JP6053132B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハマウント用テープ(原反)から剥離された貼着部(接着シート)をウェハに貼着する押圧ローラ手段と、接着シートに対し、当該接着シートの繰り出し方向と交差する方向(以下、単に「交差方向」という場合がある)に張力を付与するテンション付与手段とを備えている。テンション付与手段は、押圧ローラ手段の両端に設けられた2個のピン歯車と、当該2個のピン歯車の間隔を拡張する方向に付勢するスプリングとを備えている。
そして、接着シートをウェハに貼着する際には、原反の両端縁部に設けられた孔部にピン歯車の突起状物を嵌合させ、スプリングの拡張作用により交差方向にテンションを付与しながら、原反から接着シートを剥離し、当該接着シートをウェハに貼着するように構成されている。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第1、第2実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、第1、第2実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、リニアモータ60の第1および第2スライダ61、66が図1中二点鎖線で示す位置で停止している状態で、オペレータが原反RSおよび支持材SL1をそれぞれ図1に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、第1繰出手段2が回動モータ22、25を駆動し、原反RSを繰り出すとともに、その繰り出しに同期して、第2繰出手段3および支持材剥離手段8が回動モータ30、33、82を駆動し、支持材SL1を原反RSと同じ速度で繰り出す(以下、このような原反RSと支持材SL1との同期繰り出しを単に「第1同期繰出」という場合がある)。このとき、第1押圧手段4が直動モータ40を駆動し、押圧ローラ43で支持材SL1を押圧して接着面SDを接着シートASに貼付する。そして、支持材SL1が貼付された接着シートASが剥離板5の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、第1、第2繰出手段2、3および支持材剥離手段8が第1同期繰出を停止しスタンバイ状態となる。
その後、図示しない搬送手段によってテーブル92の支持面91上にウェハWFが載置されると、図示しない吸引手段が駆動し、当該ウェハWFを吸着保持する。
そして、支持材剥離手段8が回動モータ82の駆動を停止させた状態で、第2押圧手段6がリニアモータ60を駆動し、第1および第2スライダ61、66を図1中実線で示す位置に移動させる。この移動に同期して、第1および第2繰出手段2、3が回動モータ22、25、30、33を駆動し、支持材SL1および接着シートASを繰り出すことで、接着シートASが支持材SL1に支持されて剥離シートRLから剥離される。その後、支持材SL1に支持された接着シートASがウェハWFの直上に位置したことが図示しない検知手段に検知されると、第1、第2繰出手段2、3および第2押圧手段6が回動モータ22、25、30、33およびリニアモータ60を停止する。このとき、第1および第2繰出手段2、3の少なくとも一方と、第2押圧手段6および支持材剥離手段8の少なくとも一方とが繰出方向張力付与手段となり、支持材SL1に対して接着シートASの繰出方向(以下、単に「繰出方向」という)に所定の張力を付与し、延いては、接着シートASに張力を付与するように、回動モータ22、25、30、33、82、リニアモータ60の内1または複数のトルクを制御する。
そして、第2押圧手段6が直動モータ62およびリニアモータ60を駆動し、押圧ローラ65を下降させた後、第1スライダ61を図1中二点鎖線で示す位置に移動させることで、支持材SL1を介して接着シートASを押圧してウェハWFに貼付する。これにより、接着シートASは、繰出方向(左右方向)および交差方向(前後方向)にそれぞれ略等しい張力が付与された状態でウェハWFに貼付されることとなる。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハWFの吸着保持を解除した後、接着シートASが貼付されたウェハWFは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
なお、第1実施形態と同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
図3、4に示すように、第2実施形態のシート貼付装置1Aは、第1実施形態のシート貼付装置1に対し、第2押圧手段6、幅方向張力付与手段7、支持材剥離手段8の代わりに第2押圧手段6A、幅方向張力付与手段7A(図4)、支持材剥離手段8Aを設け、リニアモータ94Aのスライダ93Aに支持されたテーブル92の上方に配置されている点が相違する。また、第2実施形態の支持材SL2は、第1実施形態の支持材SL1の幅方向の両端部に所定間隔で円形の孔SH2(図4)を設けた点が相違する。なお、第2繰出手段3のガイドローラ32は、単数となっている。
先ず、オペレータが原反RSおよび支持材SL2をそれぞれ図3に示すようにセットする。このとき、ピン歯車70Aのピン72Aに支持材SL2の孔SH2が挿通されることで、支持材SL2に交差方向への張力を付与することとなる。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、第1繰出手段2が回動モータ22、25を駆動し、原反RSを繰り出すとともに、その繰り出しに同期して、第2繰出手段3および支持材剥離手段8Aが回動モータ30、33、82を駆動し、支持材SL2を原反RSと同じ速度で繰り出す(以下、このような原反RSと支持材SL2との同期繰り出しを単に「第2同期繰出」という場合がある)。このとき、第1押圧手段4が直動モータ40を駆動し、押圧ローラ43で支持材SL2を押圧して接着面SDを接着シートASに貼付する。そして、支持材SL2が貼付された接着シートASが剥離板5の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、第1、第2繰出手段2、3および支持材剥離手段8Aが第2同期繰出を停止してスタンバイ状態となる。
また、図1、3中二点鎖線で示すように、第2繰出手段3の代わりに、駆動機器としての回動モータ30C、31Cによって駆動する駆動ローラ32C、33Cとの間に支持材SL1、SL2を挟み込むピンチローラ34C、35Cと、複数または単数のガイドローラ32とを備えた第2繰出手段3Cを設け、無端の支持材SL3を回行させる構成としてもよい。
また、幅方向張力付与手段が支持材に張力を付与する方向は、繰出方向と交差する方向であればY軸に対して傾斜する方向であってもよい。
さらに、幅方向張力付与手段が支持材に張力を付与する方向は、1方向だけでなく、複数の方向であってよい。この場合、例えば、第1実施形態の幅方向張力付与手段7を、張力を付与する方向をずらして複数配置すればよい。
さらに、第1実施形態において、幅方向張力付与手段7の代わりに、押圧ローラ65と同軸で回転可能なピン歯車70Aを有する幅方向張力付与手段7Aを設けるとともに、支持材SL1の代わりに支持材SL2を用い、直動モータ62およびリニアモータ60の駆動によって、ピン歯車70Aのピン72Aを支持材SL2の孔SH2に嵌合させて支持材SL2に張力を付与するとともに、右方向に移動する押圧ローラ65によって接着シートASを支持材SL2上から押圧してウェハWFに貼付してもよい。
さらに、第2実施形態において、孔SH2の形状としては、円形に限らず、多角形、楕円形であってもよく、ピン72A、72Dの形状としては、孔SH2に挿抜可能な形状であれば、いかなる形状であってもよい。
また、第2実施形態において、ピン歯車70A、70Dは、押圧ローラ65とは異なるブラケットで回転可能に支持されていてもよい。
さらに、第2実施形態における剥離ローラ83に、ピン歯車70A、70Dと同等のピン72A、72Dを設けてもよい。
さらに、繰出方向張力付与手段が支持材SL1、SL2に付与する張力と、幅方向張力付与手段7、7Aが支持材SL1、SL2に付与する張力とは、同じであってもよいし、同じでなくてもよい。
さらに、支持材SL1、SL2は、濡れ性や静電気等で接着シートASを支持する樹脂やエラストマ等で構成してもよい。
2…第1繰出手段
3、3C…第2繰出手段
4…第1押圧手段
5…剥離板(シート剥離手段)
6、6A…第2押圧手段
7、7A…幅方向張力付与手段
8、8A…支持材剥離手段
10B…切断手段
AD…接着面
AS…接着シート
RL…剥離シート
RS…原反
SL1、SL2、SL3…支持材
Claims (5)
- 一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す第1繰出手段と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第2繰出手段と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第1押圧手段と、
前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第2押圧手段と、
前記第2押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す第1繰出手段と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す第2繰出手段と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する第1押圧手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離するシート剥離手段と、
前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する第2押圧手段と、
前記第2押圧手段で押圧される支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する支持材剥離手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体に貼付された接着シート上の支持材を所定形状に切断する切断手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 一方の面が接着面とされた接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、
前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。 - 一方の面が接着面とされた接着シートの当該接着面に帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記接着シートの他方の面側から当該接着シートを支持可能な支持材を繰り出す工程と、
前記支持材を前記接着シートの他方の面に押圧して貼付する工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記支持材に対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与しながら、前記支持材に支持された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記接着シートから前記支持材を剥離する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。
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