JP2011249691A - 非晶質酸化物薄膜の製造方法及び電界効果型トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】In、Ga及びZnを含有し、In及びGaの合計に対するGaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を基板上に成膜する成膜工程と、非晶質酸化物薄膜のGaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上150℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜を熱処理し、非晶質酸化物薄膜のGaのモル比率が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上200℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜を熱処理する熱処理工程と、を有する。
【選択図】図4
Description
また、特許文献2では、非晶質IGZOを含有する活性層の形成後に酸素を含む雰囲気下において250℃以上450℃以下で熱処理する電界効果型トランジスタの製造方法が報告されている。
<1>In、Ga及びZnを含有し、前記In及び前記Gaの合計に対する前記Gaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を基板上に成膜する成膜工程と、前記非晶質酸化物薄膜の前記Gaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上150℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理し、前記非晶質酸化物薄膜の前記Gaのモル比率が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上200℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理する熱処理工程と、を有する非晶質酸化物薄膜の製造方法。
<2>前記成膜工程では、前記Gaのモル比率が0.65≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜する、<1>に記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法。
<3>前記成膜工程では、前記Gaのモル比率が0.70≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜する、<2>に記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法。
<4>基板上に、少なくともゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極、及びドレイン電極を備える電界効果型トランジスタの製造方法であって、<1>〜<3>の何れか1つに記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法により、前記ゲート絶縁膜として前記非晶質酸化物薄膜を形成する工程を有する、電界効果型トランジスタの製造方法。
−非晶質酸化物薄膜の製造方法−
図1は、本発明の第1実施形態に係る非晶質酸化物薄膜の製造方法の製造手順を示す図である。
まず、図1(A)に示すように、基板10を用意する。基板10の種類は特に限定されないが、基板10上に成膜する膜が非晶質であるため、後述する熱処理温度が低い場合には、可撓性のある樹脂基板等の耐熱性の低い基板も使用できる。
なお、Ga比の上限値は1未満であれば特に限定はないが、例えば0.80以下である。
成膜する非晶質酸化物薄膜12Aの膜厚は、適用するデバイスを考慮して適宜決定される。例えば電界効果型トランジスタの活性層やゲート絶縁膜として使用する場合、活性層の厚みは、好ましくは、1nm以上100nm以下であり、より好ましくは、2.5nm以上50nm以下である。ゲート絶縁膜として使用する場合は、ゲート絶縁膜の厚みは10nm以上10μm以下が好ましく、50nm以上1000nm以下がより好ましい。
成膜する際の到達真空度は、特に限定はないが、例えば1×10-6Pa以上1×10-3Pa以下とすることができる。
また、この成膜は、基板10上に直接成膜する場合に限定されず、他の層が成膜された基板10上、すなわち他の層を介して基板10上に成膜してもよい。
以上のような成膜工程及び熱処理工程を経ることにより、本発明の第1実施形態に係る非晶質酸化物薄膜12Bを得ることができる。
また、熱処理の雰囲気としては、特に限定されないが、酸素を含有した雰囲気中で熱処理することが好ましい。特に350℃以上600℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜を熱処理する場合、酸素欠損を抑制するという点から酸素を十分に供給した状態で熱処理することがより好ましい。
また、熱処理時間としては、特に限定されないが、後述する抵抗率の安定性を高めるという観点から、5分以上であることが好ましい。
また、熱処理方法としては、基板10を加熱する方法や、基板10を電気炉やマッフル炉内に入れて加熱する方法、ランプやレーザーにより加熱する方法、ホットプレートにより加熱する方法等が挙げられるが、使用する材料との適正を考慮して適宜選択した方法に従って行う。
以上、本発明の第1実施形態に係る非晶質酸化物薄膜12Bの製造方法によれば、非晶質酸化物薄膜12A中のGa比が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合において350℃以上600℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜12Aを熱処理する。または、非晶質酸化物薄膜12AのGa比が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上150℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜12Aを熱処理し、非晶質酸化物薄膜12AのGa比が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上200℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜12Aを熱処理する。
この結果、得られる非晶質酸化物薄膜12Bの抵抗率やキャリア濃度をほぼ一定に保つことができる。従って、熱処理工程時において温度ムラがあっても抵抗率やキャリア濃度を任意の値に制御可能で、非晶質酸化物薄膜12Bの特性のバラつきを抑制することができる。なお、上記「一定」とは、例えば350℃以上600℃以下の温度範囲内で熱処理温度が変わっても、抵抗率の差が1桁の範囲内に留まることをいう。
また、熱処理温度を100℃以上150℃以下又は100℃以上200℃以下とした理由も、得られる非晶質酸化物薄膜12Bの抵抗率やキャリア濃度をほぼ一定にするためである。この場合、低温で熱処理することができるため、基板10として耐熱性の低い樹脂基板等を使用することができる。
さらに、Ga比(Ga/(In+Ga))を0.50超としているのは、非晶質酸化物薄膜12Bの抵抗率を例えば10-6Ω・cm以上、特に10-7Ω・cm以上と高く制御するためである。このように、Ga比として適切な値を選択することにより、非晶質酸化物薄膜12Bを絶縁膜として使用可能となる。なお、絶縁膜とは抵抗率が107Ω・cm以上の材料で構成される膜をいう。
なお、非晶質酸化物薄膜12Bの抵抗率は、成膜する際の到達真空度とその後の熱処理温度(例えば100℃〜350℃)によっては、Ga比が0.50以下でも抵抗率を高くすることができる場合もあるが、この場合、熱処理工程時において温度ムラがあると特性のバラつきを抑制できない。また、Ga比が0.50以下であっても350℃以上、特に400℃以上であれば、特性の抵抗率のバラつきはある程度抑制されるが、十分に抑制されず、かつ、高抵抗率とならない。
−電界効果型トランジスタの製造方法の製造方法−
次に、第2実施形態として、第1実施形態に係る非晶質酸化物薄膜の製造方法を用いた電界効果型トランジスタの製造方法について説明する。
なお、トップゲート型とは、ゲート絶縁膜の上側にゲート電極が配置され、ゲート絶縁膜の下側に活性層が形成された形態であり、ボトムゲート型とは、ゲート絶縁膜の下側にゲート電極が配置され、ゲート絶縁膜の上側に活性層が形成された形態である。また、ボトムコンタクト型とは、ソース・ドレイン電極が活性層よりも先に形成されて活性層の下面がソース・ドレイン電極に接触する形態であり、トップコンタクト型とは、活性層がソース・ドレイン電極よりも先に形成されて活性層の上面がソース・ドレイン電極に接触する形態である。
なお、本発明の第2実施形態に係る電界効果型トランジスタは、上記以外にも、様々な構成をとることが可能であり、適宜、活性層上に保護層や基板上に絶縁層等を備える構成であってもよい。
第1工程として、電界効果型トランジスタ200を形成するための基板10を用意する。
本第2実施形態の支持基板10は、例えばYSZ(ジルコニア安定化イットリウム)、ガラス等の無機材料の他、飽和ポリエステル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)系樹脂、ポリエチレンナフタレート(PEN)系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリスチレン、ポリシクロオレフィン、ノルボルネン樹脂、ポリ(クロロトリフルオロエチレン)、架橋フマル酸ジエステル系樹脂、ポリカーボネート(PC)系樹脂、ポリエーテルスルフォン(PES)樹脂、ポリスルフォン(PSF,PSU)樹脂、ポリアリレート(PAR)樹脂、アリルジグリコールカーボネート、環状ポリオレフィン(COP,COC)樹脂、セルロース系樹脂、ポリイミド(PI)樹脂、ポリアミドイミド(PAI)樹脂、マレイミド−オレフィン樹脂、ポリアミド(Pa)樹脂、アクリル系樹脂、フッ素系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂フィルム、ポリベンズアゾール系樹脂、エピスルフィド化合物、液晶ポリマー(LCP)、シアネート系樹脂、芳香族エーテル系樹脂などの有機材料などが挙げられる。その他にも酸化ケイ素粒子との複合プラスチック材料、金属ナノ粒子・無機酸化物ナノ粒子・無機窒化物ナノ粒子などとの複合プラスチック材料、金属系・無機系のナノファイバー及び/又はマイクロファイバーとの複合プラスチック材料、カーボン繊維、カーボンナノチューブとの複合プラスチック材料、ガラスフェレーク・ガラスファイバー・ガラスビーズとの複合プラスチック材料、粘土鉱物や雲母派生結晶構造を有する粒子との複合プラスチック材料、薄いガラスと上記単独有機材料との間に少なくとも1回の接合界面を有する積層プラスチック材料や無機層(例えばSiO2, Al2O3, SiOxNy)と上述した材料からなる有機層を交互に積層することで、少なくとも1回以上の接合界面を有するバリア性能を有する複合材料、ステンレス、あるいはステンレスと異種金属を積層した金属積層材料、アルミニウム基板、あるいは表面に酸化処理(例えば、陽極酸化処理)を施すことで表面の絶縁性を向上してある酸化被膜付きのアルミニウム基板を使用することもできる。前記有機材料の場合、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、又は低吸湿性等に優れていることが好ましい。
第2工程として、基板10上にゲート電極202を形成する。
ゲート電極は、導電性を有するものを用い、例えば、Al,Mo,Cr,Ta,Ti,Au,Agなどの金属、Al−Nd、APCなどの合金、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の金属酸化物導電膜等を用いて形成することができる。例えば、印刷方式、コーティング方式等の湿式方式、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的方式、CVD、プラズマCVD法等の化学的方式などの中から使用する材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って基板上に成膜する。ゲート電極の厚みは、10nm以上1000nm以下とすることが好ましい。
成膜後、フォトリソグラフィ法によって所定の形状にパターニングを行う。このとき、ゲート電極及びゲート配線を同時にパターニングすることが好ましい。
第3工程として、基板10及びゲート電極202上に、ゲート絶縁膜204を形成する。
ゲート絶縁膜204の形成には、上述した第1実施形態の非晶質酸化物薄膜の製造方法を用いる。具体的には、In、Ga及びZnを含有し、前記Ga比が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を基板上に成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に、350℃以上600℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理する熱処理工程とを用いてゲート絶縁膜204を形成する。
または、In、Ga及びZnを含有し、前記Ga比が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を基板上に成膜する成膜工程と、前記非晶質酸化物薄膜の前記Ga比が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上150℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理し、前記非晶質酸化物薄膜の前記Ga比が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上200℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理する熱処理工程と、を用いてゲート絶縁膜204を形成する。
好ましくは、前記成膜工程では、前記Ga比が0.65≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜し、より好ましくは、前記Ga比が0.70≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜する。
また、成膜する際の到達真空度は、特に限定はないが、例えば1×10-6Pa以上1×10-3Pa以下とすることができる。
また、熱処理の雰囲気としては、特に限定されないが、好ましくは酸素を含有した雰囲気中で熱処理することが好ましい。特に350℃以上600℃以下の温度で非晶質酸化物薄膜を熱処理する場合、酸素欠損を抑制するという点から酸素を十分に供給した状態で熱処理することがより好ましい。
また、熱処理時間としては、特に限定されないが、後述する抵抗率の安定性を高めるという観点から、5分以上であることが好ましい。
また、熱処理方法としては、基板10を加熱する方法や、基板10を電気炉やマッフル炉内に入れて加熱する方法、ランプやレーザーにより加熱する方法、ホットプレートにより加熱する方法等が挙げられるが、使用する材料との適正を考慮して適宜選択した方法に従って行う。
さらに、上記熱処理工程は、後述する活性層206の形成後や電界効果型トランジスタ100の完成後に実施してもよい。
第4工程として、ゲート絶縁膜204上に活性層206を形成する。
活性層206の構成材料は、シリコン等の半導体、窒化ガリウム等の化合物半導体、酸化物半導体又は有機物半導体であってもよく、結晶状態もアモルファスであっても結晶質であっても良い。
酸化物半導体としては、従来公知のものが包含され、例えばIn,Ti,Nb,Sn,Zn,Gd,Cd,Zr,Y,La,Ta等の遷移金属の酸化物の他、SrTiO3,CaTiO3,ZnO・Rh2O3,CuGaO2,SrCu2O2,MgO等の酸化物等が挙げられる。
このように、活性層206に用いられる酸化物半導体としては、特に限定されることはないが、In、Sn、Zn、Ga及びMgのうち少なくとも1種を含む酸化物が好ましく、In、Zn、Ga及びMgのうち少なくとも1種を含む酸化物がより好ましく、In、Ga及びZnのうちの少なくとも1種を含む酸化物(例えばIn−O系)がさらに好ましい。
特に、In、Ga及びZnのうちの少なくとも2種を含む酸化物(例えばIn−Zn−O系、In−Ga−O系、Ga−Zn−O系)が好ましく、In、Ga及びZnを全て含む酸化物がより好ましい。In−Ga−Zn−O系酸化物半導体としては、結晶状態における組成がInGaO3(ZnO)m(mは6未満の自然数)で表される酸化物半導体が好ましく、特に、InGaZnO4(以下、「IGZO」とも言う。)がより好ましい。この組成の酸化物半導体の特徴としては、電気伝導度が増加するにつれ、電子移動度が増加する傾向を示す。
ただし、IGZOの組成比は、厳密にIn:Ga:Zn=1:1:1となる必要はない。また、活性層206は、上記のような酸化物半導体を主成分として含有していれば良く、その他に不純物等を含有していても良い。ここで、「主成分」とは、活性層206を構成する構成成分のうち、最も多く含有されている成分を表す。
なお、成膜後には、適宜エッチング等によるパターニングや熱処理が行われる。
活性層206の厚みは、好ましくは、1nm以上100nm以下であり、より好ましくは、2.5nm以上50nm以下である。
第5工程として、活性層206及びゲート絶縁膜204の上にソース・ドレイン電極208・210を形成すための金属膜を形成する。
金属膜は、電極及び配線としての導電性を有し、エッチングによってパターン加工することができる金属により活性層206を覆うように形成すればよい。具体的には、Al,Mo,Cr,Ta,Ti,Au,Agなどの金属、Al−Nd,APCなどの合金、酸化錫,酸化亜鉛,酸化インジウム,酸化インジウム錫(ITO),酸化亜鉛インジウム(IZO)等の金属酸化物導電膜、ポリアニリン,ポリチオフェン,ポリピロールなどの有機導電性化合物、またはこれらの混合物が挙げられる。
また、Al系金属膜(第1の層)と、Mo又はTiを主成分とするMo系金属膜又はTi系金属膜(第2の層)を積層させる場合は、第1の層の厚みは10nm以上1000nm以下とし、第2の層の厚みは1nm以上300nm以下とすることが好ましい。
このような電界効果型トランジスタ200は、有機EL表示装置やX線撮像装置、光センサ、アクチュエータ等に適用することも可能である。さらに、電界効果型トランジスタ200を用いた有機EL表示装置は、携帯電話ディスプレイ、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、コンピュータディスプレイ、自動車の情報ディスプレイ、TVモニター、あるいは一般照明を含む広い分野で幅広い分野で応用される。
以上、本発明の第2実施形態に係る電界効果型トランジスタの製造方法によれば、非晶質酸化物薄膜からなるゲート絶縁膜のGa比が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合において350℃以上600℃以下の温度でゲート絶縁膜を熱処理する。または、または、ゲート絶縁膜のGa比が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上150℃以下の温度でゲート絶縁膜を熱処理し、ゲート絶縁膜のGa比が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、成膜工程後に100℃以上200℃以下の温度でゲート絶縁膜を熱処理する。
この結果、得られるゲート絶縁膜の抵抗率やキャリア濃度をほぼ一定に保つことができる。従って、熱処理工程時において温度ムラがあっても抵抗率やキャリア濃度を任意の値に制御可能で、電界効果型トランジスタの特性のバラつきを抑制することができる。
本発明の実施例1〜4及び比較例1に関するIGZO膜はIn2O3、Ga2O3、ZnOの各ターゲットによる共スパッタ法によって25mm角石英ガラス上に作製した。比較例2に関するIGZO膜はInGaZnO4ターゲットによるスパッタ法によって25mm角石英ガラス(1mm厚、T―4040合成石英基板)上に作製した。なお、In2O3ターゲット及びGa2O3ターゲットはRFスパッタにより、InGaZnO4ターゲット、ZnOターゲットはDCスパッタにより成膜を行った。
各IGZO膜の熱処理は大気中、ホットプレートにて行った。所定の温度に熱したホットプレートにIGZO膜を置き5分間熱した後に取り出し、大気中にて冷却した後、抵抗測定を行った。熱処理時間は5分以上に伸ばしても抵抗率に変化は確認できず、5分間の熱処理で十分であった。熱処理温度は、100℃、150℃、200℃、250℃、300℃、350℃、400℃、500℃、550℃又は、600℃に設定した。
各IGZO膜について、電気抵抗値(抵抗率)、組成・膜厚を評価した。抵抗率は、ハイレスタ(三菱化学製,MCP−HT450(プローブタイプURS))により、組成・膜厚はXRFにより測定を行った。XRF測定結果より、各IGZO膜は所望の組成比となっており、膜厚は約50nmであることが判明した。XRDによると、各IGZO膜は非晶質であることが判明した。
一方、400℃以上の熱処理温度領域では、到達真空度によらず、当該IGZO膜の抵抗率が収束することが分かった。しかし、400℃以上でも、熱処理温度が増加するにつれて抵抗率が減少する傾向を示しているため、到達真空度が同じであるIGZO膜であっても、熱処理温度を400℃以上の範囲内で変化させると、400℃未満の範囲内で変化させる場合と比べて抵抗率のバラつきを抑制できているものの、十分には抵抗率のバラつきを抑制していない。例えば、到達真空度が同じ5×10-4Paであっても、熱処理温度が400℃のIGZO膜と処理温度が550℃のIGZO膜との抵抗率の差は一桁以上あり、十分には抵抗率のバラつきを抑制していないことが分かった。
また、抵抗率のバラつきを抑制するために熱処理温度を400℃以上とすると、106Ω・cm、特に107Ω・cmの高抵抗のIGZO膜を得ることができない。
また、抵抗率のバラつきを抑制するために熱処理温度を400℃以上とすると、106Ω・cm、特に107Ω・cmの高抵抗のIGZO膜を得ることができない。
同様に、非晶質酸化物薄膜のGa比が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75である場合には、100℃以上150℃以下の熱処理温度領域においても抵抗率が安定することが分かった。また、非晶質酸化物薄膜のGa比が0.75≦Ga/(In+Ga)である場合には、100℃以上200℃以下の熱処理温度領域においても抵抗率が安定することが分かった。なお、比較例1のIGZO膜(Ga比が0.50)や比較例2のIGZO膜(Ga比が約0.47)に関しては、図4、図6及び図7に示すように100℃以上200℃以下の熱処理温度領域では、抵抗率は安定しなかった(温度変化による抵抗率の変化が大きかった)。
12A 非晶質酸化物薄膜
12B 非晶質酸化物薄膜
100 電界効果型トランジスタ
102 活性層
104 ソース電極
106 ドレイン電極
108 ゲート絶縁膜
110 ゲート電極
200 電界効果型トランジスタ
202 ゲート電極
204 ゲート絶縁膜
206 活性層
208 ソース電極
210 ドレイン電極
Claims (4)
- In、Ga及びZnを含有し、前記In及び前記Gaの合計に対する前記Gaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を基板上に成膜する成膜工程と、
前記非晶質酸化物薄膜の前記Gaのモル比率が0.50<Ga/(In+Ga)<0.75の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上150℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理し、前記非晶質酸化物薄膜の前記Gaのモル比率が0.75≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす場合には、前記成膜工程後に100℃以上200℃以下又は350℃以上600℃以下の温度で前記非晶質酸化物薄膜を熱処理する熱処理工程と、
を有する非晶質酸化物薄膜の製造方法。 - 前記成膜工程では、前記Gaのモル比率が0.65≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜する、
請求項1に記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法。 - 前記成膜工程では、前記Gaのモル比率が0.70≦Ga/(In+Ga)の関係を満たす非晶質酸化物薄膜を成膜する、
請求項2に記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法。 - 基板上に、少なくともゲート電極、ゲート絶縁膜、活性層、ソース電極、及びドレイン電極を備える電界効果型トランジスタの製造方法であって、
請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の非晶質酸化物薄膜の製造方法により、前記ゲート絶縁膜として前記非晶質酸化物薄膜を形成する工程を有する、
電界効果型トランジスタの製造方法。
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