JP2011240716A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 72
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 61
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- -1 AlN-BN Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 3
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
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Abstract
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁13とチャネル14とが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、駆動壁13に駆動電極15が形成されてなるヘッドチップを有し、駆動電極15に電圧を印加することにより駆動壁13をせん断変形させ、チャネル14内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、ヘッドチップを作成した後、該ヘッドチップの後面側から、駆動壁13のせん断変形機能を調整することを特徴とする。
【選択図】図9
Description
前記ヘッドチップを作成した後、該ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2.前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の速度を測定することにより各インク液滴の速度分布を測定する工程と、
測定された速度分布に基づいて該速度分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする前記1.記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3.前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の体積を測定することにより各インク液滴の体積分布を測定する工程と、
測定された体積分布に基づいて該体積分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする前記1.記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4.前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の径を測定することにより各インク液滴の径分布を測定する工程と、
測定された各インク液滴の径分布に基づいて該径分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする前記1.記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5.前記ヘッドチップを作成した後、該ヘッドチップの前面から全チャネルを閉蓋する工程と、
各チャネルに液体を充填し、前記駆動電極に電圧を印加して前記駆動壁をせん断変形させ、その時の前記液体の挙動をレーザードップラー測定器で測定することにより、各チャネル特性を測定する工程と、
前記測定されたチャネル特性に基づいて、該チャネル特性が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする前記1.記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6.前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルの前記駆動壁の容量分布を測定する工程と、
前記測定された容量分布に基づいて、該容量分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする前記1.記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7.前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する接続電極を形成する工程と、
前記接続電極に対応する配線電極が形成されると共に、前記ヘッドチップのチャネル列に対応する領域に開口部を有し、該ヘッドチップよりもチャネル列方向と直交する方向に張り出す大きさを有する配線基板を、前記接続電極と前記配線電極の一端とが電気的に接続し、且つ、前記開口部から前記ヘッドチップの全チャネルが露呈するように接合する工程を含むことを特徴とする前記1.〜6.のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8.前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する接続電極を形成する工程と、
前記接続電極に対応する配線電極が形成された配線基板の一端を、前記接続電極と前記配線電極の一端とが電気的に接続し、且つ、前記ヘッドチップの全チャネルが露呈するように前記ヘッドチップの後面の前記接続電極の形成領域に接合する工程を含むことを特徴とする前記1.〜6.のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9.前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、レーザーにより、前記駆動電極と前記駆動壁の少なくとも一方の一部を除去することにより行うことを特徴とする前記1.〜8.のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10.前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、前記駆動電極と前記駆動壁の少なくとも一方の一部を機械的に除去することにより行うことを特徴とする前記1.〜8.のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
11.前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、レーザーにより、前記駆動壁の一部を加熱することにより行うことを特徴とする前記1.〜8.のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
請求項2記載の発明によれば、実際にインクを吐出して速度を測定した結果に基づいて各チャネルのインクの速度分布を均一化させることにより、各チャネル特性を均一化させることができ、高品質の画像記録が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
請求項3記載の発明によれば、実際にインクを吐出してインク液滴の体積を測定した結果に基づいて各チャネルのインクの体積分布を均一化させることにより、各チャネル特性を均一化させることができ、高品質の画像記録が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
請求項4記載の発明によれば、実際にインクを吐出してインク液滴の径を測定した結果に基づいて各チャネルのインク液滴の径分布を均一化させることにより、各チャネル特性を均一化させることができ、高品質の画像記録が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
請求項5記載の発明によれば、レーザードップラー測定器によって各チャネルの特性を測定することにより、その測定結果に基づいて各チャネル特性を均一化させることができ、高品質の画像記録が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
請求項6記載の発明によれば、各チャネルの駆動壁の容量分布を測定することにより、その測定結果に基づいて各チャネル特性を均一化させることができ、高品質の画像記録が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
請求項7記載の発明によれば、更に、ヘッドチップの後面に配線接続のための配線基板を設けても、その開口部を通して、ヘッドチップの後面から駆動壁のせん断変形機能を容易に調整することができる。
請求項8記載の発明によれば、更に、ヘッドチップの後面に配線接続のための配線基板を設けても、全チャネルを露呈させることができ、ヘッドチップの後面から駆動壁のせん断変形機能を容易に調整することができる。
請求項9記載の発明によれば、更に、レーザーを用いて簡単に駆動壁のせん断変形機能を調整することができる。
請求項10記載の発明によれば、更に、機械的に簡単に駆動壁のせん断変形機能を調整することができる。
請求項11記載の発明によれば、更に、レーザーによる熱を利用して簡単に駆動壁のせん断変形機能を調整することができる。
10、10A:ヘッド基板
11:ベース基板
12:カバー基板
13:駆動壁
13a、13b:圧電素子基板
14:チャネル
141:チャネルの入口
142:チャネルの出口
15:駆動電極
16:接続電極
2:ノズルプレート
21:ノズル
3:配線基板
31:配線接続部
32:開口部
33:配線電極
4:FPC
41:配線
5:インクマニホールド
51:開口
52:インク供給口
6:配線基板
61:配線電極
62:配線接続部
63:空間部
631、632:開放部
100:積層ヘッド基板
200:感光性ドライフィルム
201:開口部
300:エンドミル
400:プレート
500:蓋部材
600:レーザードップラー測定器
700:LCRメーター
701:プローバー
H:インクジェットヘッド
W:液体
Claims (11)
- 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置され、前記駆動壁に駆動電極が形成されてなるヘッドチップを有し、前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁をせん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ヘッドチップを作成した後、該ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の速度を測定することにより各インク液滴の速度分布を測定する工程と、
測定された速度分布に基づいて該速度分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の体積を測定することにより各インク液滴の体積分布を測定する工程と、
測定された体積分布に基づいて該体積分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルにインクを供給し、前記駆動電極に電圧を印加して各ノズルからそれぞれインクを吐出させ、各インク液滴の径を測定することにより各インク液滴の径分布を測定する工程と、
測定された各インク液滴の径分布に基づいて該径分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップを作成した後、該ヘッドチップの前面から全チャネルを閉蓋する工程と、
各チャネルに液体を充填し、前記駆動電極に電圧を印加して前記駆動壁をせん断変形させ、その時の前記液体の挙動をレーザードップラー測定器で測定することにより、各チャネル特性を測定する工程と、
前記測定されたチャネル特性に基づいて、該チャネル特性が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップを作成した後、各チャネルの前記駆動壁の容量分布を測定する工程と、
前記測定された容量分布に基づいて、該容量分布が均一となるように、前記ヘッドチップの後面側から、前記駆動壁のせん断変形機能を調整する工程とを有することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する接続電極を形成する工程と、
前記接続電極に対応する配線電極が形成されると共に、前記ヘッドチップのチャネル列に対応する領域に開口部を有し、該ヘッドチップよりもチャネル列方向と直交する方向に張り出す大きさを有する配線基板を、前記接続電極と前記配線電極の一端とが電気的に接続し、且つ、前記開口部から前記ヘッドチップの全チャネルが露呈するように接合する工程を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ヘッドチップの後面に、前記駆動電極と電気的に接続する接続電極を形成する工程と、
前記接続電極に対応する配線電極が形成された配線基板の一端を、前記接続電極と前記配線電極の一端とが電気的に接続し、且つ、前記ヘッドチップの全チャネルが露呈するように前記ヘッドチップの後面の前記接続電極の形成領域に接合する工程を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、レーザーにより、前記駆動電極と前記駆動壁の少なくとも一方の一部を除去することにより行うことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、前記駆動電極と前記駆動壁の少なくとも一方の一部を機械的に除去することにより行うことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記駆動壁のせん断変形機能の調整は、レーザーにより、前記駆動壁の一部を加熱することにより行うことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011197580A JP5062354B2 (ja) | 2005-08-23 | 2011-09-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005241739 | 2005-08-23 | ||
JP2005241739 | 2005-08-23 | ||
JP2011197580A JP5062354B2 (ja) | 2005-08-23 | 2011-09-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006165378A Division JP4857934B2 (ja) | 2005-08-23 | 2006-06-14 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011240716A true JP2011240716A (ja) | 2011-12-01 |
JP5062354B2 JP5062354B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=45407835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011197580A Expired - Fee Related JP5062354B2 (ja) | 2005-08-23 | 2011-09-09 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5062354B2 (ja) |
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