JP2012028730A - 多層回路基板及び多層回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態の多層回路基板は各層に配線パターンが形成されて積層される絶縁基板と、上記各層に形成された配線パターンを直列連結するビア電極を含み、上記1つのビア電極は一層に形成された配線パターンと異なる層に形成された配線パターンを並列接続する複数の単位ビアで構成されたビア束で形成される。本発明の一実施形態によると、上記複数の単位ビアから成るビア束が形成されるため、電気的接続の信頼性が向上し、ビア電極の突出及びボイドの形成を防ぐことができる。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- それぞれ配線パターンが形成された複数の絶縁層が積層されて成る多層絶縁基板と、
前記多層絶縁基板に形成され、異なる層に形成された配線パターンを連結する複数のビア電極を含み、
前記複数のビア電極の少なくとも1つのビア電極は、前記連結する配線パターンとの間に並列に形成された複数の単位ビアを有するビア束である多層回路基板。 - 前記単位ビアは、各層間において積層方向に隣接する単位ビアに交差して形成されることを特徴とする請求項1に記載の多層回路基板。
- 前記ビア束の直径は、200μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の多層回路基板。
- 前記単位ビアの直径は、100μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の多層回路基板。
- 配線パターンが形成された絶縁基板にビア電極を形成する複数のビアをパンチングし、前記複数のビアの少なくとも1つのビアは複数の単位ビアで構成されたビア束でパンチングする段階と、
前記複数のビアを伝導性物質で充填し、複数のビア電極を形成する段階と、
異なる層に位置した配線パターンが前記ビア電極により連結されるように絶縁基板を積層する段階と、
を含む多層回路基板の製造方法。 - 前記単位ビアは、各層間において積層方向に隣接する単位ビアに交差して形成されることを特徴とする請求項5に記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記ビア束の直径は、200μm以下であることを特徴とする請求項5に記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記単位ビアの直径は、100μm以下であることを特徴とする請求項5に記載の多層回路基板の製造方法。
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