JP2012033531A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、帯状の剥離シートRLの一方の面に所定形状の接着シートMSと剥離シートRLの繰出方向に沿って連続するスペーサシートS1とが仮着された原反Rを繰り出す繰出手段4と、繰出手段4により繰り出された原反Rの剥離シートRLからスペーサシートS1を除去する除去手段5と、除去手段5でスペーサシートS1が除去された剥離シートRLから接着シートMSを剥離する剥離手段6と、剥離手段6で剥離された接着シートMSを被着体Wに押圧して貼付する押圧手段7と、除去手段5で除去されたスペーサシートS1および剥離手段6で剥離された剥離シートRLを重ねて巻き取る巻取手段8とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、マウント用シート周辺に形成されたスペーサシートとマウント用シートとが仮着された剥離シートからスペーサシートを除去した後、マウント用シートを剥離シートから剥離してウェハに貼付する。そして、マウント用シートが剥離された剥離シートや、剥離シートから除去されたスペーサシートは、回収ローラで回収されて廃棄される。
また、本発明のシート貼付装置において、前記弛み防止手段は、前記スペーサシートの数に応じて複数設けられ、各弛み防止手段が独立して前記スペーサシートの弛みを防止することが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置は、前記スペーサシートの切断を検知する切断検知手段を備えていることが好ましい。
また、スペーサシートの数に応じて複数の弛み防止手段を設け、各弛み防止手段が独立してスペーサシートの弛みを防止するようにすれば、例えば、何れかのスペーサシートにおいて接着面同士が接着したり、切断したりしたとき等、スペーサシート間でその長さが異なってしまう場合においても、それぞれのスペーサシートを個別に弛まないようにすることができる。
さらに、スペーサシートの切断を検知する切断検知手段を設ければ、スペーサシートの切断時に、例えば、原反の繰出動作を停止させる等の対処ができ、除去されたスペーサシートが巻取手段で巻き取られずに散乱したり、スペーサシートが周辺箇所に接着してしまったりすることを防止できる。
図1に示すように、本実施形態のシート貼付装置1は、被着体としてのウェハWおよびリングフレームRFに接着シートとしてのマウント用シートMSを貼付し、このマウント用シートMSでウェハWとリングフレームRFとを一体化するものである。ここで、ウェハWは、図中下側に位置する表面に回路が形成されるとともに保護シートSが貼付されており、このウェハWの裏面にマウント用シートMSが貼付される。
押圧ローラ7は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しないベースプレートに回転自在に支持されている。
すなわち、剥離シートRLから除去されたスペーサシートS1と、マウント用シートMSが剥離された剥離シートRLとを重ねて巻き取るため、各シートS1,RLを効率的に回収できる。
前記実施形態では、弛み防止手段9として直動モータ91が用いられたが、弛み防止手段9としてはこれに限られない。要するに、巻き方向の反転に伴うスペーサシートS1の弛みを防止できればよく、例えば、直動モータ91及び誘導ローラ93の替わりに、支持アーム52を図示しない駆動機器を介して揺動可能に設け、剥離ローラ51を支持ローラ41から離れる方向に移動させてスペーサシートS1の弛みを防止するようにしてもよい。
さらに、前記実施形態では、スペーサシートS1と剥離シートRLとを巻き方向が反対になるように巻き取った場合に弛み防止手段9が有効に機能することを例示したが、スペーサシートS1の伸び等を考慮すれば、それらを巻き方向が同じになるように巻き取った場合であっても弛み防止手段9は有効に機能する。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
4 繰出手段
5 除去手段
6 ピールプレート(剥離手段)
7 押圧ローラ(押圧手段)
8 回収ローラ(巻取手段)
9 弛み防止手段
10 切断検知手段
R 原反
S1 スペーサシート
MS マウント用シート(接着シート)
RL 剥離シート
W ウェハ(被着体)
Claims (5)
- 帯状の剥離シートの一方の面に所定形状の接着シートと前記剥離シートの繰出方向に沿って連続するスペーサシートとが仮着された原反から前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段により繰り出された原反の剥離シートから前記スペーサシートを除去する除去手段と、
前記除去手段で前記スペーサシートが除去された剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記除去手段で除去されたスペーサシートおよび前記剥離手段で剥離された剥離シートを重ねて巻き取る巻取手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記除去手段で除去されたスペーサシートを前記巻取手段へ誘導するとともに、前記スペーサシートの弛みを防止する弛み防止手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記弛み防止手段は、前記スペーサシートの数に応じて複数設けられ、各弛み防止手段が独立して前記スペーサシートの弛みを防止することを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
- 前記スペーサシートの切断を検知する切断検知手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート貼付装置。
- 帯状の剥離シートの一方の面に所定形状の接着シートと前記剥離シートの繰出方向に沿って連続するスペーサシートとが仮着された原反から前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出し、
前記繰り出された原反の剥離シートから前記スペーサシートを除去し、
前記スペーサシートが除去された剥離シートから前記接着シートを剥離し、
前記剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付し、
前記除去されたスペーサシートおよび前記剥離された剥離シートを重ねて巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。
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