JP2011527823A - 基板移送装置 - Google Patents
基板移送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011527823A JP2011527823A JP2011517350A JP2011517350A JP2011527823A JP 2011527823 A JP2011527823 A JP 2011527823A JP 2011517350 A JP2011517350 A JP 2011517350A JP 2011517350 A JP2011517350 A JP 2011517350A JP 2011527823 A JP2011527823 A JP 2011527823A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- rotation
- support base
- lift
- upper support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67748—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a single workpiece
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Filling Or Emptying Of Bunkers, Hoppers, And Tanks (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
該装置は、上部の第1位置に供給された基板を、下部の第2位置の高さに移送させ、第2位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、第1上部回動支持台及び第2上部回動支持台と、第1下部回動支持台及び第2下部回動支持台とが上下に離隔された状態で回動される構造を有する。
かような移送装置は、第1リフト及び第2リフトが、それぞれ第1位置と第2位置との間を交互に昇降しつつ、複数の基板を移送させるので、第1回動支持台及び第2回動支持台での基板待機時間を短縮させることによって、移送時間及び工程時間を短縮させることができる。
また、第1回転軸ないし第4回転軸及び第1ベルト部材ないし第4ベルト部材によって、第1上部支持台及び第2上部支持台と、第1下部支持台及び第2下部支持台とが回動することによって、回動構造を簡単にする。
Description
かような一連の基板処理工程は、基板移送装置によって移送され、基板の供給、処理、排出(pushing out)の過程が1つの循環サイクルをなす。
このとき、移送レール300は、水平位置を維持し、第1リフト100及び第2リフト200は、第1第1スクリュー・ロッド101及び第2スクリュー・ロッド201と平行状態になるように支持されている。
このとき、第1下部支持台132及び第2下部支持台232は第2回転軸42及び第4回転軸44の回転駆動及び第2ベルト部材71及び第4ベルト部材72の動力伝達によって、下方向に回動される。
従って、図10Jでのように、第1上部支持台131及び第2上部支持台231と、第1下部支持台132及び第2下部支持台232とが、下方向に回動された状態では、相互平行した状態となる。
次に、図10Iでのように、傾斜シリンダ320を稼動し、フレーム310を第1傾斜ブロック311及び第2傾斜ブロック312によって傾斜移動させ、移送レール300を傾斜させる。このとき、基板400上に残留する洗浄液の液体が流れる。
このとき、第1上部支持台131及び第2上部支持台231の回転作動は、第1下部支持台132及び第2下部支持台232の回転作動と同一であるので、詳細な説明は省略する。
Claims (4)
- 上部の第1位置に供給された基板を、下部の第2位置の高さに移送させ、第2位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、
前記移送レール300の対向する両側に、第1位置から第2位置に至る区間に設けられる第1昇降機構及び第2昇降機構と、
前記第1位置で、前記第1昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第1固定板51と、
前記第1固定板51の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第1回転軸41及び第2回転軸42と、
前記第1回転軸41及び第2回転軸42をそれぞれ回転駆動させる第1回転モータ31及び第2回転モータ32と、
一端が、前記各第1固定板51に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第1上部支持台131と、前記各第1上部支持台131の直下部に位置し、前記各第1固定板51に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第1下部支持台132と、を具備し、前記各第1上部支持台131の回転軸より、前記各第1下部支持台132の回転軸は、相対的に前記第1昇降機構に近接して設けられる第1回動支持台130と、
前記第1回転軸41と、前記各第1上部支持台131の回転軸とを連結させる複数の第1ベルト部材61と、
前記第2回転軸42と、前記各第1下部支持台132の回転軸とを連結させる複数の第2ベルト部材71と、
前記第1位置で、前記第2昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第2固定板52と、
前記第2固定板52の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第3回転軸43及び第4回転軸44と、
前記第3回転軸43及び第4回転軸44をそれぞれ回転駆動させる第3回転モータ及33び第4回転モータ34と、
一端が、前記各第2固定板52に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第2上部支持台231と、前記各第2上部支持台231の直下部に位置し、前記各第2固定板52に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第2下部支持台232と、を具備し、前記各第2上部支持台231の回転軸より、前記各第2下部支持台232の回転軸は、相対的に前記第2昇降機構に近接して設けられる第2回動支持台230と、
前記第3回転軸43と前記各第2上部支持台231の回転軸とを連結させる複数の第3ベルト部材62と、
前記第4回転軸44と前記各第2下部支持台232の回転軸とを連結させる複数の第4ベルト部材72と、
前記第1昇降機構及び第2昇降機構に支持されて上下に移動自在であり、前記第1昇降機構及び第2昇降機構に対して回動自在であり、長さが伸縮自在であり、前記第1回動支持台130及び第2回動支持台230の基板を搭載し、前記移送レール300に載置させるフォーク型第1リフト100及び第2リフト200と、を具備し、
前記移送レール300は、前記フォーク型第1リフト100及び第2リフト200が通過するように、一定間隔で設けられる複数の回転ロッド301を具備したことを特徴とする基板移送装置。 - 前記昇降機構は、モータ110,210の動力によって回転する第1スクリュー・ロッド101及び第2スクリュー・ロッド201であることを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。
- 前記第1リフト100及び第2リフト200は、それぞれ前記第1スクリュー・ロッド101及び第2スクリュー・ロッド201に螺合されて昇降する第1移動ブロック102及び第2移動ブロック202と、前記第1移動ブロック102及び第2移動ブロック202に固定される第1昇降ボディ103及び第2昇降ボディ203と、前記各第1昇降ボディ103及び第2昇降ボディ203に一端が回動自在に支持される第1回動バー104及び第2回動バー204と、一端が、前記第1回動バー104及び第2回動バー204の他端部に、回転手段によって回転自在に連結される第1拡張バー105及び第2拡張バー205と、を具備したことを特徴とする請求項2に記載の基板移送装置。
- 前記回転手段は、前記第1回動バー104及び第2回動バー204に、それぞれ所定間隔離隔され、回転自在に支持される第1プーリー141及び第2プーリー142と、前記第1プーリー141及び第2プーリー142に巻き取られて回転ガイドされるベルト143と、前記第1回動バー104及び第2回動バー204に固設され、そのロッド140aが前記ベルト143と連結固定されるシリンダ140と、を具備し、
前記各第2プーリー142を、前記各第1拡張バー105及び第2拡張バー205と同軸に連結してなることを特徴とする請求項3に記載の基板移送装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2008-0067805 | 2008-07-11 | ||
KR1020080067805A KR100885877B1 (ko) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | 기판 이송장치 |
PCT/KR2009/003759 WO2010005246A2 (ko) | 2008-07-11 | 2009-07-09 | 기판 이송장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011527823A true JP2011527823A (ja) | 2011-11-04 |
Family
ID=40682178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011517350A Ceased JP2011527823A (ja) | 2008-07-11 | 2009-07-09 | 基板移送装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011527823A (ja) |
KR (1) | KR100885877B1 (ja) |
CN (1) | CN102113108B (ja) |
TW (1) | TWI370798B (ja) |
WO (1) | WO2010005246A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015527750A (ja) * | 2012-09-10 | 2015-09-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板処理システム及び基板を移動する方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101069154B1 (ko) | 2009-05-28 | 2011-09-30 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리장치 |
KR101078487B1 (ko) | 2009-09-17 | 2011-10-31 | 김재석 | 패널용 진공흡착기 유닛 및 복수개의 고무패드가 장착된 진공흡착기 |
KR101803111B1 (ko) | 2010-01-08 | 2017-11-29 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 이중 트레이 캐리어 유닛 |
US9435826B2 (en) | 2012-05-08 | 2016-09-06 | Kla-Tencor Corporation | Variable spacing four-point probe pin device and method |
CN109160210B (zh) * | 2018-09-25 | 2024-06-07 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 板材存储输送***及其使用方法 |
CN112239069A (zh) * | 2019-07-19 | 2021-01-19 | 亚智科技股份有限公司 | 牙叉式基板运输装置及其方法 |
CN111848218B (zh) * | 2020-07-30 | 2022-11-08 | 固安浩瀚光电科技有限公司 | 一种半导体陶瓷浸泡烘干一体装置及其使用方法 |
CN115113015A (zh) * | 2021-03-18 | 2022-09-27 | 深圳麦逊电子有限公司 | 一种fpc测试运料装置、测试***及其测试方法 |
CN116946487A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-10-27 | 长春市景来科技有限公司 | 一种人工智能物流包裹包装装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06255707A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-13 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2006232468A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2007035792A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板の搬送装置 |
JP2007176631A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送システム |
KR100839570B1 (ko) * | 2007-12-31 | 2008-06-20 | 주식회사 인아텍 | 기판 이송방법 및 장치 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100617454B1 (ko) | 2006-02-23 | 2006-09-05 | 주식회사 인아텍 | 기판 이송시스템 및 이를 이용한 기판 이송방법 |
KR100617453B1 (ko) | 2006-04-27 | 2006-09-01 | 주식회사 인아텍 | 기판 이송시스템 |
-
2008
- 2008-07-11 KR KR1020080067805A patent/KR100885877B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-07-09 CN CN200980126390.4A patent/CN102113108B/zh active Active
- 2009-07-09 TW TW098123225A patent/TWI370798B/zh active
- 2009-07-09 WO PCT/KR2009/003759 patent/WO2010005246A2/ko active Application Filing
- 2009-07-09 JP JP2011517350A patent/JP2011527823A/ja not_active Ceased
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06255707A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-13 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2006232468A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2007035792A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板の搬送装置 |
JP2007176631A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送システム |
KR100839570B1 (ko) * | 2007-12-31 | 2008-06-20 | 주식회사 인아텍 | 기판 이송방법 및 장치 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015527750A (ja) * | 2012-09-10 | 2015-09-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板処理システム及び基板を移動する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102113108B (zh) | 2013-07-10 |
CN102113108A (zh) | 2011-06-29 |
TW201006748A (en) | 2010-02-16 |
WO2010005246A9 (ko) | 2010-07-08 |
KR100885877B1 (ko) | 2009-02-26 |
WO2010005246A2 (ko) | 2010-01-14 |
WO2010005246A3 (ko) | 2010-04-29 |
TWI370798B (en) | 2012-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011527823A (ja) | 基板移送装置 | |
KR100934318B1 (ko) | 기판처리장치 | |
TWI571954B (zh) | Substrate processing system and substrate reversing device | |
JP5004612B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101543681B1 (ko) | 기판 처리 시스템 | |
JP2005330106A (ja) | 基板移送装置 | |
KR101690970B1 (ko) | 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법 | |
JP5274053B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
KR20060103839A (ko) | 기판반송장치 및 기판반송방법 | |
KR101199778B1 (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
KR100793174B1 (ko) | 기판 이송 기구의 경사 변환 장치 | |
KR100617453B1 (ko) | 기판 이송시스템 | |
KR100839570B1 (ko) | 기판 이송방법 및 장치 | |
CN101339316B (zh) | 基板输送装置 | |
KR100617454B1 (ko) | 기판 이송시스템 및 이를 이용한 기판 이송방법 | |
KR20220040141A (ko) | 리프트핀 어셈블리를 및 이를 갖는 기판 처리 장치 | |
JP3539814B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101533022B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치 | |
KR100531568B1 (ko) | 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치 | |
CN211970884U (zh) | 一种翻面装置 | |
KR20080019171A (ko) | 자세 변환 장치 및 기판 반송 장치 | |
CN107672001A (zh) | 一种切割丝间距可调的竖切式移动切割机 | |
JP2000246197A (ja) | 洗浄機 | |
KR101099557B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR101199779B1 (ko) | 기판처리장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121001 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121026 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20130225 |