JP2012039820A - 超音波モータ - Google Patents

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Abstract

【課題】 主要な構成部材がパッケージされた状態で、構成が簡素で、安定した駆動特性を有する超音波モータを提供すること。
【解決手段】 超音波モータ10は、圧電素子13と保持部材15と駆動子17とによって1つのユニットとして組み立てられる振動子11と、駆動子17により駆動力が伝達され回転するロータ19と、ロータ19が回転することで、ロータ19と共に回転する第1の伝達軸61と、振動子11を位置決めする位置決め溝33を有し、振動子11を収容するケース部材31と、ケース部材31に収容された振動子11をロータ19に向けて押圧する押圧部材37と、ロータ19が駆動可能となるように第1の伝達軸61を駆動可能に支持する支持機構70とを具備する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、例えばデジタルカメラの手振れ補正ユニットやAFレンズ等のアクチュエータとして用いられている回転型の超音波モータに関する。
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータが注目されている。超音波モータは、圧電素子などの振動子の振動を利用する。超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低回転高トルクが得られる点、保持力が大きい点、高分解能である点、静粛性に富む点、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。
このような超音波モータは、例えば特許文献1に開示されている。この超音波モータでは、振動子は、互いに重ね合わさっている複数の板状の圧電素子と、圧電素子を上下両側から挟み込む弾性体と、圧電素子の上側に配設されている弾性体の表面に貼り付けられている被駆動体である耐磨耗材とから構成されている。この耐磨耗材には、ロータが押圧されている。
この超音波モータにおいて、板状の圧電素子が重ね合わさることにより、振動子は、縦振動と捻り振動とを同時に励起し、これら2つの振動から楕円振動を発生する。楕円振動は、耐磨耗材に伝達され、耐磨耗材を介してロータを回転させる。
また上記とは異なる超音波モータにおいて、振動子は、圧電素子と、圧電素子を保持する保持部材と、圧電素子に配設される駆動子とから構成されている。駆動子には、ロータが直接当接している。そのため電圧が圧電素子に印加すると、縦振動と捻り振動とが励起し、楕円振動が発生し、この楕円振動は駆動子を介して被駆動体であるロータに直接伝達し、ロータが摩擦駆動する。
このような超音波モータにおいて、主要な構成部材がパッケージされ、ユニットとして構成されることが、超音波モータの汎用性と、超音波モータの特性の安定化とをもたらす。
特開平9−117168号公報
上述した特許文献1に開示されている超音波モータにおいて、板状の圧電素子が重ね合わさり、弾性体が圧電素子を挟み込むために、超音波モータの構成が複雑になってしまう虞が生じる。
また振動子を貫通し、上側の弾性体から伸びた軸は、ロータを抑え付ける押圧機構の一部として利用されているだけである。そのためこの軸が軸方向に回転力をロータに伝達させることが難しい。すなわち、ロータの径方向のスペースに余裕がない機器等に、この超音波モータを利用するのは困難となる虞が生じる。
また上述したように、駆動子がロータに直接当接し、ロータが駆動子によって駆動する場合、ロータの中心(回転)軸と、駆動子との相対位置精度が、超音波モータの加工や組み立てによってずれる虞が生じる。
また圧電素子が押圧部材によって押圧されて、駆動子がロータに向って押圧される際、振動子の組み立てによって、押圧のための作用点(押圧部材と圧電素子との当接点)の位置ずれが生じる。
これにより振動子の姿勢が傾き、ロータと駆動子との接触面の接触状態が均等でなくなる虞が生じる。そのため超音波モータの駆動特性が劣化する虞が生じる。
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、主要な構成部材がパッケージされた状態で、構成が簡素で、安定した駆動特性を有する超音波モータを提供することを目的とする。
本発明は目的を達成するために、中心軸に垂直な断面が長方形状の長さ比率を有し、電圧に応動して縦振動と捻り振動とを励起し、前記縦振動と前記捻り振動とから楕円振動を発生する圧電素子と、前記捻り振動の節の位置にて前記圧電素子を保持する保持部材と、前記圧電素子の楕円振動発生面に配設される駆動子と、前記圧電素子と前記保持部材と前記駆動子とによって1つのユニットとして組み立てられる振動子と、前記駆動子と接触し、前記駆動子から駆動力を伝達されて、前記楕円振動発生面の平面方向に直交する方向における軸を回転軸として回転する中空形状のロータと、前記ロータに接着固定され、前記ロータと共に回転する第1の駆動力伝達部材と、前記振動子を位置決めする位置決め溝を有し、前記振動子を収容するケース部材と、前記ケース部材に収容された前記振動子を前記ロータに向けて押圧する押圧部材と、前記ケース部材に配設され、前記ロータが駆動可能となるように前記第1の駆動力伝達部材を駆動可能に支持する支持機構と、を具備し、前記支持機構は、前記第1の駆動力伝達部材の基端と先端とに当接し、前記第1の駆動力伝達部材と共に駆動する第2の駆動力伝達部材と、前記第2の駆動力伝達部材が内輪に嵌合している伝達軸受けと、前記ケース部材の上面に配設され、前記第2の駆動力伝達部材が前記第1の駆動力伝達部材と共に駆動可能となるように、前記伝達軸受けを駆動可能となるように支持している軸受け支持部材と、を有することを特徴とする超音波モータを提供する。
本発明によれば、主要な構成部材がパッケージされた状態で、構成が簡素で、安定した駆動特性を有する超音波モータを提供することができる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る超音波モータの斜視図である。 図2は、超音波モータの分解斜視図である。 図3は、超音波モータの正面図である。 図4は、超音波モータの側面図である。 図5は、図3に示す5―5線における断面図である。 図6は、図4に示す6―6線における断面図である。 図7は、本発明の第2の実施形態に係る超音波モータの斜視図である。 図8は、超音波モータの分解斜視図である。 図9は、超音波モータの正面図である。 図10は、超音波モータの側面図である。 図11は、図9に示す11―11線における断面図である。 図12は、図10に示す12―12線における断面図である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1乃至図6を参照して第1の実施形態について説明する。
なお以下において、振動子11及び圧電素子13の幅方向をX軸方向、X軸方向に直交し、振動子11及び圧電素子13の厚み方向をY軸方向、X軸方向とY軸方向とに直交し、振動子11及び圧電素子13の高さ方向をZ軸方向とする。
超音波モータ10は、超音波モータ10の主要な構成部材である振動子11を有している。
図2に示すように、振動子11は、電圧に応動して、振動子11の回転軸方向に伸縮する縦振動と振動子11の回転軸を捩れ軸とする捻り振動とを励起し、これら2つの振動から楕円振動を発生する圧電素子13と、圧電素子13の捻り振動の節の位置にて圧電素子13を保持する圧電素子保持部材(以下、保持部材15)と、圧電素子13の楕円振動発生面の一面に配設される駆動子17とを有している。
図2と図5と図6とに示すように、圧電素子13は、中心軸に垂直な断面が長方形状の長さ比率を有する。圧電素子13の上面13aは、縦振動と捻り振動とによって楕円振動が発生する圧電素子13の楕円振動発生面となる。
図2に示すように、保持部材15は、コ字(凹)形状を有し、圧電素子13の捻り振動の節の位置にそれぞれ嵌め込まれ、例えば接着剤などによってこの節の位置にて固着されている。
駆動子17は、楕円振動発生面に2つ配設されており、例えば接着剤などによって固着されている。
図2に示すように、保持部材15と駆動子17とは上述したように圧電素子13に固着されるため、振動子11は圧電素子13と保持部材15と駆動子17とによって1つのユニットとして組み立てられる。1つのユニットとして組み立てられた振動子11は、後述するケース部材31によってパッケージ(内包)される。
駆動子17は、接触面17cにて被駆動体であるロータ19と接触しており、ロータ19を回転させる駆動力を伝達する。つまり駆動子17には、自身の駆動(回転)力である楕円振動を駆動子17から伝達されて、駆動(回転)する被駆動体であるロータ19が接触している。
このロータ19は、上述したように、駆動子17と接触し、駆動子17から駆動力を伝達され、楕円振動発生面の平面方向に直交する方向(Z軸方向)における軸を中心(回転)軸として、回転する。ロータ19は、開口部19aを有する中空の円形形状を有している。
図5と図6とに示すように、ロータ19の開口部19aには、ロータ19の中心(回転)軸である第1の伝達軸61の基端61bが接着固定されている。そのため、ロータ19が回転することで、第1の伝達軸61もロータ19と共に回転する。第1の伝達軸61は、T字形状を有している。
図5と図6とに示すように、第1の伝達軸61は、先端61aと基端61bとの間で回転力伝達ギア51の開口部51aに嵌合しており、ロータ19と共に回転することで、回転力伝達ギア51に駆動力(回転力)を伝達し、回転力伝達ギア51を回転させる。このように第1の伝達軸61は、回転力伝達ギア51に駆動力を伝達する第1の駆動力伝達部材である。
回転力伝達ギア51は、ロータ19に載置され、ケース部材31の側面にて図示しない外部の装置と噛み合っている。図2に示すように、この回転力伝達ギア51は、上述したように第1の伝達軸61が嵌合貫通する開口部51aを有し、回転力を図示しない外部の装置に伝達し、装置を駆動する。回転力伝達ギア51は、開口部51aを第1の伝達軸61が貫通することでロータ19と同軸となるようにロータ19に配設されている。
なお開口部51aを貫通する第1の伝達軸61は、回転力伝達ギア51との接触面にて回転力伝達ギア51にも接着固定されている。本実施形態の第1の伝達軸61は、回転力伝達ギア51を介して図示しない外部の装置に駆動力を伝達する装置側駆動力伝達部材である。
また図2と図5と図6とに示すように、第1の伝達軸61は、基端61bの上面61cにて円錐形状の凹部61dを有している。この凹部61dには、凹部61dに当接する半球形状の凸部63dを先端63aに有する第2の駆動力伝達部材である第2の伝達軸63が配設されている。凸部63dの半球形状は、凹部61dの円錐形状よりも小さい。
第2の伝達軸63は、第1の伝達軸61と共に回転する。この第2の伝達軸63は、例えばベアリングなどの伝達軸受け23の内輪に嵌合している。伝達軸受け23は、ベアリングの場合、第2の伝達軸63と共に駆動(回転)する。伝達軸受け23は、滑り性の良い樹脂等を用いた滑り軸受けでもよい。
図1乃至図6に示すように、振動子11は、圧電素子13の底面13b側及び側面13c側から挟み込む略コ字(凹)形状を有するケース部材31に収容される。つまりケース部材31は、上述したように、1つのユニットとして組み立てられた振動子11をパッケージ(内包・収容)する。
また図2と図5と図6とに示すように、ケース部材31は、振動子11を位置決めする位置決め溝33を有している。位置決め溝33は、保持部材15と同様にコ字(凹)形状を有している。位置決め溝33は、ケース部材31の長手軸方向に沿って配設され、保持部材15が摺動可能な長溝である。位置決め溝33は、保持部材15に対応する位置に配設され、保持部材15に合わせて2箇所配設されている。保持部材15が位置決め溝33に案内されて位置決め溝33を摺動し位置決めされることで、圧電素子13を含む振動子11のX軸方向とY軸方向との位置決めがなされ、振動子11は位置決めされた状態でケース部材31に内包される。つまりケース部材31は、保持部材15と位置決め溝33とを介して圧電素子13(振動子11)をX軸方向とY軸方向とにおいて位置決め保持している。
また図5と図6とに示すように、ケース部材31は、底面にコ字(凹)形状の溝部35を有している。溝部35には、ケース部材31に収容された圧電素子13の底面13bに接触し、圧電素子13を介して駆動子17(振動子11)をロータ19に向けて押圧する押圧部材37が配設されている。押圧部材37は、例えばコイルバネや板ばねなどである。
またケース部材31は、底面側に切り欠き部39を有している。切り欠き部39には、圧電素子13に電圧を印加するための図示しないフレキが挿通されている。フレキは、ケース部材31の外側に向って延設されている。
また図1乃至図6に示すように、ケース部材31には、ケース部材31に収容された駆動子17に向けて、第1の伝達軸61を介してロータ19を付勢し、ロータ19が駆動可能となるように第1の伝達軸61を駆動可能に支持する支持機構70が配設されている。
支持機構70は、第1の伝達軸61の基端61bと先端63aにて当接し、第1の伝達軸61と共に駆動する上述した第2の伝達軸63と、第2の伝達軸63が内輪に嵌合している上述した伝達軸受け23と、ケース部材31の上面31aに配設され、第2の伝達軸63が第1の伝達軸61と共に駆動可能となるように、伝達軸受け23を駆動可能となるように支持している軸受け支持部材53とを有している。
軸受け支持部材53は、略平板形状を有している。軸受け支持部材53は、伝達軸受け23を駆動(回転)可能となるように保持し、伝達軸受け23が嵌合固定し、伝達軸受け23を支持する開口部53aを有している。軸受け支持部材53は、回転力伝達ギア51が回転可能となるように、伝達軸受け23と第2の伝達軸63と第1の伝達軸61とを介して回転力伝達ギア51を支持する回転力伝達ギア支持部でもある。また軸受け支持部材53は、ロータ19が回転可能となるように、伝達軸受け23と第2の伝達軸63と第1の伝達軸61とを介してロータ19を回転可能に支持するロータ支持部材でもある。
軸受け支持部材53は、軸受け支持部材53がケース部材31の上面31aに配設される際に、位置決め溝33に嵌り込むことで、第2の伝達軸63と振動子11の中心軸とを一致させるように、伝達軸受け23と第2の伝達軸63とを位置決めする位置決め用の突起部53bを有している。突起部53bは、位置決め溝33に対応して2個配設されている。
軸受け支持部材53は、ケース部材31の厚みと幅と略同様の厚みと幅とを有している。
軸受け支持部材53は、突起部53bが位置決め溝33に嵌め込まれた際、例えばネジ等の締結部材55によってケース部材31の上面31aの縁31bに締結されている。軸受け支持部材53が締結部材55によって縁31bに締結されロータ19を覆った際、上述した押圧部材37が所望の量撓むことで、押圧力が発生し、圧電素子13が保持部材15を介して位置決め溝33に沿って押圧され、駆動子17がロータ19に押圧される。
ここで、凹部61dと凸部63dとについて詳細に説明する。
振動子11は、保持部材15と位置決め溝33とによってX軸方向とY軸方向との位置決めがなされる。また第2の伝達軸63は、伝達軸受け23の内輪に嵌合し、伝達軸受け23が軸受け支持部材53によって開口部53aにて支持され、軸受け支持部材53が締結部材55によって縁31bに締結されることで、X軸方向とY軸方向との位置決めがなされる。
このとき凹部61dが凸部63dに当接するために、第1の伝達軸61は第2の伝達軸63と同様にX軸方向とY軸方向との位置決めがなされる。またロータ19も第1の伝達軸61を介してX軸方向とY軸方向との位置決めがなされる。
またこのとき第1の伝達軸61は、回転力伝達ギア51とロータ19とに接着固定している。
また振動子11とケース部材31と軸受け支持部材53と伝達軸受け23と第2の伝達軸63とは一体となっている。
また上述したように凹部61dは円錐形状を有し、凸部63dは半球形状を有し、凸部63dは凹部61dよりも小さい。そのため第1の伝達軸61は、凹部61dと凸部63dとによってX軸周りとY軸周りとに傾くことが可能となる。
よって上述したように、凹部61dと凸部63dとによって、凹部61d側である第1の伝達軸61と回転力伝達ギア51とロータ19とは、凸部63d側である第2の伝達軸63と振動子11とケース部材31と軸受け支持部材53と伝達軸受け23とに対して、傾き可能となる。
そして締結部材55が軸受け支持部材53をケース部材31の上面31aの縁31bに締結する際の与圧によって、ロータ19は駆動子17に押圧される。このときロータ19は、凹部61dと凸部63dとによってX軸方向とY軸方向との位置決めがなされた状態で、駆動子17に接触し駆動子17の接触面17cに倣うように、上述した与圧と凹部61dと凸部63dとによってX軸周りとY軸周りとに傾くことが可能となる。
次に本実施形態における超音波モータ10の組立方法について説明する。
押圧部材37は、溝部35に配設される。
保持部材15は圧電素子13の捻り振動の節の位置に例えば接着剤などによって固着され、駆動子17は楕円振動発生面(上面13a)に例えば接着剤などによって固着される。これにより振動子11は1つのユニットとして組み立てられる。そして振動子11が保持部材15を介して位置決め溝33を摺動し位置決めされることで、振動子11のX軸方向とY軸方向との位置決めがなされ、振動子11は位置決めされた状態でケース部材31によってパッケージ(内包)される。
このとき押圧部材37は、圧電素子13の底面13bに接触する。
次に駆動子17にはロータ19が載置され、ロータ19には回転力伝達ギア51が載置される。第1の伝達軸61の先端61aは開口部51aを貫通し開口部19aに配設され、第1の伝達軸61は回転力伝達ギア51とロータ19とに接着固定する。
第1の伝達軸61の凹部61dには、第2の伝達軸63の凸部63dが当接する。第2の伝達軸63は、伝達軸受け23の内輪に嵌合する。
伝達軸受け23は、開口部53aを介して軸受け支持部材53によって支持される。軸受け支持部材53は、締結部材55によってケース部材31の上面31aの縁31bに締結される。このとき押圧部材37は、圧電素子13を介して駆動子17をロータ19に向けて押圧する。
なおロータ19が駆動子17に載置される、などの超音波モータ10が組み立てられる際、超音波モータ10の各構成部材の加工や超音波モータ10の組み立てによって、ロータ19の中心(回転)軸である第1の伝達軸61と駆動子17との相対位置がずれる虞がある。
また振動子11が組み立てられた後、圧電素子13が押圧部材37によって押圧されて、駆動子17がロータ19に向って押圧される際、振動子11の組み立てによって、押圧のための作用点(押圧部材37と底面13bとの当接点)の位置ずれが生じる虞がある。
しかしながら本実施形態では、凹部61dが凸部63dに当接するために、第1の伝達軸61及びロータ19がX軸方向とY軸方向との位置決めがなされた状態で、上述したように、締結部材55が軸受け支持部材53をケース部材31の上面31aの縁31bに締結する際の与圧によって、ロータ19が駆動子17に接触し駆動子17の接触面17cに倣うように、ロータ19は、凹部61dと凸部63dとによってX軸周りとY軸周りとに傾くことが可能となる。そのためロータ19は、締結部材55における与圧によって駆動子17の接触面17cに押圧され、締結部材55が軸受け支持部材53を縁31bに締結することで、駆動子17の接触面17cに常に均一に接触する。
このように本実施形態では、締結部材55における与圧がロータ19側から振動子11側に掛かることで、ロータ19は凹部61dと凸部63dとによってX軸周りとY軸周りとに傾き、ロータ19が接触面17cに常に均一に接触する。
なお駆動子17は圧電素子13と保持部材15と位置決め溝33とを介してケース部材31によってX軸方向とY軸方向とに位置決めされているために、X軸周りとY軸周りとに傾く第1の伝達軸61によって、ロータ19は接触面17cに常に均一に接触する。
また押圧部材37と底面13bとの当接点の位置ずれは、押圧部材37が溝部35に配設され、上述したように振動子11は保持部材15と位置決め溝33とによってX軸方向とY軸方向との位置決めがなされているために、防止される。
また、突起部53bは、位置決め溝33に嵌り込むことで、伝達軸受け23と第2の伝達軸63とを素早く位置決めでき、第2の伝達軸63と振動子11の中心軸とを素早く一致させる。
そして電圧がフレキを介して圧電素子13に印加されると、圧電素子13は、縦振動と捻れ振動とを励起し、これら2つの振動から楕円振動を発生する。圧電素子13の楕円振動発生面から、駆動子17とロータ19と第1の伝達軸61とを介して駆動力が回転力伝達ギア51に伝達され、回転力伝達ギア51を回転させる。このときロータ19が駆動子17の接触面17cに常に均一に接触するために、安定した駆動特性が得られる。そしてこの回転力は、回転力伝達ギア51を通じてケース部材31の側面から図示しない装置に伝達され、装置を駆動させる。
このように本実施形態では、振動子11を1つのユニットとして組み立てでき、ケース部材31によって振動子11をパッケージでき、振動子11及び超音波モータ10の構成を簡素にできる。
また本実施形態では、ロータ19の中心(回転)軸である第1の伝達軸61と駆動子17との相対位置が超音波モータ10の各構成部材の加工や超音波モータ10の組み立てによって生じても、凹部61dと凸部63dとによってロータ19をX軸方向とY軸方向とに位置決めでき、位置決めされたロータ19を凹部61dと凸部63dとによってX軸周りとY軸周りとに傾かせることができる。これにより本実施形態では、ロータ19を駆動子17の接触面17cに常に均一に接触できるため、安定した駆動特性を得ることができる。
また本実施形態では、押圧部材37を溝部35に配設でき、上述したように振動子11をX軸方向とY軸方向との位置決めしているために、振動子11が組み立てられた後、振動子11の組み立てによって、押圧のための作用点(押圧部材37と底面13bとの当接点)の位置ずれが生じることはなく、作用点の位置ずれを防止できる。
また本実施形態では、第2の伝達軸63の軸方向が振動子11の中心軸に対してずれていても、凹部61dと凸部63dとによって、ロータ19を傾かせることができ、ロータ19を駆動子17に常に均一に接触できるため、安定した駆動特性を得ることができる。
また本実施形態では、回転力伝達ギア51によってケース部材31の側面から外部に駆動力を伝達することができるために、超音波モータ10を薄型にすることができる。これにより本実施形態では、ロータ19の径方向のスペースに余裕がない機器等にも容易に配設できる。
また本実施形態では、突起部53bによって、伝達軸受け23と第2の伝達軸63とを素早く位置決めでき、第2の伝達軸63と振動子11の中心軸とを素早く一致させることができる。
また本実施形態では、凸部63dを凹部61dよりも小さくすることで、凸部63dと凹部61dとを確実に当接することができ、凹部61dをガイドとして機能させることができ、第2の伝達軸63を第1の伝達軸61に対して容易に位置決めすることができる。
なお本実施形態では、第1の伝達軸61が凹部61dを有し、第2の伝達軸63は凸部63dを有しているがこれに限定する必要はない、第1の伝達軸61は凹部61dと凸部63dとの一方を有し、第2の伝達軸63は凹部61dと凸部63dとの他方を有していればよい。
次に、本発明に係る第2の実施形態について図7乃至図12を参照して説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については、第1の実施形態と同一の参照符号を付すことにより説明を省略する。
本実施形態では、第2の伝達軸63を省いても良い。この場合、第1の伝達軸61は半球形状の凸部61fを基端61bに有し、伝達軸受け23は第1の伝達軸61の凸部61fを内輪にて当接させればよい。
第1の伝達軸61の凸部61fは、半球形状を有している。
これにより本実施形態では、第2の伝達軸63を不要にできるために、超音波モータ10の構成をより簡素にすることができる。
また本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
10…超音波モータ、11…振動子、13…圧電素子、13a…上面、13b…底面、13c…側面、15…保持部材、17…駆動子、17c…接触面、19…ロータ、19a…開口部、31…ケース部材、31a…上面、31b…縁、33…溝、35…溝部、37…押圧部材、39…切り欠き部、51…回転力伝達ギア、51a…開口部、53…支持部材、53a…開口部、53b…突起部、55…締結部材、61…第1の伝達軸、61a…先端、61b…基端、61c…上面、61d…凹部、61f…凸部、63a…先端、63d…凸部、63…第2の伝達軸、70…支持機構。

Claims (4)

  1. 中心軸に垂直な断面が長方形状の長さ比率を有し、電圧に応動して縦振動と捻り振動とを励起し、前記縦振動と前記捻り振動とから楕円振動を発生する圧電素子と、
    前記捻り振動の節の位置にて前記圧電素子を保持する保持部材と、
    前記圧電素子の楕円振動発生面に配設される駆動子と、
    前記圧電素子と前記保持部材と前記駆動子とによって1つのユニットとして組み立てられる振動子と、
    前記駆動子と接触し、前記駆動子から駆動力を伝達されて、前記楕円振動発生面の平面方向に直交する方向における軸を回転軸として回転する中空形状のロータと、
    前記ロータに接着固定され、前記ロータと共に回転する第1の駆動力伝達部材と、
    前記振動子を位置決めする位置決め溝を有し、前記振動子を収容するケース部材と、
    前記ケース部材に収容された前記振動子を前記ロータに向けて押圧する押圧部材と、
    前記ケース部材に配設され、前記ロータが駆動可能となるように前記第1の駆動力伝達部材を駆動可能に支持する支持機構と、
    を具備し、
    前記支持機構は、
    前記第1の駆動力伝達部材の基端と先端とに当接し、前記第1の駆動力伝達部材と共に駆動する第2の駆動力伝達部材と、
    前記第2の駆動力伝達部材が内輪に嵌合している伝達軸受けと、
    前記ケース部材の上面に配設され、前記第2の駆動力伝達部材が前記第1の駆動力伝達部材と共に駆動可能となるように、前記伝達軸受けを駆動可能となるように支持している軸受け支持部材と、
    を有することを特徴とする超音波モータ。
  2. 前記第1の駆動力伝達部材の基端と、前記第2の駆動力伝達部材の先端とのいずれか一方は、円錐形状の凹部を有し、
    前記第1の駆動力伝達部材の基端と、前記第2の駆動力伝達部材の先端との他方は、前記凹部に当接する半球形状の凸部を有していることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
  3. 前記凸部は、前記凹部よりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の超音波モータ。
  4. 前記支持機構は、
    前記第1の駆動力伝達部材の基端が内輪に嵌合している伝達軸受けと、
    前記ケース部材の上面に配設され、前記第1の駆動力伝達部材が駆動可能となるように、前記伝達軸受けを駆動可能となるように支持している軸受け支持部材と、
    を有し、
    前記第1の駆動力伝達部材の基端は、半球形状を有することを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
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