シートの厚さ方向において最も脆弱な部分、すなわち、発泡シートの裏面側である、断面三角状の発泡の底辺付近において破壊が進行した。下表1に破壊強度の測定結果を示す。
3 発泡
5 補強樹脂
6 微細孔
10 保持パッド
P 保持面
Claims (10)
- 被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、前記保持面より内側に、複数の発泡と、前記複数の発泡より大きさの小さい多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、第1の樹脂で形成されており、前記多数の微細孔内に第2の樹脂が前記微細孔の体積に対する前記第2の樹脂の存在する体積の割合が30%以上となるように含有されたことを特徴とする保持パッド。
- 前記第2の樹脂は、前記多数の微細孔の表面に被膜を形成すると共に、前記微細孔内に存在する体積の割合が前記微細孔の体積に対して70%以上となるように含有されたことを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記第2の樹脂は、前記発泡構造を有する発泡シートに樹脂エマルションを含浸させることで形成されたものであることを特徴とする請求項2に記載の保持パッド。
- 前記樹脂エマルションは、分散相の径が1μm以下であることを特徴とする請求項3に記載の保持パッド。
- 前記樹脂エマルションは、自己乳化型であることを特徴とする請求項4に記載の保持パッド。
- 前記樹脂エマルションは、架橋硬化型であることを特徴とする請求項5に記載の保持パッド。
- 前記樹脂エマルションは、ポリウレタン樹脂のエマルションであることを特徴とする請求項4に記載の保持パッド。
- 前記第2の樹脂は、前記複数の発泡の表面の少なくとも一部にも存在することを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記複数の発泡の少なくとも一部は、前記保持面の反対側の面で開口していることを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記第1の樹脂は、ポリウレタン樹脂であることを特徴とする請求項9に記載の保持パッド。
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JP5127990B1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-01-23 | 株式会社Filwel | 片面研磨用保持材 |
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---|---|---|---|---|
JPH058178A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-01-19 | Rodeele Nitta Kk | 半導体ウエハー研磨用クロス |
JP2006255827A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Fujibo Holdings Inc | 保持具 |
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