JP2012037635A - 光スキャナーおよび画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部より延出し、中間部に屈曲部を備え、前記可動部を挟んで対向配置される少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の前記可動部の反対側の延出方向に前記可動梁に固定された変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、を備える駆動装置と、前記変位部より、前記光反射面の略面方向に延出する2つの駆動梁と、前記駆動梁が固定される支持枠と、を備える振動基板と、前記振動基板を載置し固定する固定面を備える基台と、を備え、前記支持部材の前記可動部側の端部が、前記可動部の前記光反射部材側の端面より、前記光反射部材から離間する位置で固定される光スキャナー。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有するアクチュエーターが開示されている。また、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板(ミラー)とを有している。また、外側可動板は、X軸方向に延在する一対の第1トーションバーを介して支持部に連結されており、内側可動板は、X軸方向と直交するY軸方向に延在する第2トーションバーを介して外側可動板に連結している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
図1は、第1実施形態の光スキャナーを示し、(a)は平面図、(b)は(a)に示すA−A′部の断面図、(c)は(a)に示すB−B′部の断面図である。図1(a)に示す光スキャナー100は、図1(c)に示すように振動基板200と、基台300と、基台300に固定された振動基板200と図示しない手段によって相対的に固定された駆動部400とで構成されている。
また、図6に示す第2実施形態の2層構造の振動基板600を用いることにより、本願発明を容易に実施することができる。図6は、第2実施形態に係る光スキャナー110の概略を示す断面図であり、上述の第1実施形態に係る光スキャナー100の振動基板200が、第1振動基板610と第2振動基板620の2層構造となっている。第1振動基板610と第2振動基板620は共にシリコン基板より形成され、両基板の結合を酸化シリコン膜630により行い2層構造としている。なお平面形状は上述の第1実施形態に係る光スキャナー100と同じである。
上述の第1実施形態に係る光スキャナー100、および第2実施形態に係る光スキャナー110を用いた画像形成装置について説明する。本実施形態ではプロジェクターを例示し説明するが、例えばレーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置にも好適に適用することができる。
Claims (6)
- 光反射面を有する光反射部材と、
前記光反射部材を支持する支持部材と、
前記支持部材を介して前記光反射部材を支持する可動部と、
前記可動部より前記光反射面に沿って延出し、中間部に屈曲部を備え、前記可動部を挟んで対向配置される少なくとも一対の可動梁と、
前記可動梁の前記可動部の反対側の延出方向に前記可動梁に固定された変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、を備える駆動装置と、
前記変位部より、前記可動梁の延出方向に直交し、前記光反射面の略面方向に延出する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が固定される支持枠と、を備える振動基板と、
前記振動基板に備える固定部を載置し固定する固定面を備える基台と、を備え、
前記支持部材の前記可動部側の端部が、前記可動部の前記光反射部材側の端面より、前記光反射部材から離間する位置で固定される、
ことを特徴とする光スキャナー。 - 前記駆動装置は、
前記変位部に前記光反射面に略直交する方向に沿って、前記振動基板の一方の面側にN極もしくはS極のどちらか一方を、前記振動基板の他の一方の面側にN極もしくはS極の他の一方となるように配置させた永久磁石と、
前記永久磁石の極性に直交する方向に磁界を発生させるように配置したコイルと、を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の光スキャナー。 - 前記支持部材は、前記可動部に設けられた凹部の底面部に接着固定され、前記凹部の底面部面積が前記凹部の開口部面積より大きい、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光スキャナー。 - 前記支持部材は、前記可動部の前記凹部への挿入領域では、前記可動部への接合部面積より、前記光反射部材への接合部面積が小さい、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の光スキャナー。 - 前記凹部と前記支持部材とにより形成される空隙部に、接着剤が充填され、
前記接着剤の前記凹部の開口側の端部が、前記空隙部内にある、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の光スキャナー。 - 光反射面を有する光反射部材と、
前記光反射部材を支持する支持部材と、
前記支持部材を介して前記光反射部材を支持する可動部と、
前記可動部より前記光反射面に沿って延出し、中間部に屈曲部を備え、前記可動部を挟んで対向配置される少なくとも一対の可動梁と、
前記可動梁の前記可動部の反対側の延出方向に前記可動梁に固定された変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、を備える駆動装置と、
前記変位部より、前記可動梁の延出方向に直交し、前記光反射面の略面方向に延出する2つの駆動梁と、
前記駆動梁が固定される支持枠と、を備える振動基板と、
前記振動基板に備える固定部を載置し固定する固定面を備える基台と、を備え、
前記支持部材の前記可動部側の端部が、前記可動部の前記光反射部材側の端面より、前記光反射部材から離間する位置で固定される光スキャナーを備える、
ことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010176004A JP5447272B2 (ja) | 2010-08-05 | 2010-08-05 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
US13/192,767 US8553303B2 (en) | 2010-08-05 | 2011-07-28 | Optical scanner and image forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010176004A JP5447272B2 (ja) | 2010-08-05 | 2010-08-05 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012037635A true JP2012037635A (ja) | 2012-02-23 |
JP2012037635A5 JP2012037635A5 (ja) | 2013-09-12 |
JP5447272B2 JP5447272B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=45555967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010176004A Active JP5447272B2 (ja) | 2010-08-05 | 2010-08-05 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8553303B2 (ja) |
JP (1) | JP5447272B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017032933A (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JPWO2016093307A1 (ja) * | 2014-12-12 | 2017-11-02 | シャープ株式会社 | 表示装置、接着層付き光拡散部材及びその製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6094105B2 (ja) * | 2012-09-13 | 2017-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
JP6442989B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2018-12-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光学デバイスの製造方法および画像表示装置 |
JP6398754B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
KR102046473B1 (ko) * | 2017-03-08 | 2019-11-19 | 삼성전기주식회사 | 손떨림 보정 반사모듈 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
US11207787B2 (en) | 2017-09-29 | 2021-12-28 | Nitta Corporation | Gripping device and industrial robot |
IT201900004199A1 (it) | 2019-03-22 | 2020-09-22 | St Microelectronics Srl | Struttura microelettromeccanica di specchio risonante biassiale ad attuazione piezoelettrica con migliorate caratteristiche |
CN113219647B (zh) * | 2020-02-05 | 2023-06-13 | 中强光电股份有限公司 | 光学模块及投影装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005181395A (ja) | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Canon Inc | 光偏向器 |
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JP5573232B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2014-08-20 | セイコーエプソン株式会社 | 画像形成装置および背面投影型表示装置 |
-
2010
- 2010-08-05 JP JP2010176004A patent/JP5447272B2/ja active Active
-
2011
- 2011-07-28 US US13/192,767 patent/US8553303B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120033280A1 (en) | 2012-02-09 |
JP5447272B2 (ja) | 2014-03-19 |
US8553303B2 (en) | 2013-10-08 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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