JP2011236291A - 粘着シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】側鎖結晶性ポリマーと、該側鎖結晶性ポリマー100重量部に対して10〜110重量部の発泡剤と、を含有し、前記側鎖結晶性ポリマーは、融点が30℃以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満であり、前記融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すとともに、重量平均分子量が10,000〜700,000であり、厚さが10〜70μmである粘着シートを提供する。
【選択図】なし
Description
しかしながら、発泡粘着シートは固定力および弾性率が低いため、基板の固定状態が安定し難く、それゆえ基板の加工精度に劣るという問題がある。
しかしながら、ワックスによる固定力の低下は十分ではない。そのため、基板をワックスから取り外す際には基板をずらす必要があり、その結果、基板に傷が生じてしまう。また、取り外した基板上にはワックスが残りやすく、別途洗浄工程が必要になる。
(1)側鎖結晶性ポリマーと、該側鎖結晶性ポリマー100重量部に対して10〜110重量部の発泡剤と、を含有し、前記側鎖結晶性ポリマーは、融点が30℃以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度であり、前記融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すとともに、重量平均分子量が10,000〜700,000であり、厚さが10〜70μmであることを特徴とする粘着シート。
(2)前記側鎖結晶性ポリマーは、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を有する(メタ)アクリレート30〜100重量部と、炭素数1〜6のアルキル基を有する(メタ)アクリレート0〜70重量部と、極性モノマー0〜10重量部と、を重合させて得られる重合体である前記(1)記載の粘着シート。
(3)前記炭素数1〜6のアルキル基を有する(メタ)アクリレートがブチルアクリレートである前記(1)または(2)記載の粘着シート。
(4)前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の23℃における垂直剥離強度が10〜500N/cm2である前記(1)〜(3)のいずれかに記載の粘着シート。
(5)23℃における貯蔵弾性率G’が4×106〜5×107Paである前記(1)〜(4)のいずれかに記載の粘着シート。
(6)60℃における貯蔵弾性率G’が1×103〜7×104Paである前記(1)〜(5)のいずれかに記載の粘着シート。
(7)前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度で貼着した被着体を、前記融点未満の温度で固定し、前記発泡剤の発泡温度以上の温度で取り外す前記(1)〜(6)のいずれかに記載の粘着シート。
また、本発明における前記「発泡温度」は、発泡剤が膨脹ないし発泡を開始する温度のことを意味する。
本発明の粘着シートは、側鎖結晶性ポリマーと発泡剤とを含有するものである。前記側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化し、かつ融点以上の温度で相転移して流動性を示すポリマーある。すなわち、側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こすポリマーである。
次に、本発明にかかる粘着テープについて説明する。本発明にかかる粘着テープは、基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層が前記した本発明の粘着シートからなる。したがって、本発明の粘着テープは、前記した粘着シートと同様の効果を奏するとともに、基材フィルムを含む分、粘着シートよりも剛性が高く、取り扱い性に優れるという効果を奏する。
次に、本発明にかかる精密研磨方法および研削方法について説明する。本発明にかかる精密研磨方法は、前記した本発明の粘着シートを用いて被研磨物を精密研磨する方法であり、以下の(i)〜(iv)の工程を備える。
(i)前記粘着シートを被研磨物と台座との間に介在させる工程。
(ii)前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研磨物を台座に固定する工程。
(iii)固定した前記被研磨物を精密研磨する工程。
(iv)前記粘着シートの温度を発泡剤の発泡温度以上の温度にし、精密研磨した前記被研磨物を粘着シートから取り外す工程。
(I)前記粘着シートを被研削物と台座との間に介在させる工程。
(II)前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研削物を台座に固定する工程。
(III)固定した前記被研削物を研削する工程。
(IV)前記粘着シートの温度を発泡剤の発泡温度以上の温度にし、研削した前記被研削物を粘着シートから取り外す工程。
ベヘニルアクリレート(日油社製)を45部、ブチルアクリレート(日本触媒社製)を50部、ヒドロキシエチルアクリレート(日本触媒社製)を5部、およびパーブチルND(日油社製)を0.5部の割合で、それぞれ酢酸エチル:n−ヘプタン=7:3(重量比)の混合溶媒230部に加えて混合し、60℃で5時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は45℃、重量平均分子量は550,000であった。
さらにドデシルメルカプタン(日油社製)を3部加えた以外は前記合成例1と同様にして前記モノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は45℃、重量平均分子量は15,000であった。
ベヘニルアクリレート(日油社製)を35部、ステアリルアクリレートを10部、メチルアクリレート(日本触媒社製)を50部、アクリル酸を5部、およびパーブチルND(日油社製)を0.5部の割合で、それぞれ酢酸エチル:n−ヘプタン=7:3(重量比)の混合溶媒230部に加えて混合し、60℃で5時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は45℃、重量平均分子量は550,000であった。
前記混合溶媒の割合を230部に代えて130部にした以外は、前記合成例1と同様にして前記モノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は45℃、重量平均分子量は800,000であった。
ベヘニルアクリレート(日油社製)を45部、ブチルアクリレート(日本触媒社製)を50部、ヒドロキシエチルアクリレート(日本触媒社製)を5部、ドデシルメルカプタン(日油社製)を6部、ドデシルメルカプタン(日油社製)を6部、およびパーヘキシルPV(日油社製)を1部の割合で、それぞれトルエン100部に加えて混合し、80℃で5時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は45℃、重量平均分子量は7,900であった。
<粘着シートの作製>
まず、前記合成例1〜3および比較合成例1,2で得られた各共重合体を、酢酸エチルを用いて固形分が30%になるよう調整して各共重合体溶液を得た。ついで、各共重合体溶液に発泡剤を表2に示す割合で添加した。なお、発泡剤としては、発泡開始温度(発泡温度)93〜98℃、平均粒径10〜16μmのマイクロカプセル化された熱膨張性微粒子であるEXPANCEL社製の「551DU40」を用いた。また、表2中、発泡剤の添加量は、固形分換算で共重合体(側鎖結晶性ポリマー)100重量部に対する値を示す。
上記で得た各粘着シートについて、貯蔵弾性率G’、垂直剥離強度、剥離性、糊残り、および研磨精度を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、結果を表2に併せて示す。
セイコーインスツルメンツ社(Seiko Instruments Inc.)製の動的粘弾性測定装置「DMS 6100」を用いて、10Hz、5℃/分、0〜100℃の昇温過程において、23℃および60℃における粘着シートの貯蔵弾性率G’を測定した。
融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の23℃における垂直剥離強度を測定した。具体的には、まず、雰囲気温度23℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるステンレス鋼(SUS)製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を60℃に昇温した後、粘着シート表面を、縦10mm×横10mm×厚さ10mmのステンレス鋼製のプローブで2kg/cm2の圧力をかけて10秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、プローブを粘着シート表面に貼着した状態で20分間放置した後、雰囲気温度を60℃から23℃に降温して20分間放置した。そして、300mm/分の速度でプローブを粘着シート表面から垂直方向に剥離した際の強度を測定した。
まず、雰囲気温度23℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるステンレス鋼製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を60℃に昇温した後、粘着シート表面を、直径100mm×厚さ500μmの円形のガラス板で2kg/cm2の圧力をかけて10秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、ガラス板を粘着シート表面に貼着した状態で20分間放置した後、雰囲気温度を60℃から23℃に降温して20分間放置した。
○:120℃昇温後1分以内にガラス板の自重のみでガラス板が粘着シート表面から剥離した。
×:120℃昇温後5分を超えてもガラス板の自重のみでガラス板が粘着シート表面から剥離しなかった。
前記剥離性の評価において、剥離後のガラス板表面を電子顕微鏡(倍率:100倍)にて観察し、糊残りの有無を確認した。なお、剥離性の評価が×のものについては、手でガラス板を粘着シート表面から剥離することにより評価した。また、判定基準は以下のものを用いた。
○:糊残りがない。
×:糊残りがある。
まず、雰囲気温度23℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるセラミック製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を60℃に昇温した後、粘着シート表面を、直径100mm×厚さ500μmの円形のサファイアガラス板で2kg/cm2の圧力をかけて10秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、サファイアガラス板を粘着シート表面に貼着した状態で20分間放置した後、雰囲気温度を60℃から23℃に降温して20分間放置した。
○:厚さのバラツキが3μm以内である。
×:厚さのバラツキが3μmより大きい。
Claims (10)
- 側鎖結晶性ポリマーと、該側鎖結晶性ポリマー100重量部に対して10〜110重量部の発泡剤と、を含有し、
前記側鎖結晶性ポリマーは、
融点が30℃以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度であり、
前記融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すとともに、
重量平均分子量が10,000〜700,000であり、
厚さが10〜70μmであることを特徴とする粘着シート。 - 前記側鎖結晶性ポリマーは、
炭素数16以上の直鎖状アルキル基を有する(メタ)アクリレート30〜100重量部と、
炭素数1〜6のアルキル基を有する(メタ)アクリレート0〜70重量部と、
極性モノマー0〜10重量部と、
を重合させて得られる重合体である請求項1記載の粘着シート。 - 前記炭素数1〜6のアルキル基を有する(メタ)アクリレートがブチルアクリレートである請求項1または2記載の粘着シート。
- 前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の23℃における垂直剥離強度が10〜500N/cm2である請求項1〜3のいずれかに記載の粘着シート。
- 23℃における貯蔵弾性率G’が4×106〜5×107Paである請求項1〜4のいずれかに記載の粘着シート。
- 60℃における貯蔵弾性率G’が1×103〜7×104Paである請求項1〜5のいずれかに記載の粘着シート。
- 前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度で貼着した被着体を、前記融点未満の温度で固定し、前記発泡剤の発泡温度以上の温度で取り外す請求項1〜6のいずれかに記載の粘着シート。
- 基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層が請求項1〜7のいずれかに記載の粘着シートからなることを特徴とする粘着テープ。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の粘着シートを用いて被研磨物を精密研磨する方法であって、
前記粘着シートを被研磨物と台座との間に介在させる工程と、
前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研磨物を台座に固定する工程と、
固定した前記被研磨物を精密研磨する工程と、
前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、精密研磨した前記被研磨物を粘着シートから取り外す工程と、
を含むことを特徴とする精密研磨方法。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の粘着シートを用いて被研削物を研削する方法であって、
前記粘着シートを被研削物と台座との間に介在させる工程と、
前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研削物を台座に固定する工程と、
固定した前記被研削物を研削する工程と、
前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、研削した前記被研削物を粘着シートから取り外す工程と、
を含むことを特徴とする研削方法。
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