JP2012004245A - 処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダウンフローを発生させる気流発生手段150と、循環経路部材200内に配設され、ダウンフローを発生させる気体に含まれるミストを気体から分離させるミスト分離手段240と、循環経路部材200内に配設され、ミスト分離手段240によって分離されて液化したミストを回収する廃液口213と、を有し、ダウンフローを発生させる気体を処理チャンバー100と循環経路部材200との間で、循環させるようにした。
【選択図】図4
Description
以上、この発明の実施の形態について説明したが、上記の実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものではない。この開示から当業者に様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
100 処理チャンバー
110 下部筐体
111 仕切り板
112 チャンバー下部空間
114A 排気口
120 気流制御板
122 通気孔
130 保持テーブル
131 回転軸部
132 クランプ
140 液体供給手段
142A ノズル部
150 気流発生手段
151 ファン
153 フィルター
160 上部筐体
163 チャンバー上部空間
164 吸気側接続部
165A 開口部
166 吸気側開口部
167 ワーク出し入れ口
200 循環経路部材
211 下部開口部
212 上部開口部
213 廃液口
230 ミスト分離手段
240 湿度調整手段
Claims (2)
- 鉛直方向を回転軸としてワークを回転可能に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたワークに液体を供給する液体供給手段と、該保持テーブルと該液体供給手段とを囲む処理チャンバーと、を有する処理装置であって、
該処理チャンバーの下部に下端が接続され該処理チャンバーの上部に上端が接続された循環経路と、
該循環経路の上端から気体を取り込んで該処理チャンバー内の該保持テーブルの上面よりも上方から下方へ向けて流し、該処理チャンバー内にダウンフローを発生させる気流発生手段と、
該循環経路内に配設され、ダウンフローを発生させる気体に含まれるミストを気体から分離させるミスト分離手段と、
該循環経路内に配設され、該ミスト分離手段によって分離されて液化したミストを回収する廃液口と、を有し、
ダウンフローを発生させる気体を該処理チャンバーと該循環経路との間で、該気流発生手段と該ミスト分離手段とを介して循環させることを特徴とする処理装置。 - 該循環経路内に配設され、ダウンフローを発生させる気体の湿度を調整する湿度調整手段を有し、
ダウンフローを発生させる気体を該処理チャンバーと該循環経路との間で、該気流発生手段と該ミスト分離手段と該湿度調整手段とを介して循環させることを特徴とする請求項1に記載の処理装置。
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