JP2012033739A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板が破損する可能性を低減するとともに、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】外部から受け渡された基板11の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部21、22と、基板11の下面を吸着し、第1及び第2の支持部21、22の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部31、32と、負圧を発生させることにより第2の位置に搬送された基板11を非接触で保持し、第3の位置まで搬送するベルヌーイチャック40とを備え、基板11を第1の位置から第3の位置まで搬送する基板搬送装置10であって、第1及び第2の支持部21、22は、それぞれ、基板11に面する上端部にエアを噴出する多孔質体66を有する。
【選択図】図1
【解決手段】外部から受け渡された基板11の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部21、22と、基板11の下面を吸着し、第1及び第2の支持部21、22の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部31、32と、負圧を発生させることにより第2の位置に搬送された基板11を非接触で保持し、第3の位置まで搬送するベルヌーイチャック40とを備え、基板11を第1の位置から第3の位置まで搬送する基板搬送装置10であって、第1及び第2の支持部21、22は、それぞれ、基板11に面する上端部にエアを噴出する多孔質体66を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を浮上させて搬送する基板搬送装置に関する。
従来の基板搬送装置は、搬送路下方に設けられた多孔質板から吹き出すエアの圧力によって基板を浮上させながら、この基板を搬送方向に前進させて搬送している。このような基板搬送装置において、基板を搬送方向に前進させるための2つの方法が知られている。第1に、エアシリンダを用いて基板の後端部を押して前進させる方法である。第2に、基板の後端部に吹き出すエアの圧力を前端部に吹き出すエアの圧力より大きくして前進させる方法である(例えば、特許文献1参照)。
しかし、従来の基板搬送装置は、基板を搬送方向に前進させる速さが遅く、その単位時間当たりの搬送量が少なかった。
本発明は、基板が破損する可能性を低減することが可能な基板搬送装置を提供することを第1の目的とする。また、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供することを第2の目的とする。
本発明は、基板が破損する可能性を低減することが可能な基板搬送装置を提供することを第1の目的とする。また、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供することを第2の目的とする。
前記目的に沿う第1の発明に係る基板搬送装置は、外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第1及び第2の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部と、負圧を発生させることにより前記第2の位置に搬送された前記基板を非接触で保持し、第3の位置まで搬送するベルヌーイチャックとを備え、前記基板を前記第1の位置から前記第3の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記第1及び第2の吸着部は、互いに反対方向に移動することができる。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記第1及び第2の支持部の内側に、それぞれ、該第1及び第2の支持部の長手方向に沿って延び、前記第1及び第2の吸着部を案内する第1及び第2の案内レールを備え、
前記第1及び第2の案内レールは、それぞれ周囲よりも窪んだ面に固定されることが好ましい。
前記第1及び第2の案内レールは、それぞれ周囲よりも窪んだ面に固定されることが好ましい。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記第1及び第2の吸着部は、それぞれ前記基板をエア吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドを昇降させる昇降機構と、
前記吸着パッドによって吸着される前記基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材とを有することが好ましい。
前記吸着パッドを昇降させる昇降機構と、
前記吸着パッドによって吸着される前記基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材とを有することが好ましい。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記第1の位置にて外部から前記基板が受け渡される際、前記基板を吸着する前記第1の吸着パッドを上昇させる手段と、前記第1の吸着部による吸着を開始する手段と、前記多孔質体からエアを吹き出させる手段とを有する制御装置を更に備えることが好ましい。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記制御装置は、前記ベルヌーイチャックが前記第2の位置に搬送された前記基板を前記第3の位置に搬送する際、前記ベルヌーイチャックを前記基板の上に下降させる手段と、前記ベルヌーイチャックからエアを吹き出させる手段と、前記第1の吸着部による真空破壊を行った後、該第1の吸着部からエアを吹き出させる手段とを有することが好ましい。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記多孔質体は、セラミック多孔質体であることが好ましい。
第1の発明に係る基板搬送装置において、前記基板を太陽電池用シリコンウェハとすることができる。
前記目的に沿う第2の発明に係る基板搬送装置は、外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第1及び第2の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部と、を備え、前記基板を前記第1の位置から前記第2の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
請求項1〜8記載の基板搬送装置においては、基板の下面の一部が吸着部に接触するだけなので、基板が破損する可能性を低減することが可能である。
特に、請求項2記載の基板搬送装置においては、第1の吸着部と第2の吸着部とが交互に基板を搬送するので、単位時間当たりの搬送量を高めることが可能である。
請求項3記載の基板搬送装置においては、1対の支持部の内側に、第1及び第2の案内レールが固定され、この固定面が周囲よりも窪んでいるので、支持部の幅方向の寸法を小さくすることが可能である。
請求項4記載の基板搬送装置においては、吸着パッドによって吸着される基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材を有するので、基板を確実に位置決めすることが可能である。
請求項5記載の基板搬送装置においては、破損することなく外部から基板を受け取ることが可能である。
請求項6記載の基板搬送装置においては、破損することなくベルヌーイチャックに基板を受け渡すことが可能である。
請求項9記載の基板搬送装置においては、基板の下面の一部が吸着部に接触するだけなので、基板が破損する可能性を低減することが可能である。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、説明に関連しない部分については、図示を省略する場合がある。
図1に示すように、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置10は、矩形状の太陽電池用シリコンウェハ(基板の一例)11を位置A(第1の位置)から位置B(第2の位置)を経由して位置C(第3の位置)まで搬送することができる。この太陽電池用シリコンウェハ11の縦横の寸法は、それぞれ例えば120〜160mmである。また、太陽電池用シリコンウェハ11の厚みは、例えば0.15〜0.2mmである。このように、太陽電池用シリコンウェハ11は薄いので、割れないように搬送する必要がある。
基板搬送装置10は、図1〜図3に示すように、フレーム13を介して取り付け面に取り付けられた一対の第1及び第2の支持部21、22、並びに第1及び第2の吸着部31、32を有する第1の搬送部35と、ベルヌーイチャック40を有する第2の搬送部45とを備えている。
基板搬送装置10は、図1〜図3に示すように、フレーム13を介して取り付け面に取り付けられた一対の第1及び第2の支持部21、22、並びに第1及び第2の吸着部31、32を有する第1の搬送部35と、ベルヌーイチャック40を有する第2の搬送部45とを備えている。
第1の搬送部35の第1及び第2の支持部21、22は、互いに間隔を空けてそれぞれ位置Aから位置Bまで直線状に延びており、それぞれエアを上方に噴出することにより、位置Aから位置Bの間で太陽電池用シリコンウェハ11の両側の下面を非接触で支持することができる。
図2に示すように、第1及び第2の支持部21、22は、それぞれ、チャンネル部材51と、エア噴出部53とを有している。
チャンネル部材51は、各支持部21、22の下部に設けられ、凹側が対向するようにそれぞれ配置されている。凹側の窪んだ面には、それぞれ第1及び第2のスライダ56、57を第1及び第2の支持部21、22が延びる方向に案内する第1及び第2の案内レール61、62が固定されている。第1及び第2の案内レール61、62は、一対の支持部21、22の内側の窪んだ部分に収められるように固定されている。更に、第1及び第2のスライダ56、57も窪んだ部分に収められている。従って、支持部21、22の幅方向の寸法が小さく抑えられる。なお、内側に周囲よりも窪んだ面が形成され、この面に案内レール61、62が固定されるのであれば、チャンネル部材51とは異なる形状の部材であってもよい。
図2に示すように、第1及び第2の支持部21、22は、それぞれ、チャンネル部材51と、エア噴出部53とを有している。
チャンネル部材51は、各支持部21、22の下部に設けられ、凹側が対向するようにそれぞれ配置されている。凹側の窪んだ面には、それぞれ第1及び第2のスライダ56、57を第1及び第2の支持部21、22が延びる方向に案内する第1及び第2の案内レール61、62が固定されている。第1及び第2の案内レール61、62は、一対の支持部21、22の内側の窪んだ部分に収められるように固定されている。更に、第1及び第2のスライダ56、57も窪んだ部分に収められている。従って、支持部21、22の幅方向の寸法が小さく抑えられる。なお、内側に周囲よりも窪んだ面が形成され、この面に案内レール61、62が固定されるのであれば、チャンネル部材51とは異なる形状の部材であってもよい。
エア噴出部53は、角柱部材65と、その上に固定された多数の小孔を有する多孔質体66を有し、多孔質体66からエアを噴出する。エア噴出部53は、ブラケット52の上面に固定される。ここで、ブラケット52は、2つの板材の長辺部が、互いに長手方向からみて略直角に接合されたアングル材である。ブラケット52は、チャンネル部材51の上部に固定されている。
エアは、角柱部材65の外側側面に設けられたエア供給口(不図示)から角柱部材65の内部に形成された図示しない溝を通り、多孔質体66から上方へ噴出する。この多孔質体66として、例えば、セラミック多孔質体、多数の小孔が形成されたステンレス製又は樹脂製の板が挙げられる。多孔質体66からエアが噴出することにより、各支持部21、22上に載置された太陽電池用シリコンウェハ11は、例えば300μm浮上することができる。
エアは、角柱部材65の外側側面に設けられたエア供給口(不図示)から角柱部材65の内部に形成された図示しない溝を通り、多孔質体66から上方へ噴出する。この多孔質体66として、例えば、セラミック多孔質体、多数の小孔が形成されたステンレス製又は樹脂製の板が挙げられる。多孔質体66からエアが噴出することにより、各支持部21、22上に載置された太陽電池用シリコンウェハ11は、例えば300μm浮上することができる。
ここで、図1に示すように、第1の搬送部35上の位置Aを含む区間を第1の区間、位置Bを含む区間を第3の区間、第1と第3の区間の間の区間を第2の区間とすると、多孔質体66は、第1〜第3の区間に分割されており、それぞれ独立したエアの供給流路が形成されている。即ち、各区間の多孔質体66について、独立にエア噴出の開始及び停止が制御可能である。
なお、平面視して第2の区間の左右両側(第1の搬送部35の幅方向外側)には、太陽電池用シリコンウェハ11のクラックの有無を検査するための検査装置(不図示)を配置することができる。
なお、平面視して第2の区間の左右両側(第1の搬送部35の幅方向外側)には、太陽電池用シリコンウェハ11のクラックの有無を検査するための検査装置(不図示)を配置することができる。
なお、各支持部21、22の内側には、位置A及び位置Bにある太陽電池用シリコンウェハ11の有無を感知することができるウェハ感知センサ68、69がそれぞれ設けられている。
第1の搬送部35の第1及び第2の吸着部31、32は、それぞれ太陽電池用シリコンウェハ11の下面の片側を吸着し、一対の第1及び第2の支持部21、22の長手方向に沿って独立に移動することができる(図1に示す矢印参照)。第1及び第2の吸着部31、32は、それぞれ、前述の第1及び第2のスライダ56、57に固定される。また、第1及び第2の吸着部31、32は、それぞれ、図2及び図3に示す第1及び第2のタイミングベルト71、72に固定される。図3に示すように、この第2のタイミングベルト72は、チャンネル部材51の一端側に設けられた第1及び第2の小プーリ81、82、及びチャンネル部材51の他端側に設けられ、第2のサーボモータ92によって回転する大プーリ83に掛けられる。従って、第2のサーボモータ92が回転すると、第2の吸着部32は、第2の案内レール62に沿って位置A及び位置Bの間を移動することができる。なお、同様の構成により、第1の吸着部31も第1のサーボモータ91が回転すると、第1の案内レール61に沿って位置A及び位置Bの間を移動することができる。
第1及び第2のタイミングベルト71、72、第1及び第2の小プーリ81、82並びに大プーリ83は、チャンネル部材51の窪んだ部分に収められている。
第1及び第2のタイミングベルト71、72、第1及び第2の小プーリ81、82並びに大プーリ83は、チャンネル部材51の窪んだ部分に収められている。
第1及び第2の吸着部31、32は、それぞれ、吸着パッド85と、昇降機構86とを有している。
吸着パッド85は、各吸着部31、32の移動方向に並んで2つ設けられ、太陽電池用シリコンウェハ11の下面の片側をエア吸着することができる(図2に示す矢印参照)。図4に示すように、吸着パッド85の内側には、吸着パッド85によって吸着される太陽電池用シリコンウェハ11の上下方向の位置決めをする位置決め部材87が設けられている。
昇降機構86は、吸着パッド85を上下方向に移動させることができる。この昇降機構86は、例えば、エアシリンダにより構成される。
吸着パッド85は、各吸着部31、32の移動方向に並んで2つ設けられ、太陽電池用シリコンウェハ11の下面の片側をエア吸着することができる(図2に示す矢印参照)。図4に示すように、吸着パッド85の内側には、吸着パッド85によって吸着される太陽電池用シリコンウェハ11の上下方向の位置決めをする位置決め部材87が設けられている。
昇降機構86は、吸着パッド85を上下方向に移動させることができる。この昇降機構86は、例えば、エアシリンダにより構成される。
第2の搬送部45のベルヌーイチャック40は、エアを吹き出して負圧を発生させることにより位置Bに搬送された太陽電池用シリコンウェハ11を非接触で保持し、位置Cまで搬送することができる。図1に示すように、ベルヌーイチャック40は、一端が回転軸Rを中心に回転可能なアーム90に支持されている。また、ベルヌーイチャック40は、昇降機構99により、上下方向にも移動可能となっている。
なお、位置Aの近傍(第1及び第2の支持部21、22の外側)には、図示しないウェハ供給ユニットが設けられている。ウェハ供給ユニットは、上下方向に複数の太陽電池用シリコンウェハ11を収容したマガジンを下降させることにより、太陽電池用シリコンウェハ11を、下側から順に第1の搬送部35の位置Aに受け渡すことができる。マガジンは外部から供給される。
次に、基板搬送装置10の1)太陽電池用シリコンウェハ11を受け取る受け取り動作、2)太陽電池用シリコンウェハ11を位置Aから位置Bまで搬送する第1の搬送動作、及び3)太陽電池用シリコンウェハ11を位置Bから位置Cまで搬送する第2の搬送動作について、それぞれ図5〜図7に基づいて順に説明する。なお、各動作は、図示しないコントローラ(制御装置の一例)内の制御手段によって制御される。
<1.受け取り動作>
最初の受け取り動作開始前は、基板搬送装置10の各部は、以下の状態である。
(1)第1の吸着部31が、位置Aにて待機している。吸着パッド85は下降している。また、吸着パッド85のエア吸着は停止した状態である。
(2)第1〜第3の区間の多孔質体66からのエア噴出は停止した状態である。
最初の受け取り動作開始前は、基板搬送装置10の各部は、以下の状態である。
(1)第1の吸着部31が、位置Aにて待機している。吸着パッド85は下降している。また、吸着パッド85のエア吸着は停止した状態である。
(2)第1〜第3の区間の多孔質体66からのエア噴出は停止した状態である。
(ステップS1−1)
マガジンが下降する。
(ステップS1−2)
マガジンの最も下側に収容された太陽電池用シリコンウェハ11が、ウェハ感知センサ68によって検出される。これにより、コントローラは、太陽電池用シリコンウェハ11が位置Aの支持位置まで降下したものと判断する。
マガジンが下降する。
(ステップS1−2)
マガジンの最も下側に収容された太陽電池用シリコンウェハ11が、ウェハ感知センサ68によって検出される。これにより、コントローラは、太陽電池用シリコンウェハ11が位置Aの支持位置まで降下したものと判断する。
(ステップS1−3)
ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T1経過後に、昇降機構86が第1の吸着部31の吸着パッド85を上昇させる。また、ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T2経過後に、第1の吸着部31のエア吸着動作を開始する。また、ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T3経過後に、太陽電池用シリコンウェハ11に面する各支持部21、22の上端部に設けられた第1〜第3の区間の多孔質体66からのエア噴出を開始する。なお、一度エアを噴出させた後は、基板搬送装置10の動作が停止するまで、多孔質体66からのエアの噴出は原則として停止させない。
なお、時間T1〜T3は、それぞれ例えば、0〜数百msecの長さである。時間T1〜T3は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、太陽電池用シリコンウェハ11の大きさ等に応じて調整可能に構成される。
ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T1経過後に、昇降機構86が第1の吸着部31の吸着パッド85を上昇させる。また、ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T2経過後に、第1の吸着部31のエア吸着動作を開始する。また、ウェハ感知センサ68が太陽電池用シリコンウェハ11を検出した時点から予め決められた時間T3経過後に、太陽電池用シリコンウェハ11に面する各支持部21、22の上端部に設けられた第1〜第3の区間の多孔質体66からのエア噴出を開始する。なお、一度エアを噴出させた後は、基板搬送装置10の動作が停止するまで、多孔質体66からのエアの噴出は原則として停止させない。
なお、時間T1〜T3は、それぞれ例えば、0〜数百msecの長さである。時間T1〜T3は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、太陽電池用シリコンウェハ11の大きさ等に応じて調整可能に構成される。
前述のステップS1−3が実行されると、基板搬送装置10の位置Aにて、太陽電池用シリコンウェハ11が第1及び第2の支持部21、22及び吸着部31によって支持され、受け取り動作が終了する。
なお、太陽電池用シリコンウェハ11は、吸着パッド85によって吸着されるが、前述のように、その内部に設けられた位置決め部材87(図4参照)によって上下方向に位置決めされる。詳細には、吸着パッド85が太陽電池用シリコンウェハ11を吸着すると、負圧により吸着パッド85が上下方向に変形する。その際、吸着パッド85の内部に設けられた位置決め部材87に太陽電池用シリコンウェハ11が突き当たり、吸着パッド85の変形を制限するため、太陽電池用シリコンウェハ11は、予め決められた上下方向位置に位置決めされる。
<2.第1の搬送動作(位置A〜位置B)>
(ステップS2)
第1の吸着部31の吸着パッド85が太陽電池用シリコンウェハ11を吸着した状態で、第1の吸着部31が位置Aから位置Bまで移動する。具体的には、第1のサーボモータ91が回転することにより、第1のタイミングベルト71が駆動され、第1の吸着部31が第1の案内レール61に案内されて移動する。第1の吸着部31の吸着パッド85は、太陽電池用シリコンウェハ11の片側の下面を吸着する。ただし、第1及び第2の支持部21、22がエアを上方に吹き出し、太陽電池用シリコンウェハ11の両側を支持しているので、第1の吸着部31が接触することによる太陽電池用シリコンウェハ11の負荷は小さい。そのため、太陽電池用シリコンウェハ11が破損する可能性は低減される。
一方、第1の吸着部31が移動するとともに、第2の吸着部32が位置Bから位置Aまで移動する。即ち、第1の吸着部31と第2の吸着部32は、互いに反対方向に移動する。
(ステップS2)
第1の吸着部31の吸着パッド85が太陽電池用シリコンウェハ11を吸着した状態で、第1の吸着部31が位置Aから位置Bまで移動する。具体的には、第1のサーボモータ91が回転することにより、第1のタイミングベルト71が駆動され、第1の吸着部31が第1の案内レール61に案内されて移動する。第1の吸着部31の吸着パッド85は、太陽電池用シリコンウェハ11の片側の下面を吸着する。ただし、第1及び第2の支持部21、22がエアを上方に吹き出し、太陽電池用シリコンウェハ11の両側を支持しているので、第1の吸着部31が接触することによる太陽電池用シリコンウェハ11の負荷は小さい。そのため、太陽電池用シリコンウェハ11が破損する可能性は低減される。
一方、第1の吸着部31が移動するとともに、第2の吸着部32が位置Bから位置Aまで移動する。即ち、第1の吸着部31と第2の吸着部32は、互いに反対方向に移動する。
<3.第2の搬送動作(位置B〜位置C)>
第2の搬送動作開始前は、基板搬送装置10の各部は、以下の状態である。
(1)第1の吸着部31が、位置Bにて太陽電池用シリコンウェハ11を吸着した状態で待機している。吸着パッド85は上昇している。
(2)第1〜第3の区間の多孔質体66からエアが吹き出した状態である。
(3)ベルヌーイチャック40は、位置B以外の位置にある。
第2の搬送動作開始前は、基板搬送装置10の各部は、以下の状態である。
(1)第1の吸着部31が、位置Bにて太陽電池用シリコンウェハ11を吸着した状態で待機している。吸着パッド85は上昇している。
(2)第1〜第3の区間の多孔質体66からエアが吹き出した状態である。
(3)ベルヌーイチャック40は、位置B以外の位置にある。
(ステップS3−1)
アーム90が回転移動し、ベルヌーイチャック40が位置Bの上方へ移動する。
(ステップS3−2)
昇降機構99がベルヌーイチャック40を下降させる。ベルヌーイチャック40は、太陽電池用シリコンウェハ11の受け取り位置Bにて停止する。
(ステップS3−3)
ベルヌーイチャック40の下降開始から予め決められた時間T4が経過した後、ベルヌーイチャック40のエア噴出を開始する。なお、時間T4は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T4は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T4を0とし、コントローラの指令上、ベルヌーイチャック40の下降開始とエア噴出を同時にすることも可能である。
(ステップS3−4)
第1の吸着部31の吸着パッド85のエア吸着が停止する。
(ステップS3−5)
吸着パッド85のエア吸着が停止した時点から予め決められた時間T5が経過した後、吸着パッド85からエアが噴出する(真空破壊)。なお、時間T5は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T5は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T5を0とすることも可能である。
(ステップS3−6)
真空破壊後、吸着パッド85からのエア噴出が停止する。
(ステップS3−7)
吸着パッド85からエアが吹き出した時点から予め決められた時間T6が経過した後、吸着パッド85が下降する。太陽電池用シリコンウェハ11は、ベルヌーイチャック40に受け渡される。なお、時間T6は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T6は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T6を0とすることも可能である。
(ステップS3−8)
太陽電池用シリコンウェハ11を保持した状態で、昇降機構99により、ベルヌーイチャック40が上昇する。
(ステップS3−9)
アーム90が回転移動し、ベルヌーイチャック40が位置Bの上方から位置Cへと移動する。
アーム90が回転移動し、ベルヌーイチャック40が位置Bの上方へ移動する。
(ステップS3−2)
昇降機構99がベルヌーイチャック40を下降させる。ベルヌーイチャック40は、太陽電池用シリコンウェハ11の受け取り位置Bにて停止する。
(ステップS3−3)
ベルヌーイチャック40の下降開始から予め決められた時間T4が経過した後、ベルヌーイチャック40のエア噴出を開始する。なお、時間T4は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T4は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T4を0とし、コントローラの指令上、ベルヌーイチャック40の下降開始とエア噴出を同時にすることも可能である。
(ステップS3−4)
第1の吸着部31の吸着パッド85のエア吸着が停止する。
(ステップS3−5)
吸着パッド85のエア吸着が停止した時点から予め決められた時間T5が経過した後、吸着パッド85からエアが噴出する(真空破壊)。なお、時間T5は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T5は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T5を0とすることも可能である。
(ステップS3−6)
真空破壊後、吸着パッド85からのエア噴出が停止する。
(ステップS3−7)
吸着パッド85からエアが吹き出した時点から予め決められた時間T6が経過した後、吸着パッド85が下降する。太陽電池用シリコンウェハ11は、ベルヌーイチャック40に受け渡される。なお、時間T6は、例えば、0〜数百msecの長さである。時間T6は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間T6を0とすることも可能である。
(ステップS3−8)
太陽電池用シリコンウェハ11を保持した状態で、昇降機構99により、ベルヌーイチャック40が上昇する。
(ステップS3−9)
アーム90が回転移動し、ベルヌーイチャック40が位置Bの上方から位置Cへと移動する。
ベルヌーイチャック40が上昇した後、第1の吸着部31が位置Bから位置Aまで移動するとともに、後続の太陽電池用シリコンウェハ11を吸着した第2の吸着部32が位置Aから位置Bまで移動する。即ち、ステップS3−8が実行された後、第2の吸着部32が、第1の吸着部31と同様に動作し、受け渡し動作、第1の搬送動作及び第2の搬送動作が実行される。
このように、第1の吸着部31と第2の吸着部32が互いに反対方向に移動し、それぞれ受け取り動作、第1の搬送動作及び第2の搬送動作を繰り返して交互に太陽電池用シリコンウェハ11を搬送するので、単位時間当たりの搬送量が多い。
このように、第1の吸着部31と第2の吸着部32が互いに反対方向に移動し、それぞれ受け取り動作、第1の搬送動作及び第2の搬送動作を繰り返して交互に太陽電池用シリコンウェハ11を搬送するので、単位時間当たりの搬送量が多い。
なお、本発明は、前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲での変更は可能である。例えば、前述のそれぞれ実施の形態や変形例の一部又は全部を組み合わせて本発明を構成する場合も本発明の技術的範囲に含まれる。
ベルヌーイチャック40は、アーム90の先端に設けられ、回転移動して太陽電池用シリコンウェハ11を搬送するが、直動機構により直線移動して太陽電池用シリコンウェハ11を搬送してもよい。
また、基板は、太陽電池用シリコンウェハ11に限定されるものではなく、薄板状であれば、任意の基板でよい。
また、基板は、太陽電池用シリコンウェハ11に限定されるものではなく、薄板状であれば、任意の基板でよい。
10:基板搬送装置、11:太陽電池用シリコンウェハ、13:フレーム、21:第1の支持部、22:第2の支持部、31:第1の吸着部、32:第2の吸着部、35:第1の搬送部、40:ベルヌーイチャック、45:第2の搬送部、51:チャンネル部材、52:ブラケット、53:エア噴出部、56:第1のスライダ、57:第2のスライダ、61:第1の案内レール、62:第2の案内レール、65:角柱部材、66:多孔質体、68、69:ウェハ感知センサ、71:第1のタイミングベルト、72:第2のタイミングベルト、81:第1の小プーリ、82:第2の小プーリ、83:大プーリ、85:吸着パッド、
86:昇降機構、87:位置決め部材、90:アーム、91:第1のサーボモータ、92:第2のサーボモータ、99:昇降機構
86:昇降機構、87:位置決め部材、90:アーム、91:第1のサーボモータ、92:第2のサーボモータ、99:昇降機構
Claims (9)
- 外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第1及び第2の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部と、負圧を発生させることにより前記第2の位置に搬送された前記基板を非接触で保持し、第3の位置まで搬送するベルヌーイチャックとを備え、前記基板を前記第1の位置から前記第3の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有することを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置において、前記第1及び第2の吸着部は、互いに反対方向に移動することを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項2記載の基板搬送装置において、前記第1及び第2の支持部の内側に、それぞれ、該第1及び第2の支持部の長手方向に沿って延び、前記第1及び第2の吸着部を案内する第1及び第2の案内レールを備え、
前記第1及び第2の案内レールは、それぞれ周囲よりも窪んだ面に固定されることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項3記載の基板搬送装置において、前記第1及び第2の吸着部は、それぞれ前記基板をエア吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドを昇降させる昇降機構と、
前記吸着パッドによって吸着される前記基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材とを有することを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板搬送装置において、前記第1の位置にて外部から前記基板が受け渡される際、前記基板を吸着する前記第1の吸着パッドを上昇させる手段と、前記第1の吸着部による吸着を開始する手段と、前記多孔質体からエアを吹き出させる手段とを有する制御装置を更に備えたことを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項5記載の基板搬送装置において、前記制御装置は、前記ベルヌーイチャックが前記第2の位置に搬送された前記基板を前記第3の位置に搬送する際、前記ベルヌーイチャックを前記基板の上に下降させる手段と、前記ベルヌーイチャックからエアを吹き出させる手段と、前記第1の吸着部による真空破壊を行った後、該第1の吸着部からエアを吹き出させる手段とを有することを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板搬送装置において、前記多孔質体は、セラミック多孔質体であることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板搬送装置において、前記基板は太陽電池用シリコンウェハであることを特徴とする基板搬送装置。
- 外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第1の位置から第2の位置まで延びる一対の第1及び第2の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第1及び第2の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第1及び第2の吸着部と、を備え、前記基板を前記第1の位置から前記第2の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第1及び第2の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有することを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010172472A JP2012033739A (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010172472A JP2012033739A (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | 基板搬送装置 |
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JP2012033739A true JP2012033739A (ja) | 2012-02-16 |
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ID=45846790
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JP2010172472A Pending JP2012033739A (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | 基板搬送装置 |
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JP (1) | JP2012033739A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105304542A (zh) * | 2014-07-16 | 2016-02-03 | 东和株式会社 | 单片化物品的移送方法、制造方法以及制造装置 |
CN109860080A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-06-07 | 浙江中晶新能源有限公司 | 一种硅片的定位输送装置 |
-
2010
- 2010-07-30 JP JP2010172472A patent/JP2012033739A/ja active Pending
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