JP2012011518A - 研磨装置、研磨パッドおよび研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】効率良く基板を研磨する研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨装置が、研磨パッドと、ターンテーブルと、供給ノズルと、振動供給部と、壁面部と、を備えている。研磨パッドは、被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行う。ターンテーブルは、前記研磨パッドを載置する。供給ノズルは、前記研磨パッド上に研磨剤を滴下する。振動供給部は、前記研磨パッドに振動エネルギを与える。壁面部は、前記研磨パッドの外周部に立設され、前記研磨パッドの上面よりも高い高さの壁面で前記研磨パッドの側面を囲う。
【選択図】図3
【解決手段】研磨装置が、研磨パッドと、ターンテーブルと、供給ノズルと、振動供給部と、壁面部と、を備えている。研磨パッドは、被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行う。ターンテーブルは、前記研磨パッドを載置する。供給ノズルは、前記研磨パッド上に研磨剤を滴下する。振動供給部は、前記研磨パッドに振動エネルギを与える。壁面部は、前記研磨パッドの外周部に立設され、前記研磨パッドの上面よりも高い高さの壁面で前記研磨パッドの側面を囲う。
【選択図】図3
Description
本発明の実施の形態は、研磨装置、研磨パッドおよび研磨方法に関する。
ウエハなどの基板上に半導体装置を製造する際の製造工程の1つにCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程がある、このCMP工程は、ウエハの被研磨面(表面または裏面)を平坦にすることを目的として行われる工程であり、CMP装置に配設されたパッド、及びスラリ(研磨剤)によってウエハ上の表面が研磨される工程である。
CMP装置では、スラリをパッド上に滴下しながら、ウエハ上の表面を研磨している。しかしながら、パッド上には、ウエハの研磨に用いられた使用後のスラリ(化学成分が低下したスラリや研磨時に発生する研磨粉等を含むスラリ)などが存在する。この使用後のスラリはパッド表面から深く浸透し研磨レート低下やスクラッチの発生原因になることから速やかに取り除き、新たに供給するスラリを用いた良効率のウエハ研磨が望まれている。
本発明の実施の形態は、効率良く基板を研磨する研磨装置、研磨パッドおよび研磨方法を提供することを目的とする。
実施の形態によれば、研磨装置が、研磨パッドと、ターンテーブルと、供給ノズルと、振動供給部と、壁面部と、を備えている。研磨パッドは、被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行う。ターンテーブルは、前記研磨パッドを載置する。供給ノズルは、前記研磨パッド上に研磨剤を滴下する。振動供給部は、前記研磨パッドに振動エネルギを与える。壁面部は、前記研磨パッドの外周部に立設され、前記研磨パッドの上面よりも高い高さの壁面で前記研磨パッドの側面を囲う。
以下に添付図面を参照して、本発明の実施の形態に係る研磨装置、研磨パッドおよび研磨方法を詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。
(実施の形態)
図1は、実施の形態に係るCMP装置の全体構成を示すブロック図である。CMP装置100は、ポリッシング装置(研磨装置)の一例であり、ウエハWAなどの基板上に半導体装置(半導体回路)を製造する際のCMP(化学的機械的研磨)工程で用いられる。
図1は、実施の形態に係るCMP装置の全体構成を示すブロック図である。CMP装置100は、ポリッシング装置(研磨装置)の一例であり、ウエハWAなどの基板上に半導体装置(半導体回路)を製造する際のCMP(化学的機械的研磨)工程で用いられる。
CMP装置100は、研磨部1、洗浄部2、乾燥部3を含んで構成されている。研磨部1は、後述するパッド(研磨パッド)13を備えた研磨チャンバであり、パッド13上でウエハWAへの化学的機械的研磨を行うCMP装置の主要部である。洗浄部2は、研磨部1で研磨されたウエハWAに対し、ロールスポンジやペンシルスポンジなどを用いて洗浄を行う。乾燥部3は、洗浄部2で洗浄されたウエハWAをスピン乾燥などによって乾燥させる。
ウエハWAの研磨を行う際には、ウエハWAは、CMP装置100内に搬入される。ウエハWAは、まず、研磨部1に搬送されて、研磨部1で研磨される。本実施の形態では、研磨部1が備えるパッド13の外周部(円形の外枠部分)を、所定の高さを有した壁面(後述の防スラリ堤)20で囲っておく。また、パッド13の下部側からパッド13に振動エネルギを供給し、このパッド13を介してスラリ(研磨剤)などに均一に振動エネルギを与える。これにより、パッド13上のスラリを所定量だけ溜め込みながら、振動エネルギによってスラリを撹拌しつつ、ウエハWAの研磨を行う。
研磨部1で研磨されたウエハWAは、洗浄部2に搬送され、洗浄部2で洗浄される。そして、洗浄部2で洗浄されたウエハWAは、乾燥部3に搬送され、乾燥部3で乾燥される。ウエハWAは、乾燥部3で乾燥された後、CMP装置100から搬出される。
図2は、実施の形態に係るCMP装置が備える研磨部の構成を示す図である。研磨部1は、スラリ供給ノズル11Aと、薬液供給ノズル11Bと、純水供給ノズル11Cと、ターンテーブル10と、研磨ヘッド15と、パッド(研磨クロス)13と、壁面20と、を備えている。
ターンテーブル10は、プラテン(常盤)を含んで構成されている。ターンテーブル10は、概略円板状をなしており、ウエハWAを研磨する際に、中心部を軸として回転する。ターンテーブル10の上面には、パッド13が載置されており、パッド13の上側に、ウエハWAの被研磨面が押し当てられる。本実施の形態のターンテーブル10は、パッド13上に供給されるスラリ14などに振動エネルギを与える機能(後述の振動供給部5)を備えている。
パッド13は、上面に所定の厚みをもった部材(パッド表面部)が配置され、ウエハWAと接するパッド13の表面には微小な高さを有する多数の凸部が面内に一様に形成されている。ウエハWAを研磨する際には、研磨ヘッド15が、パッド表面部にウエハWAを押し当てる。ウエハWAを研磨する際には、前記のパッド13が、ターンテーブル10とともに回転させられる。
研磨ヘッド15は、ウエハWAの主面と略同じ大きさの円板状の先端部と、この先端部を保持する軸部(研磨ヘッド軸部)と、を備えており、円板状の先端部にウエハWAが取り付けられる。円板状の先端部へは、ウエハWAの被研磨面とは反対側の面が、円板状の先端部の底面と当接するよう、ウエハWAが取り付けられる。研磨ヘッド15は、ウエハWAの被研磨面をパッド13に押し付けながら、ウエハWAの被研磨面を研磨する。研磨ヘッド15がウエハWAを研磨する際には、研磨ヘッド15およびウエハWAは、研磨ヘッド軸部を中心に回転する。
スラリ供給ノズル11Aは、パッド13上にスラリ(研磨剤)14を供給するノズルである。スラリ14は、物理成分(アルミナやシリカなど)と、化学成分と、を含んで構成されている。薬液供給ノズル11Bは、パッド13上に薬液を供給するノズルである。純水供給ノズル11Cは、パッド13上に純水を供給するノズルである。
研磨ヘッド15によってウエハWAを研磨する際には、スラリ供給ノズル11A、薬液供給ノズル11B、純水供給ノズル11Cから、それぞれパッド13上に、スラリ14、薬液、純水が供給される。なお、以下の説明では、スラリ14、薬液、純水をまとめて研磨液という場合がある。
防スラリ堤20は、ターンテーブル10上でパッド13の側面を囲うように設けられた壁面(防壁)であり、研磨時に、パッド13上に供給される研磨液の不必要な流出を防ぎ、所定量溜めることを可能とする。壁面(防スラリ堤)20は、上部側から見た場合に、概略円環状をなしており、円環状の内側に研磨液が溜められるようになっている。
図3は、研磨部の構成を示す断面図である。同図に示すように、壁面(防スラリ堤)20は、所定の高さ(例えばパッド13の研磨面から5mmの高さ)を有しており、パッド13の側面と、パッド13の表面よりも高い位置と、を囲うよう、パッド13の表面に対して立設されている。これにより、壁面(防スラリ堤)20は、パッド13上に供給された研磨液を、壁面(防スラリ堤)20の高さに応じた分量だけ溜めておくことができる。
また、ターンテーブル10内には、スラリ14などに振動エネルギを与える振動供給部5が配置されている。振動供給部5は、kHz〜MHzの振動エネルギを発生させる機能を有している。振動供給部5は、例えば圧電アクチュエータ、機械的アクチュエータ、メガソニックトランスデューサ共振器、超音波トランスデューサ共振器などである。振動の与え方も、振動エネルギの強弱、異なる振動周期、及びこれらの組合せ等、複数パターン用意することにより、CMPの様々な研磨条件にも対応可能とすることができる。
ターンテーブル10の上面には、振動エネルギを緩和させる水など(振動エネルギ緩和部17)が溜められ、パッド13は、この振動エネルギ緩和部17の上に配置される。ウエハWAの被研磨面25を研磨する際に、振動供給部5が振動エネルギを発生させると、この振動エネルギは、振動エネルギ緩和部17とパッド13を介して、ウエハWAの研磨に用いられた後の古いスラリ14(後述の使用後スラリ4A)、ウエハWAの研磨に用いられる前の新しいスラリ14(後述の使用前スラリ4B)などに伝わる。
使用後スラリ4A、スクラッチ起因で発生したゴミ(ウエハWAの削りかすなど)、及び使用前スラリ4Bは、それぞれ、振動エネルギによって撹拌される。これにより、使用後の古いスラリ4Aが、パッド13上に滞留することなく、効率良く排出することが可能となる(排出機構については後述する)。このように使用後スラリ4Aが排出されることにより、使用前の新しいスラリ4Bがパッド13表面上の、特に多数の凸部の間隙まで置換することができる。換言すると、パッド13(使用前スラリ4B、使用後スラリ4A)に振動エネルギを与えることにより、パッド13の細部に浸透した使用後スラリ4Aを使用前スラリ4Bに置換できる。さらに、使用後スラリ4Aを、スラリ液面上に浮上させることができ、新旧スラリの置換を行なえる。この結果、新しいスラリ4Bを効率良くウエハWAの被研磨面25に供給することが可能となる。
図4は、使用前スラリと使用後スラリの置換効率を説明するための図である。図4の(a)では、ターンテーブル10上に防スラリ堤20を設けず、且つパッド13上に振動エネルギを与えない場合の使用前スラリ4Bおよび使用後スラリ4Aを示している。また、図4の(b)では、ターンテーブル10上に防スラリ堤20を設け、且つパッド13上に振動エネルギを与える場合の使用前スラリ4Bおよび使用後スラリ4Aを示している。なお、ここでは使用前スラリ4Bおよび使用後スラリ4Aを、粒状の部材として図示しているが、使用前スラリ4Bおよび使用後スラリ4Aは、物理成分と化学成分を含んでいるので、使用前スラリ4Bおよび使用後スラリ4Aは、固体粒子が液体中に分散した懸濁液となっている。
図4の(a)に示すように、パッド13上に振動エネルギを与えない場合、以前のCMP工程で使用された後の古いスラリ4Aは、パッド13表面の凸部50の近傍に滞留する。このため、新たに供給される使用前スラリ4Bは、パッド13表面の凸部50の近傍まで到達しにくい。また、ターンテーブル10上に防スラリ堤20が設けられていないので、パッド13上に供給された使用前スラリ4Bは、パッド13上でほとんど滞留することなく、パッド13の外周部からパッド13の外側に排出される。したがって、使用後スラリ4Aを効率良く新しい使用前スラリ4Bに置換することができない。この結果、使用前スラリ4Bを効率良くウエハWAの被研磨面25に供給することができない。
一方、図4の(b)に示すように、パッド13上に振動エネルギを与えた場合、使用後スラリ4A(化学反応生成物など)は、凸部50の近傍に滞留することなく、研磨液の上部側に移動してくる。このため、新たに供給される使用前スラリ4Bは、凸部50の近傍まで到達しやすくなる。また、ターンテーブル10上に防スラリ堤20が設けられていない場合でも振動によって使用後の古いスラリの滞留は低減できるが、置換のために供給した新しいスラリはパッド上に長くは滞留できないため効率が悪い。しかしながら、本実施形態では、壁面(防スラリ堤)20が設けられているので、パッド13上に供給された使用前スラリ4Bは、パッド13上で、これをまた新しい使用前スラリに置換するまでの間、比較的長時間に渡って使用可能である。したがって、使用後スラリ4Aを効率良く使用前スラリ4Bに置換できる。この結果、使用前スラリ4Bを効率良くウエハWAの被研磨面25に供給することができる。また、使用前スラリ4BとウエハWAの被研磨面25との衝突確率、衝突エネルギが向上する。
ここで、古いスラリを排出する壁面(防スラリ堤)20の機構として、以下のようなものが考えられる。例えば、壁面20が上下に昇降可能な機構を備えることにより、古いスラリを速やかに排出・除去できるようにしてもよい。そのような機構として、新旧スラリの置換時に、壁面(防スラリ堤)20を、パッド13の研磨面かそれ以下まで降下させターンテーブル内に収容するようにして(図3の点線部分20a)、古いスラリを排出・除去した後に壁面20を上昇させ、新しい使用前スラリを供給するようにしてもよい。また、本実施の形態では、壁面(防スラリ堤)20の形状を、パッド13の側面全体を囲う形状(円環状)としたが、壁面20は、円環状(側壁)の一部を開放した形状としてもよい。その開放部は一箇所でも複数個所でもよく、古いスラリの排出効率と新しいスラリへの置換効率の両方を考慮すれば開放部のトータルの大きさは、パッド13外周の周縁部長さに対し5%〜50%程度とし、それ以外の周縁部に壁面20が形成されている構成とするのが望ましい。このような壁面20の機構とすることにより、スラリの置換やパッドクリーニングなどの時間が短縮でき、製造コスト低減に繋げることができる。
このように、使用前スラリ4Bを効率良くウエハWAの被研磨面25に供給することができるので、ウエハWAを短時間で研磨できるとともに、スラリ14の利用効率が向上する。したがって、半導体装置の生産性が向上するとともに、スラリ14の使用量を削減することができる。
また、パッド13上に振動エネルギを与えた場合、スクラッチ起因で発生したゴミなど(図示せず)は、粒径が大きいので、研磨液の上部側に移動してくる。このため、スクラッチ起因で発生したゴミは、パッド13の外周部からパッド13の外側に排出されやすくなる。したがって、スクラッチ起因で発生したゴミによってウエハWAが削られることを防止できる。
なお、パッド13上に供給する振動エネルギの大きさ(周波数)や、防スラリ堤20の高さは、ウエハWAの研磨条件、ウエハWAに形成されているパターンのレイアウト(疎密)などに応じて変更してもよい。ウエハWAの研磨条件は、例えば被研磨膜のレイヤ、被研磨膜の種類、被研磨膜の下層に成膜されている下層膜の種類、被研磨膜の膜厚、被研磨膜への研磨厚さなどに基づいて決定される条件(研磨圧や研磨時間など)である。
また、ウエハWAの研磨条件やウエハWAに形成されているパターンのレイアウト(疎密)などに基づいて、ウエハWAの研磨中に、振動エネルギの大きさを変化させてもよいし、防スラリ堤20の高さを変化させてもよい。
例えば、研磨の第1段階では、小さな周波数で振動エネルギの供給を行い、これによりウエハWAの機械研磨率を向上させる。そして、研磨の第2段階では、大きな周波数で振動エネルギの供給を行い、これによりウエハWAの被研磨面25と研磨液との化学反応を向上させる。これらの振動周波数の制御により、研磨の第1段階では、機械研磨率が向上するのでウエハWAの荒削りが行われ、研磨の第2段階では、化学反応が向上するのでウエハWAの仕上げが行われる。
また、ウエハWAの研磨中に、振動エネルギの供給と停止を制御してもよい。例えば、研磨の第1段階では、振動エネルギの供給を行い、これによりウエハWAの高速研磨(荒削り)を行う。そして、研磨の第2段階では、振動エネルギの供給を停止し、これによりウエハWAの低速研磨(仕上げ)を行う。
また、振動供給部5からの振動エネルギの大きさや、防スラリ堤20の高さなどに基づいて、研磨液(スラリなど)の供給量、ウエハWAの研磨条件(研磨圧や研磨時間など)を制御してもよい。
これにより、ウエハWAの研磨条件やウエハWAに形成されているパターンのレイアウトに応じた研磨を行うことが可能となる。したがって、パターンのレイアウトに依存する研磨のばらつき(被研磨膜の凹みなど)を解消することが可能となる。
CMP装置100を用いたパッド13のドレッシングやウエハWAの研磨は、半導体製造工程のうちの何れのレイヤで行ってもよい。半導体装置を製造する際には、ウエハWA上への成膜処理、CMP装置100を用いたウエハWAの研磨、ウエハWAへの露光処理、現像処理、エッチング処理などがレイヤ毎に繰り返される。
なお、本実施の形態では、防スラリ堤20とパッド13とを別々の構成としたが、防スラリ堤20とパッド13とを一体として形成しておいてもよい。例えば、防スラリ堤20をパッド13の部材で形成するとともに、防スラリ堤20とパッド13とを一体として形成しておく。この場合、パッド13の形状を、概略円板状の主面部(研磨面)と、この主面部の外周部に所定の高さを有した円環状の円環部(壁面)と、で構成された凹形状としておく。
また、本実施の形態では、パッド13とターンテーブル10との間に、振動エネルギ緩和部17を配置したが、振動エネルギ緩和部17は無くてもよい。この場合、ターンテーブル10の上面にパッド13が配置される。
また、ターンテーブル10が振動供給部5を備える構成としてもよいし、振動供給部5とターンテーブル10とを別々の構成としてもよい。
このように実施の形態によれば、パッド13の周囲を防スラリ堤20によって囲うとともに、振動供給部5によって研磨液に振動エネルギを与えているので、効率良くウエハWAなどの基板を研磨することが可能となる。
また、パッド13に振動エネルギを与えてウエハWAの研磨を行っているので、パッド13の凸部50の近傍(パッド13の底面近傍)に、スクラッチ起因で発生したゴミが溜まりにくくなる。このため、パッド13のドレッシングが不要になる。したがって、ドレッシング用のヘッド(ドレッサー)が不要となり、簡易な構成の研磨部1でウエハWAを研磨することが可能となる。また、パッド13へのドレッシングが不要になるので、パッド13の磨耗を減らすことができ、この結果、パッド13を長期間に渡って使用することが可能となる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…研磨部、2…洗浄部、3…乾燥部、4A…使用後スラリ、4B…使用前スラリ、5…振動供給部、10…ターンテーブル、13…パッド、14…スラリ、15…研磨ヘッド、20…壁面、100…CMP装置、WA…ウエハ。
Claims (9)
- 被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行うための研磨パッドと、
前記研磨パッドを載置するターンテーブルと、
前記研磨パッド上に研磨剤を滴下するための供給ノズルと、
前記研磨パッドに振動エネルギを与える振動供給部と、
前記研磨パッドの外周部に立設され、前記研磨パッドの上面よりも高い高さの壁面で前記研磨パッドの側面を囲う壁面部と、
を備えることを特徴とする研磨装置。 - 前記壁面部は、前記研磨パッドと同じ部材であり、前記壁面部と前記研磨パッドとは、一体に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記壁面部は、前記研磨パッドの側面の全部を囲う環状の壁面を有していることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記壁面部は、昇降可能であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 供給される研磨剤に振動エネルギを与える振動供給部上に配置されるとともに、被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行なう研磨面部と、
前記研磨面部の外周部に立設され、前記研磨面部の上面よりも高い壁面で前記研磨面部の側面を囲う壁面部と、
を備えることを特徴とする研磨パッド。 - 前記壁面部は、前記研磨面部の側面の全部を囲う環状の壁面を有していることを特徴とする請求項5に記載の研磨パッド。
- 被加工基板の被研磨面が押し当てられて前記被研磨面の化学的機械的研磨を行なう研磨面部と、前記研磨面部の外周部に立設され、前記研磨面部の上面よりも高い壁面で前記研磨面部の側面を囲う壁面部と、を備える研磨パッド上に研磨剤を供給しながら前記基板の被研磨面を前記研磨パッドに押し当てて研磨する際に、前記研磨パッドに振動エネルギを与えることを特徴とする研磨方法。
- 前記壁面部は、前記研磨パッドと同じ部材であり、前記壁面部と前記研磨パッドとは、一体に形成されていることを特徴とする請求項7に記載の研磨方法。
- 前記壁面部は、前記研磨パッドの側面の全部を囲う環状の壁面を有していることを特徴とする請求項7または8に記載の研磨方法。
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JP2013184256A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Disco Corp | 研磨定盤およびラッピング装置 |
CN103367105A (zh) * | 2012-03-26 | 2013-10-23 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 一种改良的笔形海绵固定装置 |
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