JP2012018176A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個(Nは正の整数)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
【選択図】図1
Description
2:カンチレバー型プロ−ブ 3:開口部 4:中間支持部
5:プローブ針元部 9:基板
10:被測定チップ 10X:X方向チップ領域 10Y:Y方向チップ領域
10X,Y:対角方向チップ領域 11:支持部材 12:薄板
13:先端部 14:補強板 15:開口部
L:プロ−ブ全長 C:チップ領域長さ α:傾斜角 d:深さ
Claims (2)
- 半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個(Nは正の整数)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
- 半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、チップ領域に対応する開口部と、この開口部の周縁部から内部に伸び且つ前記周縁部からX軸方向、Y軸方向の外部に延びる複数のカンチレバー型プローブとを有する第1のプローブカードユニット、この第1のプローブカードユニットの開口部から斜め対角方向にM個(Mは正の整数で)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた位置に開口部を位置するように設けられた第2のプローブカードユニット、前記第1のプローブカードユニットと前記第2のプローブカードユニットとを、両ユニットの間で斜め対角方向に延びる部材によって支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
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