JP2012054406A - 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉛直軸周りに回動自在な回動基体と、第1の処理領域及び第2の処理領域の外側にて待機した状態で前記回動基体に設けられ、前記第1の処理領域及び第2の処理領域に共用されると共に基板に夫々異なる処理液を供給するための複数の処理ノズルと、前記回動基体に設けられると共に進退自在なノズル保持部を備え、複数の処理ノズルから選択された処理ノズルを前記ノズル保持部により保持して、第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域に搬送するノズル搬送機構と、を備えるように液処理装置を構成し、待機部で待機している処理ノズルについてメンテナンスを行う。
【選択図】図2
Description
これら第1の処理領域及び第2の処理領域の並びに対して後方側に設けられ、鉛直軸周りに回動自在な回動基体と
前記第1の処理領域及び第2の処理領域の外側にて待機した状態で前記回動基体に設けられ、前記第1の処理領域及び第2の処理領域に共用されると共に基板に夫々異なる処理液を供給するための複数の処理ノズルと、
前記回動基体に設けられると共に進退自在なノズル保持部を備え、複数の処理ノズルから選択された処理ノズルを前記ノズル保持部により保持して、前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域に搬送するノズル搬送機構と、
前記回動基体に対してノズル保持部の進退方向における前方側に前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域が対向するように回動基体を回動させる回動駆動部と、を備えたことを特徴とする。
これら第1の処理領域及び第2の処理領域の並びに対して後方側に設けられた回動基体を鉛直軸周りに回動させる工程と、
前記回動基体に設けられ、前記第1の処理領域及び第2の処理領域に共用される複数の処理ノズルを前記第1の処理領域及び第2の処理領域の外側にて待機させる工程と、
各処理ノズルから基板に夫々異なる処理液を供給する工程と、
前記回動基体に設けられると共に進退自在なノズル保持部を備え、複数の処理ノズルから選択された処理ノズルを前記ノズル保持部により保持する工程と、
ノズル保持部を、ノズル搬送機構により前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域に搬送する工程と、
回動駆動部により、前記回動基体に対してノズル保持部の進退方向における前方側に前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域が対向するように回動基体を回動させる工程と、
を備えたことを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上記の液処理方法を実施するためのものであることを特徴とする。
11A,11B 塗布処理部
12 スピンチャック
15 カップ
20 基板搬送機構
21 筐体
31 回動台
32 基台
42 水平移動部
60 アーム
61 アーム保持部
76 ノズル保持部
82 純水供給ノズル
83 シンナー供給ノズル
91 ノズル待機部
151 制御部
Claims (10)
- 互いに左右方向に設けられ、各々基板を水平に配置してノズルからの処理液により処理を行うための第1の処理領域及び第2の処理領域と、
これら第1の処理領域及び第2の処理領域の並びに対して後方側に設けられ、鉛直軸周りに回動自在な回動基体と
前記第1の処理領域及び第2の処理領域の外側にて待機した状態で前記回動基体に設けられ、前記第1の処理領域及び第2の処理領域に共用されると共に基板に夫々異なる処理液を供給するための複数の処理ノズルと、
前記回動基体に設けられると共に進退自在なノズル保持部を備え、複数の処理ノズルから選択された処理ノズルを前記ノズル保持部により保持して、前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域に搬送するノズル搬送機構と、
前記回動基体に対してノズル保持部の進退方向における前方側に前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域が対向するように回動基体を回動させる回動駆動部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記第1の処理領域における基板保持領域の中心及び前記第2の処理領域における基板保持領域の中心の各々から回動基体の回転中心までの距離が等しいことを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記回動基体は、前記処理ノズルを待機させる待機部を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。
- 前記ノズル保持部の動作を制御する制御部が設けられ、
第1の処理領域及び第2の処理領域は上側が開口したカップ内に設けられ、
前記制御部は、前記カップ内へ基板が搬送されるまでに、当該カップの開口部の外縁へ処理ノズルを保持したノズル保持部を移動させた後、当該外縁で停止させるステップと、
カップ内に基板が搬送された後に、前記基板上へノズル保持部を移動させるステップと、を実施することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 前記複数の処理ノズルは、ノズル保持部の進退方向と直交する方向に配列され、
前記ノズル保持部は、選択された処理ノズルに対応する位置に移動できるように、複数の処理ノズルの配列方向に移動自在に構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液処理装置。 - 前記ノズル保持部及び回動基体の動作を制御する制御部が設けられ、
前記制御部は、
ノズル保持部を複数の処理ノズルの配列方向に移動させて、ノズル保持部に処理ノズルを受け渡すステップと、
処理ノズルを保持したノズル保持部の進行方向に前記第1の処理領域または前記第2の処理領域が位置するように回動基体を回動させるステップと、
前記ノズル保持部を第1の処理領域または前記第2の処理領域に前進させるステップと、を実行することを特徴とする請求項5記載の液処理装置。 - 互いに左右方向に設けられ、ノズルからの処理液により処理を行うための第1の処理領域及び第2の処理領域に、各々基板を水平に配置する工程と、
これら第1の処理領域及び第2の処理領域の並びに対して後方側に設けられた回動基体を鉛直軸周りに回動させる工程と、
前記回動基体に設けられ、前記第1の処理領域及び第2の処理領域に共用される複数の処理ノズルを前記第1の処理領域及び第2の処理領域の外側にて待機させる工程と、
各処理ノズルから基板に夫々異なる処理液を供給する工程と、
前記回動基体に設けられると共に進退自在なノズル保持部を備え、複数の処理ノズルから選択された処理ノズルを前記ノズル保持部により保持する工程と、
ノズル保持部を、ノズル搬送機構により前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域に搬送する工程と、
回動駆動部により、前記回動基体に対してノズル保持部の進退方向における前方側に前記第1の処理領域及び第2の処理領域から選択された処理領域が対向するように回動基体を回動させる工程と、
を備えたことを特徴とする液処理方法。 - 第1の処理領域及び第2の処理領域は上側が開口したカップ内に設けられ、
前記カップ内へ基板が搬送されるまでに、当該カップの開口部の外縁へ処理ノズルを保持したノズル保持部を移動させる工程と、
当該開口部の外縁でノズル保持部を停止させる工程と、
カップ内に基板が搬送された後に、前記基板上へノズル保持部を移動させる工程と、を備えることを特徴とする請求項7記載の液処理方法。 - 複数の処理ノズルは、ノズル保持部の進退方向と直交する方向に配列され、
ノズル保持部を複数の処理ノズルの配列方向に移動させる工程と、
ノズル保持部が処理ノズルを受け取る工程と、
ノズルを保持したノズル保持部の進行方向に前記第1の処理領域または前記第2の処理領域が位置するように回動基体を回動させる工程と、
処理ノズルが受け渡されたノズル保持部を第1の処理領域または前記第2の処理領域に前進させる工程と、
を備えたことを特徴とする請求項7または8記載の液処理方法。 - 基板に対して液処理を行う液処理装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし9のいずれか一項に記載の液処理方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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