JP2011245816A - マスクブランク用基板の製造方法、インプリントモールド用マスクブランクの製造方法、及びインプリントモールドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリントモールドを作製するためのマスクブランクに用いられるマスクブランク用基板の製造方法である。この製造方法は、対向する第1の主表面SF1及び第2の主表面SF2を備える基板11を準備する工程と、第1の主表面SF1における所定の領域を第2の主表面SF2の方向に研削して、凹部SCVを形成する研削工程と、凹部SCVの底面bf1に対し、第2の主表面SF2の方向に所定量のエッチングをさらに行い、所定深さの凹部CVを形成するエッチング工程とを備える。
【選択図】図1
Description
図1(a)及び図1(b)を参照して、本発明の第1の実施の形態に係わるマスクブランク用基板の製造方法によって製造されたマスクブランク用基板5の構成を説明する。図1(a)は断面図であり、図1(b)は第1の主表面SF1側から見た上面図である。
研削工程において形成される凹部SCVの深さdp1は、図1の凹部CVの深さDP(所定深さ)よりも浅い。底面BFと底面bf1との差である深さdp2は、この研削工程の後工程であるエッチング工程で除去される。研削工程で凹部SCVを形成する際、底面bf1には大きな加工圧力が加わっており、底面bf1の表面から第2の主表面SF2に向かう方向の所定厚さの範囲の基板内部には、第2の主表面SF2の平坦度を悪化させてしまう大きさの残留応力が残存する。エッチング工程で除去される基板の深さdp2(所定量)は、その残留応力が残存する所定厚さと少なくとも同じである必要があり、それよりも大きくすることが好ましい。よって、研削工程で形成される凹部SCVの深さdp1は、最大でも、凹部形成前の基板の厚さから、マスクブランク用基板5の凹部CVの底面BFと第2の主表面SF2との距離(厚さ)THとエッチング工程で除去される基板の深さdp2を差し引いた深さとなる。
第2の実施の形態では、上記したマスクブランク用基板5を用いたインプリントモールド用マスクブランクの製造方法について説明する。
第3の実施の形態では、上記したインプリントモールド用マスクブランク3を用いたインプリントモールドの製造方法について説明する。
図1(a)及び図1(b)の基板11に相当する152mm角の基板を用意し、この基板の第1の主表面SF1に直径70mmφ、深さ5mmの円形の凹部を形成した。凹部の形成は、総て座繰り加工(研削加工)を用いて行った。
3 インプリントモールド用マスクブランク
4 薄膜
5 マスクブランク用基板
9 モールドパターン
11 基板
BF、bf1 底面
CV、SCV 凹部
MR モールドパターン形成領域
SD、sd1 側壁
SF1 第1の主表面
SF2 第2の主表面
Claims (7)
- インプリントモールドを作製するためのマスクブランクに用いられるマスクブランク用基板の製造方法であって、
対向する第1の主表面及び第2の主表面を備える基板を準備する工程と、
前記基板の第1の主表面における所定の領域を前記第2の主表面の方向に研削して、凹部を形成する研削工程と、
前記凹部の底面に対し、前記第2の主表面の方向に所定量のエッチングをさらに行い、所定深さの凹部を形成するエッチング工程と、
を備えることを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記所定量は、10μm以上1mm以下であることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記所定深さは、前記凹部の底面と前記第2の主表面との間の距離が0.5mm以上2.0mm以下となる深さであることを特徴とする請求項1又は2に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記エッチング工程の後に、前記凹部の底面の表面粗さを算術平均粗さRaで0.3nm以下にまで平坦化する平坦化工程を更に備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記凹部は、前記第2の主表面のモールドパターンが形成される領域を含む大きさの領域に形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載のマスクブランク用基板の製造方法によって製造されたマスクブランク用基板の第2の主表面に、パターン形成用の薄膜を形成する成膜工程を備えることを特徴とするインプリントモールド用マスクブランクの製造方法。
- 請求項6に記載のインプリントモールド用マスクブランクの製造方法によって製造されたインプリントモールド用マスクブランクにおける前記薄膜及びマスクブランク用基板をエッチング加工するエッチング工程を備えることを特徴とするインプリントモールドの製造方法。
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