JP5520062B2 - 保持パッド - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態の保持パッド10は、湿式成膜法によりウレタン樹脂で形成された発泡シート2を備えている。発泡シート2は、略平坦な保持面Pを有している。
保持パッド10は、ウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する準備工程、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し水系凝固液中でウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、凝固再生したウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、乾燥後の発泡シート2の保持面Pの反対面側に厚みを均一化させるように研削処理を施す研削処理工程、発泡シート2に両面テープ5を貼付するラミネート加工工程を経て製造される。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の保持パッド10の作用等について説明する。
実施例1では、ウレタン樹脂として数平均分子量が15,000のポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ウレタン樹脂を用いた。このウレタン樹脂を30重量%でDMFに溶解させた溶液100部に対して、粘度調整用のDMFの45部、カーボンブラックを30%含むDMF分散液の40部、疎水性活性剤の2部を混合してウレタン樹脂溶液を調製した。得られたウレタン樹脂溶液の粘度は5.2Pa・sであった。粘度は、回転粘度計(東機産業株式会社製、TVB−10型)でNo.M3のロータを使用し、25℃の温度環境下で測定した。得られたウレタン樹脂溶液を成膜基材に塗布した後、凝固液中でシート状のウレタン樹脂を凝固再生させた。このとき、凝固液は20%のDMF水溶液を使用し、凝固液の温度は50℃とした。凝固再生後、成膜基材を剥離して、洗浄・乾燥させた成膜樹脂の厚みは295μmであった。成膜樹脂の保持面Pと反対の面側を、全体の厚みの10%が除去されるようにバフィングし、厚みを均一化させた後、バフ処理面に両面テープ5を貼り合わせ実施例1の保持パッド10を製造した。保持パッド10を構成する発泡シート2の断面を走査型電子顕微鏡にて観察した結果、図2に示すように、発泡3および微多孔が連続状に形成された発泡部2aと、発泡3が無形成で、微多孔のみが連続状に形成された無発泡部2bとを有していることがわかった。
比較例1では、凝固再生工程において、凝固液に5%のDMF水溶液を使用し、凝固液の温度を18℃とし、厚み298μmの成膜樹脂を得たこと以外は実施例1と同様にして発泡シート12を製造した。すなわち、比較例1は無発泡部2bが形成されていない従来の発泡シート12を備えた保持パッド20である(図3参照)。
実施例1の保持パッド10において、発泡シート2の発泡部2aと無発泡部2bとの厚み、および、かさ密度をそれぞれ測定した。厚みの測定では、ダイヤルゲージ(最小目盛り0.01mm)を使用し、荷重100g/cm2をかけて測定した。すなわち、発泡シート2の発泡部2aが消失するまでバフィングして、無発泡部2bのみを残し、無発泡部2bの厚みを測定した。また、発泡シート2の無発泡部2bが消失するまでバフィングして、発泡部2aのみを作製し、発泡部2aの厚みを測定した。かさ密度の測定では、厚みの測定時に得た発泡部2aと無発泡部2bとのそれぞれを、所定サイズの大きさに切り出して重量を測定し、厚みと切り出しサイズとから算出した。一方、比較例1の保持パッド20については、発泡シート12の全体を発泡部として、実施例1と同様にして測定した。厚み、および、かさ密度の測定結果を下表1に示す。
実施例1および比較例1の保持パッドについて、日本工業規格(JIS K6772)に準じた方法で剥離強度をそれぞれ測定した。剥離強度の測定では、テンシロン引張試験機(株式会社エー・アンド・デイ社製、テンシロン万能試験機、RTF−1210)を使用した。すなわち、20mm×150mmに切り出したサンプルの長手方向一端をトルエンに浸漬し剥ぎ口を作り、剥ぎ口における発泡シートと支持体とを、つかみ間隔が10mmとなるように引張試験機に取り付けた。温度20℃、湿度65%の条件下に2時間保持し、剥ぎ口のトルエンを十分に除去した後、毎分200mmの引張速度で短辺と平行に長さ50mm分の接着部分を剥離し、最大荷重を求めた。測定回数を3回とし、平均値を評価した。剥離強度の評価結果を表1に合わせて示す。
2 発泡シート
2a 発泡部(連続発泡部)
2b 無発泡部(発泡無形成部)
3 発泡(縦長発泡)
10 保持パッド
Claims (5)
- 湿式成膜法により形成され被研磨物を保持するための保持面を有する樹脂製発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、湿式成膜法により一体成形されたものであり、前記保持面側に、複数の縦長発泡が形成され、かつ、該縦長発泡間に微多孔が形成された連続発泡部と、前記保持面と反対の面側に、前記縦長発泡が無形成で微多孔が形成され、全体の厚さに対して1/6〜1/2の範囲の厚さの発泡無形成部とを有するとともに、連続状の発泡構造を有するものであることを特徴とする保持パッド。
- 前記連続発泡部は、前記発泡シートの全体の厚さに対して少なくとも1/2の厚さであることを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記連続発泡部のかさ密度は0.15g/cm3〜0.35g/cm3の範囲、前記発泡無形成部のかさ密度は0.5g/cm3〜0.9g/cm3の範囲であることを特徴とする請求項2に記載の保持パッド。
- 前記発泡シートは、ポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項1に記載の保持パッド。
- 前記ポリウレタン樹脂の数平均分子量は、5,000〜100,000の範囲であることを特徴とする請求項4に記載の保持パッド。
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