JP2003089035A - 切削装置 - Google Patents

切削装置

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JP2003089035A
JP2003089035A JP2001281762A JP2001281762A JP2003089035A JP 2003089035 A JP2003089035 A JP 2003089035A JP 2001281762 A JP2001281762 A JP 2001281762A JP 2001281762 A JP2001281762 A JP 2001281762A JP 2003089035 A JP2003089035 A JP 2003089035A
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mist cover
mist
cover
cutting device
cutting
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JP2001281762A
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Tomoaki Hiruta
倫明 蛭田
Yasuyuki Sakatani
康之 酒谷
Kazuya Fukuoka
一也 福岡
Takayuki Asano
貴行 浅野
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】重量のあるミストカバーであっても弱い力で開
閉することができ、開閉の途中の任意の位置でも落下せ
ずに、停止しているミストカバーを備えた研削装置を提
供すること。 【解決手段】切削装置10の加工部に設けられ上下方向
に回転して開閉されるミストカバー40に、一定の値以
上の力で回転するトルクヒンジ42を回転の支点として
用い、ミストカバーの重量を軽減する装置としてガスス
プリング48を組込んだ。これにより軽い力でミストカ
バー40を開閉でき、任意の回転位置で停止可能とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は切削装置に関し、 特
に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工
を行う切削装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体や電子部品材料等のワークに溝加
工や切断加工を行う切削装置においては、高速で回転す
るブレードと称する薄型砥石で切削水をかけながらワー
クを加工する。そのため切削装置の加工部は水しぶきと
ミストが充満している。このためこの加工部には加工部
を覆うミストカバーが取付けられており、水しぶきやミ
ストを外部と遮断している。このミストカバーは操作性
や省スペースの点から上下方向に回転して開閉するよう
になっている。即ち、ミストカバー上面奥側に蝶番など
の回転ヒンジが設けられ、オペレータが手前から奥側へ
回転させながら持ち上げることによって開き、奥側から
手前へ回転させて重量を支えながら下ろすことによって
閉まるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
切削装置のミストカバーは、開閉にあたってその重量を
全て支えて開閉しなければならず、また開閉の途中で手
を離すと落下してしまうという危険性を有していた。
【0004】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、開閉の途中の任意の位置でも、落下せずに停
止しているミストカバーを備えた研削装置を提供するこ
とを目的とし、更に重量のあるミストカバーであって
も、弱い力で開閉することができる研削装置を提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、加工部で回転刃によるワークの溝加工や
切断加工を行う切削装置において、前記加工部に設けら
れ上下方向に回転して開閉されるミストカバーを有し、
該ミストカバーは、該ミストカバーを任意の回転位置で
停止可能な支持手段で支持されていることを特徴として
いる。また、前記支持手段は、一定の値以上の力で回転
するトルクヒンジであることを特徴とし、更に、前記ミ
ストカバーには、ガススプリング等の該ミストカバーの
重量を軽減する装置が用いられていることを特徴として
いる。
【0006】本発明によれば、上下に回転して開閉する
ミストカバーが任意の回転位置で停止可能に支持されて
いるので、オペレータがミストカバーを開閉する途中で
手を離しても落下することがない。具体的には前記ミス
トカバーには、一定の値以上の力で回転するトルクヒン
ジが回転の支点として用いられており、更にガススプリ
ング等の該ミストカバーの重量を軽減する装置が用いら
れているので、重量のあるミストカバーであっても、軽
く開閉することができ、また開閉の途中の任意の位置で
停止させることができる。このため、研削装置の操作性
が向上し、危険も少ない。
【0007】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る切削装置の好ましい実施の形態について詳説する。尚
各図において、同一の部材については同一の番号を付し
ている。
【0008】図1は、本発明に係る切削装置の外観斜視
図である。切削装置10は、加工部20、操作・表示部
11、撮像部12、モニターテレビ13、コントローラ
15、及び表示灯14等から構成されている。加工部2
0は、ワークに溝加工や切断加工を行う部分である。操
作・表示部11には切削装置10の各部の操作を行うス
イッチや表示手段が設けられている。撮像部12はワー
クのアライメントや加工状態を評価するために、ワーク
表面を撮像する部分で、顕微鏡、照明装置、及びCCD
カメラ等から成っている。 撮像された画像はモニターテ
レビ13に映し出される。 コントローラ15は切削装置
10の各動作をコントロールする部分で、マイクロプロ
セッサ、メモリ、及び入出力回路等で構成され、切削装
置10の架台内部に格納されている。 表示灯14は、切
削装置10の稼動中、待機中、及び異常警告等を表示す
るもので、遠くからでもオペレータに判明するように高
い位置に取付けられている。
【0009】加工部20は図2に示すように、ワークW
の溝加工や切断加工を行う回転刃21が図示しない高周
波モータ内臓のエアーベアリングスピンドルに取付けら
れ、30,000rpm〜60,000rpmの高速で
回転されるとともに、不図示の送り機構によって図の矢
印X方向と直交するY方向にインデックス送りされる。
この回転刃21は薄い円盤状で、ダイヤモンド砥粒やC
BN砥粒をニッケルで電着した電着ブレードや、樹脂で
結合したレジンブレードが用いられる。 回転刃21は手
前側と下方が開口したフランジカバー22で囲われ、フ
ランジカバー22に設けられた切削ノズル23からは切
削水が加工ポイントに供給される。 また、回転刃21の
右側には洗浄ノズル24があり、洗浄水が供給される。
マシンベース29上にはXガイド28が設けられ、Xテ
ーブル27がXガイド28でガイドされて図示しない駆
動機構によりX方向に移動される。 Xテーブル27には
θテーブル26が載置され、θテーブル26にはワーク
テーブル25が連結されている。 加工されるワークWは
このワークテーブル25の上面に吸着固定され、θテー
ブル26によってθ回転されるとともに、Xテーブル2
7によって図の矢印X方向に切削送りされるようになっ
ている。 また、切削水や洗浄水を受けるオイルパン30
がマシンベース29に固定されており、オイルパン30
とθテーブル26との間には蛇腹31が設けられ、オイ
ルパン30の中央部の開口部分を覆うようになってい
る。
【0010】加工部20では、切削水や洗浄水が大量に
用いられるため水しぶきやミストが発生するが、加工部
外に水の飛沫やミストが届かないようにミストカバー4
0が加工部20を覆うように設けられ、加工部20を外
部と遮断している。
【0011】図3及び図4に、切削装置10の左側面か
ら見たミストカバー40の断面図を示す。 ミストカバー
40は加工部20の内部が観察できるように、透明樹脂
の高性能帯電防止板でできており、図3及び図4に示す
ように、奥側(図中左側)と下方側が開口された形状
で、上面奥側内部にブラケット41がネジ止めされてい
る。 ミストカバー40は、このブラケット41を介して
切削装置10本体固定側に設けられた取付板16との間
で、支持手段である2個のトルクヒンジ42、42によ
って回転自在に結合されている。
【0012】図5(a)はトルクヒンジ42の平面図
で、図5(b)は側面図である。トルクヒンジ42は、
図5に示すように、ヒンジ本体42A、ヒンジピース4
2B、シャフト42C、スペーサ42D、及び皿リベッ
ト42E等から構成されている。 ヒンジ本体42Aはシ
ャフト42Cを巻き込むようにしてシャフト42Cのフ
ラット部を利用してシャフト42Cを固定しており、ヒ
ンジピース42Bがやはりシャフト42Cを巻き込むよ
うにしてシャフト42Cと回転自在に連結され、スペー
サ42Dを介して皿リベット42Eで締め込まれてい
る。このスペーサ42Dの厚さによって、締め込み力が
調整され、ヒンジピース42Bとシャフト42Cとの間
の摩擦力が決定される。従ってこのトルクヒンジ42、
42は一定のトルク以内では回転せず、一定値以上のト
ルクが加えられた時のみ回転するようになっている。ト
ルクヒンジ42は、ヒンジ本体42Aに形成された取付
け孔42F、42Fを利用して取付板16にネジ止めさ
れるとともに、ヒンジピース42Bの取付け孔42F、
42F、42Fを用いてミストカバー40に取付けられ
ているブラケット41にネジ止めされている。
【0013】このようにミストカバー40は、トルクヒ
ンジ42、42を回転の支点として切削装置10本体固
定側に支持され、一定値以上の力で上下方向に回転して
開閉可能に取付けられている。
【0014】ミストカバー40にはまた、図3及び図4
に示すように、ミストカバー40の重量を軽減する装置
としてガススプリング48が取付けられている。
【0015】ガススプリング48は、図6(a)の平面
図及び図6(b)の側面図に示すように、円筒形状の本
体筒48Aに伸縮アーム48Bが挿嵌され、本体筒48
A内に注入されている圧縮性ガスの圧力で伸縮アーム4
8Bが伸出した状態になっており、軸方向の押込み力を
加えることにより圧縮される。また、本体筒48Aの基
端部には孔48Eを有した固定端48Cが形成され、伸
縮アーム48Bの先端には孔48Eを有した可動端48
Dが形成されている。
【0016】ガススプリング48は、図3及び図4に示
すように、可動端48Cの孔48Eを用いて切削装置1
0の本体固定側に設けられた支持板17に回動自在に取
付けられ、固定端48Dは孔48Eを用いてミストカバ
ー40に設けられている連結コマ49に回動自在に取付
けられている。尚、ミストカバー40が閉じた状態の時
に最も縮んだ状態になっている。また本体筒48Aと伸
縮アーム48Bの先端との間には蛇腹48Fが取付けら
れ、水やミストが本体筒48A内に進入するのを防いで
いる。
【0017】次に、このように構成された切削装置10
の作用を説明する。先ずオペレータがミストカバー40
を上方に回転させて開き、加工部のスピンドルに回転刃
21をセットし、ミストカバー40を下方に回転させて
閉じる。この時ワークテーブル25は、回転刃21の取
付けの邪魔にならないように、撮像部12の顕微鏡の下
に位置している。次にワークWがワークテーブル25に
載置され、真空吸着される。次いでワークWは顕微鏡の
下で表面に形成されたパターンが撮像され、その画像が
モニターテレビに映し出される。ここでオペレータはモ
ニターテレビに映し出された画像を見ながら操作・表示
部のスイッチを操作して、ワークWのアライメントを行
う。アライメントが完了したワークWは、Xテーブル2
7の移動により加工部20に搬入され、高速回転する回
転刃21とXテーブル27による切削移動とにより溝加
工や切断加工がなされる。加工中は切削ノズル23から
切削水が加工ポイントに供給され、洗浄ノズル24から
は洗浄水が供給される。1ラインの加工が済むと、回転
刃21はY方向にインデックス送りされ、次に加工する
ラインに位置付けられ、Xテーブル27による切削移動
でこのラインも加工される。このような動作が繰り返さ
れて、ワークWの一方向の全ラインの加工が終了する
と、θテーブル26がワークWを90度回転させ、先ほ
どのラインと直交するラインに合わせて加工が行われ
る。全加工が終了するとワークWは顕微鏡の位置まで搬
送され、表示灯14の加工完了を知らせるランプが点滅
する。ここでオペレータは必要に応じ、撮像部でワーク
Wの加工部分を撮像し、加工状態を観察した後にワーク
Wをワークテーブル25から取外す。以上が切削装置1
0によるワークWの加工の流れである。
【0018】次に、ミストカバー40の作用について説
明する。図3に示すように、ミストカバー40は、トル
クヒンジ42を中心に上方向に回転させることにより開
状態になる。また、ガススプリング48が切削装置10
本体固定側とミストカバー40との間で常に伸びようと
する力を作用させている。この力はミストカバー40を
その重量に逆らって持ち上げる方向に働く。ミストカバ
ー40が上方に回転するにつれ、ガススプリング48が
伸ばされ、それにつれて作用力も低下するが、ミストカ
バー40の重量を支えるには十分な作用力を有する仕様
のものが用いられている。このトルクヒンジ42とガス
スプリング48の両方の作用により、ミストカバー40
は少ない力で持ち上げられると共に、途中で手を離して
もその角度のまま留まり、落下することがない。図4は
ミストカバー40が途中で停止している状態を表わして
いる。ガススプリング48の伸び力とミストカバー40
の重量とが開閉の途中のどの角度でもバランスするとい
う訳ではないので、トルクヒンジ42の仕様は、ガスス
プリング48とミストカバー40の重量とがバランスし
ない分によって生ずるトルクより少し大きなトルクで回
転するような仕様で選ばれている。これにより、ミスト
カバー40の開閉力は少ない力で一定となる。 トルク
ヒンジ42のみでガススプリング48がない場合でも、
ミストカバー40の重量によるトルクよりも十分大きな
トルクでないと回転しないトルクヒンジ42であれば、
途中で落下することなく停止する。但しこの場合は、透
明な樹脂でできたミストカバー40の重量が重いので、
開閉に大きな力を必要とし、操作性がよくない。また、
樹脂は強度が弱いので、ミストカバー40の重量により
トルクヒンジ42を取付けている部分から破損する場合
も生じる。一方、トルクヒンジ42がなく、ガススプリ
ング48のみの場合は、軽い力で開閉できるようにはな
るが、ガススプリング48の伸び力が開閉の途中のどこ
ででもミストカバー40の重量とバランスする訳ではな
いので、途中で停止させることが出来ない。従って、本
実施の形態のように、トルクヒンジ42とガススプリン
グ48との両方を作用させることにより、最も好ましい
効果が得られる。
【0019】尚、本実施の形態では、トルクヒンジ42
を2個用いているが2個に限ることはない。またガスス
プリング48も1個に限らず複数個用いてもよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、加
工部に設けられたミストカバーは、一定の軽い力で開閉
でき、また開閉の途中の任意の位置で手を離しても落下
することなくその場所で停止するので、操作性に優れ、
落下による器具の損傷やオペレータの危険もない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る切削装置の全体斜視
【図2】本発明の実施の形態に係る切削装置の加工部正
面図
【図3】本発明の実施の形態に係る切削装置のミストカ
バーを説明する側断面図
【図4】本発明の実施の形態に係るミストカバーの途中
停止状態を説明する側断面図
【図5】トルクヒンジを示す平面図及び側面図
【図6】ガススプリングを示す平面図及び側面図
【符号の説明】
W…ワーク、10…切削装置、20…加工部、21…回
転刃、40…ミストカバー、42…トルクヒンジ(支持
手段)、48…ガススプリング(重量軽減装置)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福岡 一也 東京都三鷹市下連雀9丁目7番1号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 浅野 貴行 東京都三鷹市下連雀9丁目7番1号 株式 会社東京精密内 Fターム(参考) 3C011 DD02 DD03 3C047 HH03 HH04 HH07

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】加工部で回転刃によるワークの溝加工や切
    断加工を行う切削装置において、前記加工部に設けられ
    上下方向に回転して開閉されるミストカバーを有し、該
    ミストカバーは、該ミストカバーを任意の回転位置で停
    止可能な支持手段で支持されていることを特徴とする切
    削装置。
  2. 【請求項2】前記支持手段は、一定の値以上の力で回転
    するトルクヒンジであることを特徴とする請求項1に記
    載の切削装置。
  3. 【請求項3】前記ミストカバーには、該ミストカバーの
    重量を軽減する装置が組込まれていることを特徴とする
    請求項1又は請求項2に記載の切削装置。
  4. 【請求項4】前記重量を軽減する装置がガススプリング
    であることを特徴とする請求項3に記載の切削装置。
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