JP2012060118A - 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板支持部材がYステップ定盤上でスキャン方向に所定のストロークで移動することにより、その基板支持部材に保持された基板が、エア浮上装置に下方から支持された状態でスキャン方向に所定のストロークで移動する。また、エア浮上装置を有するYステップガイドは、基板支持部材と共にクロススキャン方向に移動するので、基板を、スキャン方向、及び/又はクロススキャン方向へ任意に移動できる。この際、Yステップ定盤も基板支持部材及びYステップガイドと共にクロススキャン方向に移動するので、基板支持部材は、常にYステップ定盤に支持される。
【選択図】図2
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図10(B)に基づいて説明する。
次に第2の実施形態に係る基板ステージ装置PSTaについて図11及び図12に基づいて説明する。第2の実施形態の基板ステージ装置PSTaは、上記第1の実施形態に比べてYステップ定盤20の駆動方法が異なる。なお、本第2の実施形態(及び後述するその他の実施経緯体)において、上記第1の実施形態の基板ステージ装置PST(図2参照)と同じ構成、及び機能を有する部材については、上記第1の実施形態と同じ符号を用いてその説明を省略する。
次に第3の実施形態に係る基板ステージ装置PSTbについて、図13及び図14に基づいて説明する。第3の実施形態の基板ステージ装置PSTbは、上記第1の実施形態に比べてYステップ定盤20の駆動方法が異なる。第3の実施形態の基板ステージ装置PSTbでは、Yステップ定盤20は、Yステップガイド50に取り付けられた複数のエアベアリング218aにより形成される気体膜を介してYステップガイド50に押圧されることにより、Yステップガイド50と共にY軸方向に移動する。
次に第4の実施形態に係る基板ステージ装置PSTcについて、図15及び図16に基づいて説明する。第4の実施形態の基板ステージ装置PSTcは、上記第1の実施形態に比べてYステップ定盤20の駆動方法が異なる。第4の実施形態の基板ステージ装置PSTcでは、Yステップ定盤20は、Xビーム21の下面にスペーサ318aを介して固定されたY可動子318b(図15では不図示。図16参照)と、ベース定盤40に固定されたY固定子48とから構成されるYリニアモータにより、Yステップガイド50と独立してY軸方向に駆動される(ただし、実際には、Yステップ定盤20とYステップガイド50とは、同期してY軸方向に駆動される)。なお、図16に示される基板ステージ装置PSTcは、図15のG−G線断面図に相当するが、基板ステージ装置PSTcの構成の理解を容易にするため、最も+X側(+X側から見て最も手前側)の下コラム33(及びその上面に固定されたYリニアガイド38)の図示が省略されている。
次に第5の実施形態に係る基板ステージ装置PSTdについて、図17及び図18に基づいて説明する。第5の実施形態の基板ステージ装置PSTdは、上記第1の実施形態に比べてYステップ定盤20の駆動方法が異なる。第5の実施形態の基板ステージ装置PSTdでは、Yステップ定盤20は、Yステップガイド50に取り付けられた複数の永久磁石418aと、Yステップ定盤20に取り付けられた複数の永久磁石418bとの間に発生する斥力(反発力)により、機械的な接触のない状態(非接触)でYステップガイド50に押圧されることにより、Yステップガイド50と共にY軸方向に移動する。
次に、上記各実施形態に係る露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態に係る露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
〈パターン形成工程〉
まず、上述した上記各実施形態に係る露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
〈カラーフィルタ形成工程〉
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
〈セル組み立て工程〉
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
〈モジュール組立工程〉
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
この場合、パターン形成工程において、上記各実施形態に係る露光装置を用いて高スループットかつ高精度でプレートの露光が行われるので、結果的に、液晶表示素子の生産性を向上させることができる。
Claims (57)
- 水平面に平行な所定の二次元平面に沿って配置された物体の端部を保持し、少なくとも前記二次元平面内の第1方向に所定のストロークで移動可能な第1移動体と、
前記第1移動体の前記第1方向に関する移動可能範囲内で前記物体を下方から支持する物体支持部材を含み、前記第1移動体と共に前記二次元平面内で前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な第2移動体と、
前記物体支持部材に対して少なくとも前記第1方向に関して振動的に分離され、前記第1移動体の前記第1方向に関する移動可能範囲内で前記第1移動体を下方から支持し、前記第2移動体と共に前記第2方向に移動可能な第3移動体と、を備える移動体装置。 - 前記第2移動体は、第1のベース部材上で前記第2方向に移動し、
前記第3移動体は、前記第1のベース部材とは振動的に分離された第2のベース部材上で前記第2方向に移動する請求項1に記載の移動体装置。 - 前記第1移動体は、前記第3移動体上に非接触支持される請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記第2移動体上で前記第1方向に移動可能な第4移動体を更に備え、
前記第1移動体は、前記第4移動体に誘導されることにより前記第1方向に移動する請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1移動体は、前記第4移動体が前記第1方向に駆動される際、前記第4移動体に設けられた固定子と前記第1移動体に設けられた可動子とを含む第1リニアモータにより前記第4移動体に同期駆動される請求項4に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記第4移動体が前記第1方向に駆動される際、前記第4移動体に設けられた固定子と前記第1移動体に設けられた可動子とを含む第2リニアモータにより前記第2方向及び前記二次元平面に直交する軸周り方向の少なくとも一方に微少駆動される請求項4又は5に記載の移動体装置。
- 前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第2移動体と前記第3移動体とは連結装置により連結され、
前記第3移動体は、前記連結装置を介して前記第2移動体に牽引されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記連結装置は、6自由度方向のうち前記第2方向を除く5自由度方向の剛性が前記第2方向の剛性に比べて低い請求項7に記載の移動体装置。
- 前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記駆動装置により駆動される前記第2移動体に接触して押圧されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2移動体は、前記第3移動体を前記第2方向に関して所定の位置に移動させた後、前記駆動装置により前記第3移動体から離間する方向に駆動される請求項9に記載の移動体装置。
- 第2及び第3移動体の一方から他方に気体を噴出する気体静圧軸受を更に備え、
前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記駆動装置により駆動される前記第2移動体に前記気体を介して非接触で押圧されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2移動体は、第1駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記第1駆動装置とは独立して制御される第2駆動装置により前記第2移動体と同期して前記第2方向に駆動される請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第1駆動装置と前記第2駆動装置とは、共通の固定子を用いる請求項12に記載の移動体装置。
- 前記物体支持部材は、前記物体を非接触支持する請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記物体支持部材は、前記物体の下面に向けて加圧気体を噴出することにより該物体を非接触支持する請求項14に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体が有する反射面に測長ビームを照射するとともにその反射光を受光し、その反射光に基づいて前記第1移動体の位置情報を求める干渉計システムを更に備え、
前記第1移動体は、前記干渉計システムの出力に基づいて前記二次元平面内の位置が制御される請求項1〜15のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記物体の面積よりも狭い保持面を有する保持装置を含み、前記物体のうち前記保持面に対向する部分を前記保持装置を用いて前記物体の下方から保持して前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置を更に備える請求項1〜16のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記保持装置は、前記物体を非接触保持する請求項17に記載の移動体装置。
- 前記調整装置は、前記保持装置から前記物体に対して気体を噴出するとともに、前記保持装置と前記物体との間の気体を吸引することにより前記物体に重力方向の負荷を掛けて非接触保持する請求項18に記載の移動体装置。
- 前記調整装置は、前記二次元平面内の位置が固定である請求項17〜19のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記調整装置は、前記第2移動体とは振動的に分離された部材上に搭載される請求項20に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記物体を前記所定の二次元平面に交差する方向に移動可能に保持する請求項21に記載の移動体装置。
- 前記物体支持部材は、前記第1方向に関して前記調整装置の一側及び他側で前記物体を支持する請求項20〜22のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記調整装置は、前記保持装置の重量をキャンセルする重量キャンセル装置を更に有する請求項17〜23のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 請求項17〜24のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記物体に関して所定の処理を行うために、該物体のうち前記保持装置に保持される部分に前記保持装置とは反対の側から所定の動作を実行する実行装置と、を備える物体処理装置。 - 前記実行装置は、エネルギビームを用いて前記物体に所定のパターンを形成する装置である請求項25に記載の物体処理装置。
- 請求項1〜24のいずれか一項に記載の移動体装置と、
エネルギビームにより前記物体を露光して該物体上に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項27に記載の露光装置。
- 請求項28に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項27に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームにより物体を露光して該物体上に所定のパターンを形成する露光装置であって、
水平面に平行な所定の二次元平面に沿って配置された前記物体の端部を保持し、少なくとも前記二次元平面内の第1方向に所定のストロークで移動可能な第1移動体と、
前記第1移動体の前記第1方向に関する移動可能範囲内で前記物体を下方から支持する物体支持部材を含み、前記第1移動体と共に前記二次元平面内で前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な第2移動体と、
前記物体支持部材に対して少なくとも前記第1方向に関して振動的に分離され、前記第1移動体の前記第1方向に関する移動可能範囲内で前記第1移動体を下方から支持し、前記第2移動体と共に前記第2方向に移動可能な第3移動体と、
前記エネルギビームにより前記物体を露光する露光系と、
を備える露光装置。 - 前記第2移動体は、第1のベース部材上で前記第2方向に移動し、
前記第3移動体は、前記第1のベース部材とは振動的に分離された第2のベース部材上で前記第2方向に移動する請求項31に記載の露光装置。 - 前記第1移動体は、前記第3移動体上に非接触支持される請求項31又は32に記載の露光装置。
- 前記第2移動体上で前記第1方向に移動可能な第4移動体を更に備え、
前記第1移動体は、前記第4移動体に誘導されることにより前記第1方向に移動する請求項31〜33のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1移動体は、前記第4移動体が前記第1方向に駆動される際、前記第4移動体に設けられた固定子と前記第1移動体に設けられた可動子とを含む第1リニアモータにより前記第4移動体に同期駆動される請求項34に記載の露光装置。
- 前記第1移動体は、前記第4移動体が前記第1方向に駆動される際、前記第4移動体に設けられた固定子と前記第1移動体に設けられた可動子とを含む第2リニアモータにより前記第2方向及び前記二次元平面に直交する軸周り方向の少なくとも一方に微少駆動される請求項34又は35に記載の露光装置。
- 前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第2移動体と前記第3移動体とは連結装置により連結され、
前記第3移動体は、前記連結装置を介して前記第2移動体に牽引されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項31〜36のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記連結装置は、6自由度方向のうち前記第2方向を除く5自由度方向の剛性が前記第2方向の剛性に比べて低い請求項37に記載の露光装置。
- 前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記駆動装置により駆動される前記第2移動体に接触して押圧されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項31〜36のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2移動体は、前記第3移動体を前記第2方向に関して所定の位置に移動させた後、前記駆動装置により前記第3移動体から離間する方向に駆動される請求項39に記載の露光装置。
- 第2及び第3移動体の一方から他方に気体を噴出する気体静圧軸受を更に備え、
前記第2移動体は、駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記駆動装置により駆動される前記第2移動体に前記気体を介して非接触で押圧されることにより前記第2移動体と共に前記第2方向に移動する請求項31〜36のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2移動体は、第1駆動装置により前記第2方向に駆動され、
前記第3移動体は、前記第1駆動装置とは独立して制御される第2駆動装置により前記第2移動体と同期して前記第2方向に駆動される請求項31〜36のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1駆動装置と前記第2駆動装置とは、共通の固定子を用いる請求項42に記載の露光装置。
- 前記物体支持部材は、前記物体を非接触支持する請求項31〜43のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体支持部材は、前記物体の下面に向けて加圧気体を噴出することにより該物体を非接触支持する請求項44に記載の露光装置。
- 前記第1移動体の位置情報を計測する計測装置をさらに備え、
前記第1移動体は、前記計測装置の計測情報に基づいて前記二次元平面内の位置が制御される請求項31〜45のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体の面積よりも狭い保持面を有する保持装置を含み、前記物体のうち前記保持面に対向する部分を前記保持装置を用いて前記物体の下方から保持して前記二次元平面に交差する方向の位置を調整する調整装置を更に備える請求項31〜46のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持装置は、前記物体を非接触保持する請求項47に記載の露光装置。
- 前記調整装置は、前記保持装置から噴き出される加圧気体の前記保持装置と前記物体との間の静圧と、真空吸引によって前記保持装置と前記物体との間の負圧とのバランスにより前記物体を非接触保持する請求項48に記載の露光装置。
- 前記調整装置は、前記二次元平面内の位置が固定である請求項47〜49のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記調整装置は、前記第2移動体とは振動的に分離された部材上に搭載される請求項50に記載の露光装置。
- 前記第1移動体は、前記物体を前記所定の二次元平面に交差する方向に移動可能に保持する請求項51に記載の露光装置。
- 前記物体支持部材は、前記第1方向に関して前記調整装置の一側及び他側で前記物体を支持する請求項50〜52のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記調整装置は、前記保持装置の重量をキャンセルする重量キャンセル装置を更に有する請求項47〜53のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項31〜54のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項55に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項31〜55のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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