JP2012006089A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】昇降機構4を介して研磨体2を支持部1に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体2下端の研磨面3が予め設定した基準位置P1に位置したことを検出する基準位置検出手段5と、基準位置検出手段5が前記基準位置P1に位置した研磨体2の研磨面3を検出した際に、この基準位置P1から研磨体2を予め設定した移動量Lだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体2の研磨面3がワーク研磨位置P2に位置するように昇降機構4を駆動制御する制御部を備えた研磨装置。
【選択図】図1
Description
2 研磨体
3 研磨面
4 昇降機構
5 基準位置検出手段(光電センサー)
6 想定外ワーク検出手段
7 移送機構
L 移動量
P1 基準位置
P2 ワーク研磨位置
W ワーク
Claims (7)
- ワークを載置若しくは固定する支持部と、この支持部の上方に設けられて支持部に載置若しくは固定した前記ワークを研磨する研磨体と、この研磨体を前記ワークの高さに応じて前記支持部に対し昇降移動可能な昇降機構とを備えた研磨装置において、前記昇降機構を介して前記研磨体を前記支持部に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体下端の研磨面が予め設定した基準位置に位置したことを検出する基準位置検出手段と、基準位置検出手段が前記基準位置に位置した前記研磨体の研磨面を検出した際に、この基準位置から研磨体を予め設定した移動量だけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体の研磨面がワーク研磨位置に位置するように前記昇降機構を駆動制御する制御部を備えたことを特徴とする研磨装置。
- 前記研磨体の研磨面のワーク研磨位置を、前記ワークの高さに応じて設定変更可能な研磨位置設定手段と、この研磨位置設定手段の設定値に基づいて、前記基準位置から前記ワーク研磨位置までの研磨体の前記移動量を自動設定する移動量設定手段とを前記制御部に設けたことを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記基準位置検出手段は、前記支持部に載置若しくは固定した前記ワークの上面より高い位置に設けて、この基準位置検出手段が前記昇降機構を介して上昇移動する前記研磨体の研磨面をワーク上面より上方の前記基準位置で検出し得るように構成し、この基準位置検出手段が前記基準位置で前記研磨面を検出した際に、前記制御部は、前記基準位置から前記研磨体を予め設定した移動量だけ下降移動させてこの研磨体の研磨面を前記ワーク研磨位置に位置するように前記昇降機構を駆動制御する構成としたことを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 一つのワークの研磨作業終了後あるいは所定数のワークの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記研磨体を上昇移動若しくは下降移動させて前記基準位置検出手段による前記研磨体の研磨面の基準位置検出が行われるように前記昇降機構を駆動制御する定期駆動手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記基準位置検出手段は、前記研磨体に対し非接触で前記研磨面を検出可能な光電センサーを採用したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 予め設定した高さ以上の高さを有するワークを検出する想定外ワーク検出手段を備え、この想定外ワーク検出手段が前記ワークを検出した際に研磨作業を停止する緊急停止手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記支持部は、ワークを載置若しくは固定して移送する移送機構を備え、この支持部の移送機構の移送始端側に前記想定外ワーク検出手段を設けると共に、この想定外ワーク検出手段は、支持部に対し昇降移動可能に設けて、この想定外ワーク検出手段で検出するワークの高さを設定変更可能な構成としたことを特徴とする請求項6記載の研磨装置。
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