JP4586428B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
前記カバー基板を、基板に、金属材料、膜厚、形成面積及び形成条件を選択することによって前記基板の加熱接着時の熱膨張率が前記チャネル基板と実質的に同一となるように金属膜を形成して作製した後、該カバー基板を前記駆動電極が形成されたチャネル基板と加熱接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
前記カバー基板を、前記チャネル基板と同一材料且つ同一厚みの基板を用い、該チャネル基板との接着面と反対面に、該チャネル基板の駆動壁、チャネル及び駆動電極とそれぞれ同一構造の壁部、溝部及び金属膜を形成することにより作製した後、該カバー基板を前記駆動電極が形成されたチャネル基板と加熱接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
10、60:チャネル基板
11、61:駆動壁
12、62:チャネル
13、63:駆動電極
14、64、640:カバー基板
15、65、630:金属膜(調整部材)
16、66:接続電極
17:引き出し電極
2、7:ノズルプレート
21、71:ノズル孔
3:配線基板
31:駆動配線
4:流路基板
5:囲い壁部
51:インク供給室
52:流入口
a:ヘッド基板
Claims (7)
- 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に、前記駆動壁に駆動電極が形成されたチャネル基板と、前記チャネル基板に熱硬化型接着剤により接着されたカバー基板とを備え、前記駆動電極に電界を印加することにより前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバー基板を、基板に、金属材料、膜厚、形成面積及び形成条件を選択することによって前記基板の加熱接着時の熱膨張率が前記チャネル基板と実質的に同一となるように金属膜を形成して作製した後、該カバー基板を前記駆動電極が形成されたチャネル基板と加熱接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記駆動電極はめっきにより形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記金属膜を、前記チャネル基板との接着面と反対面に形成することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 2枚の平板状の基板のうちの少なくともいずれか一方の基板の一面に前記金属膜を形成し、該2枚の基板同士を前記金属膜を間に挟むように接着して前記カバー基板を作製することを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 2つのチャネル基板を、前記カバー基板の両面にそれぞれチャネル同士が向き合うように配置して接着することを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルは、インクを吐出しない空チャネルを一つおきに有する独立駆動モードのチャネルであり、前記カバー基板と前記チャネル基板とを接着した後、前記カバー基板に、前記空チャネル内の駆動壁に形成された各電極と前記金属膜とを電気的に接続する引き出し電極を形成し、前記金属膜を前記空チャネル内の電極を接地するための共通電極とすることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共に、前記駆動壁に駆動電極が形成されたチャネル基板と、前記チャネル基板に熱硬化型接着剤により接着されたカバー基板とを備え、前記駆動電極に電界を印加することにより前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバー基板を、前記チャネル基板と同一材料且つ同一厚みの基板を用い、該チャネル基板との接着面と反対面に、該チャネル基板の駆動壁、チャネル及び駆動電極とそれぞれ同一構造の壁部、溝部及び金属膜を形成することにより作製した後、該カバー基板を前記駆動電極が形成されたチャネル基板と加熱接着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
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