JP2011236291A - Self-adhesive sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、精密研磨や研削に好適な粘着シートに関する。 The present invention relates to an adhesive sheet suitable for precision polishing and grinding.
発光素子（ＬＥＤ）やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等の製造工程において、サファイアガラス等からなる基板の精密研磨や研削は、通常、仮止め部材を介して基板を台座に固定した状態で行われる。前記仮止め部材には、基板を加工する際には高い固定力が要求され、基板を取り外す際には固定力が低下して傷や汚れ等のない状態で基板を取り外せることが要求される。また、基板の固定状態を安定させる上で、仮止め部材の弾性率は高い方が好ましい。仮止め部材としては、発泡粘着シートやワックス等が挙げられる。 In a manufacturing process of a light emitting element (LED), a flat panel display (FPD) or the like, precision polishing or grinding of a substrate made of sapphire glass or the like is usually performed in a state where the substrate is fixed to a pedestal via a temporary fixing member. The temporary fixing member is required to have a high fixing force when the substrate is processed, and when the substrate is removed, the fixing force is required to be reduced so that the substrate can be removed without scratches or dirt. Moreover, in order to stabilize the fixed state of the substrate, it is preferable that the temporary fixing member has a higher elastic modulus. Examples of the temporary fixing member include a foamed adhesive sheet and wax.
発泡粘着シートは、所定の感圧性接着剤に発泡剤を含有してなり、加熱処理による発泡剤の膨脹ないし発泡で粘着力が低下するものである（例えば、特許文献１，２を参照）。
しかしながら、発泡粘着シートは固定力および弾性率が低いため、基板の固定状態が安定し難く、それゆえ基板の加工精度に劣るという問題がある。
The foamed pressure-sensitive adhesive sheet contains a foaming agent in a predetermined pressure-sensitive adhesive, and the adhesive force is reduced by expansion or foaming of the foaming agent by heat treatment (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
However, since the foaming adhesive sheet has a low fixing force and a low elastic modulus, there is a problem that the fixing state of the substrate is difficult to stabilize, and therefore the processing accuracy of the substrate is inferior.
一方、ワックスは、融点未満の温度で結晶化して固定力が発現し、融点以上の温度で流動性を示して固定力が低下するものである。
しかしながら、ワックスによる固定力の低下は十分ではない。そのため、基板をワックスから取り外す際には基板をずらす必要があり、その結果、基板に傷が生じてしまう。また、取り外した基板上にはワックスが残りやすく、別途洗浄工程が必要になる。
On the other hand, the wax is crystallized at a temperature lower than the melting point to develop a fixing force, exhibits a fluidity at a temperature higher than the melting point, and decreases the fixing force.
However, the reduction in fixing force due to wax is not sufficient. Therefore, when removing a board | substrate from wax, it is necessary to shift a board | substrate, As a result, a damage | wound will arise in a board | substrate. Further, the wax tends to remain on the removed substrate, and a separate cleaning process is required.
本発明の課題は、被着体を固定する際の固定力および弾性率が高く、かつ取り外しが容易であるとともに、糊残りが発生し難い粘着シートを提供することである。 An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive sheet that has a high fixing force and elastic modulus when fixing an adherend, is easy to remove, and hardly causes adhesive residue.
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）側鎖結晶性ポリマーと、該側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して１０〜１１０重量部の発泡剤と、を含有し、前記側鎖結晶性ポリマーは、融点が３０℃以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度であり、前記融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すとともに、重量平均分子量が１０，０００〜７００，０００であり、厚さが１０〜７０μｍであることを特徴とする粘着シート。
（２）前記側鎖結晶性ポリマーは、炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート３０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部と、を重合させて得られる重合体である前記（１）記載の粘着シート。
（３）前記炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートがブチルアクリレートである前記（１）または（２）記載の粘着シート。
（４）前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の２３℃における垂直剥離強度が１０〜５００Ｎ／ｃｍ2である前記（１）〜（３）のいずれかに記載の粘着シート。
（５）２３℃における貯蔵弾性率Ｇ’が４×１０6〜５×１０7Ｐａである前記（１）〜（４）のいずれかに記載の粘着シート。
（６）６０℃における貯蔵弾性率Ｇ’が１×１０3〜７×１０4Ｐａである前記（１）〜（５）のいずれかに記載の粘着シート。
（７）前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度で貼着した被着体を、前記融点未満の温度で固定し、前記発泡剤の発泡温度以上の温度で取り外す前記（１）〜（６）のいずれかに記載の粘着シート。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found a solution means having the following constitution and have completed the present invention.
(1) containing a side chain crystalline polymer and 10 to 110 parts by weight of a foaming agent with respect to 100 parts by weight of the side chain crystalline polymer, and the side chain crystalline polymer has a melting point of 30 ° C. or more and The foaming agent is at a temperature lower than the foaming temperature, crystallized at a temperature lower than the melting point, exhibits fluidity at a temperature higher than the melting point, has a weight average molecular weight of 10,000 to 700,000, and has a thickness of 10 A pressure-sensitive adhesive sheet having a thickness of ˜70 μm.
(2) The side chain crystalline polymer has 30 to 100 parts by weight of (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms, and (meth) acrylate 0 to 0 having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. The pressure-sensitive adhesive sheet according to (1), which is a polymer obtained by polymerizing 70 parts by weight and 0 to 10 parts by weight of a polar monomer.
(3) The pressure-sensitive adhesive sheet according to (1) or (2), wherein the (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is butyl acrylate.
(4) The pressure-sensitive adhesive according to any one of (1) to (3), wherein a vertical peel strength at 23 ° C. after passing through the temperature not lower than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent is 10 to 500 N / cm 2. Sheet.
(5) The pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of (1) to (4), wherein the storage elastic modulus G ′ at 23 ° C. is 4 × 10 6 to 5 × 10 7 Pa.
(6) The pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of (1) to (5), wherein the storage elastic modulus G ′ at 60 ° C. is 1 × 10 3 to 7 × 10 4 Pa.
(7) The adherend adhered at a temperature equal to or higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent is fixed at a temperature lower than the melting point, and removed at a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent. The pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of (6).
本発明の粘着シートは、テープの形態で使用することもできる。すなわち、本発明にかかる粘着テープは、基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層が前記（１）〜（７）のいずれかに記載の粘着シートからなることを特徴とする。 The pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can also be used in the form of a tape. That is, the pressure-sensitive adhesive tape according to the present invention is provided with a pressure-sensitive adhesive layer on at least one surface of the base film, and the pressure-sensitive adhesive layer is composed of the pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of (1) to (7). Features.
また、本発明の粘着シートを用いれば、精密研磨や研削を精度よく行うことができる。すなわち、本発明にかかる精密研磨方法は、前記（１）〜（７）のいずれかに記載の粘着シートを用いて被研磨物を精密研磨する方法であって、前記粘着シートを被研磨物と台座との間に介在させる工程と、前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研磨物を台座に固定する工程と、固定した前記被研磨物を精密研磨する工程と、前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、精密研磨した前記被研磨物を粘着シートから取り外す工程と、を含むことを特徴とする。 Moreover, if the adhesive sheet of this invention is used, precision grinding | polishing and grinding can be performed accurately. That is, the precision polishing method according to the present invention is a method of precisely polishing an object to be polished using the adhesive sheet according to any one of (1) to (7), wherein the adhesive sheet is used as an object to be polished. A step of interposing between the base and the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature not lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is equal to or higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent. A step of fixing to the pedestal, a step of precisely polishing the fixed object to be polished, and a step of bringing the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet to a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent and removing the object to be polished precisely from the pressure-sensitive adhesive sheet It is characterized by including these.
本発明にかかる研削方法は、前記（１）〜（７）のいずれかに記載の粘着シートを用いて被研削物を研削する方法であって、前記粘着シートを被研削物と台座との間に介在させる工程と、前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研削物を台座に固定する工程と、固定した前記被研削物を研削する工程と、前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、研削した前記被研削物を粘着シートから取り外す工程と、を含むことを特徴とする。 A grinding method according to the present invention is a method for grinding an object to be ground using the adhesive sheet according to any one of (1) to (7), wherein the adhesive sheet is interposed between the object to be ground and a pedestal. And the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature not lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, and the object to be ground is fixed to the base via the pressure-sensitive adhesive sheet. A step of grinding the fixed object to be ground, and a step of setting the temperature of the adhesive sheet to a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent and removing the ground object to be ground from the adhesive sheet. Features.
なお、本発明における前記「シート」は、シート状のみに限定されるものではなく、本発明の効果を損なわない限りにおいて、シート状ないしフィルム状をも含む概念である。
また、本発明における前記「発泡温度」は、発泡剤が膨脹ないし発泡を開始する温度のことを意味する。
The “sheet” in the present invention is not limited to a sheet shape, and is a concept including a sheet shape or a film shape as long as the effects of the present invention are not impaired.
The “foaming temperature” in the present invention means a temperature at which the foaming agent starts to expand or foam.
本発明によれば、被着体を固定する際の固定力および弾性率が高く、それゆえ被着体の固定状態が安定するので精密研磨や研削を精度よく行うことができるという効果がある。しかも、取り外しが容易であるとともに、糊残りが発生し難いという効果もある。 According to the present invention, the fixing force and the elastic modulus when fixing the adherend are high, and therefore the fixing state of the adherend is stabilized, so that there is an effect that precision polishing and grinding can be performed with high accuracy. In addition, it is easy to remove and has an effect that adhesive residue hardly occurs.
＜粘着シート＞
本発明の粘着シートは、側鎖結晶性ポリマーと発泡剤とを含有するものである。前記側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化し、かつ融点以上の温度で相転移して流動性を示すポリマーある。すなわち、側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こすポリマーである。
<Adhesive sheet>
The pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention contains a side chain crystalline polymer and a foaming agent. The side-chain crystalline polymer is a polymer that crystallizes at a temperature lower than the melting point and exhibits fluidity by phase transition at a temperature higher than the melting point. That is, the side chain crystalline polymer is a polymer that reversibly causes a crystalline state and a fluid state in response to a temperature change.
本発明の粘着シートは、側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有し、発泡剤を側鎖結晶性ポリマー１００重量部に対して１０〜１１０重量部、好ましくは２０〜８０重量部、より好ましくは４０〜６０重量部の割合で含有する。これにより、前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度では、流動性を示す側鎖結晶性ポリマーによって粘着シートが粘着力を発現するようになるので、被着体を貼着することが可能になる。 The pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention contains a side chain crystalline polymer as a main component, and the foaming agent is 10 to 110 parts by weight, preferably 20 to 80 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the side chain crystalline polymer. It is contained at a ratio of 40 to 60 parts by weight. As a result, the pressure-sensitive adhesive sheet exhibits adhesive strength by the side-chain crystalline polymer exhibiting fluidity at a temperature higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, so that the adherend can be adhered. become.
また、粘着シートが被着体表面に存在する微細な凹凸や空隙内に隙間なく浸入するようになる。この状態の粘着シートを前記融点未満の温度に冷却すると、側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによってアンカー効果が発現し、それゆえ高い固定力が得られる。しかも、結晶化した側鎖結晶性ポリマーを含む粘着シートは高い弾性率を示すので、被着体の固定状態を安定させることができ、被着体を精度よく加工することができる。 In addition, the pressure-sensitive adhesive sheet enters the fine irregularities and voids existing on the adherend surface without any gaps. When the pressure-sensitive adhesive sheet in this state is cooled to a temperature lower than the melting point, the side chain crystalline polymer is crystallized to develop an anchor effect, and hence a high fixing force can be obtained. In addition, since the pressure-sensitive adhesive sheet containing the crystallized side chain crystalline polymer exhibits a high elastic modulus, the fixed state of the adherend can be stabilized and the adherend can be processed with high accuracy.
さらに、粘着シートを発泡剤の発泡温度以上の温度に加熱すると、側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって粘着シートの凝集力が低下するとともに、発泡剤も膨張ないし発泡するので、前記固定力を十分に低下させることができ、被着体を粘着シートから簡単に取り外すことができる。したがって、本発明の粘着シートは、前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度で貼着した被着体を、前記融点未満の温度で固定し、発泡剤の発泡温度以上の温度で取り外す粘着シートとして使用することができる。 Further, when the pressure-sensitive adhesive sheet is heated to a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent, the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive sheet decreases due to the fluidity of the side chain crystalline polymer, and the foaming agent expands or foams. The force can be sufficiently reduced, and the adherend can be easily detached from the adhesive sheet. Therefore, the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is a pressure-sensitive adhesive that fixes an adherend adhered at a temperature higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent at a temperature lower than the melting point and is removed at a temperature higher than the foaming temperature of the foaming agent. Can be used as a sheet.
一方、発泡剤の含有量が１０重量部より少ないと、発泡剤による固定力の低下が得られ難くなるので、剥離性が低下するとともに、被着体から粘着シートを剥離する際に粘着シートが被着体上に残る、いわゆる糊残りが多くなる。また、発泡剤の含有量が１１０重量部より多いと、相対的に側鎖結晶性ポリマーの割合が低下するので、被着体を固定する際の固定力が低下し、それに伴い加工精度も低下する。 On the other hand, if the content of the foaming agent is less than 10 parts by weight, it is difficult to obtain a reduction in fixing force due to the foaming agent, so that the peelability is lowered and the pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off when peeling the pressure-sensitive adhesive sheet from the adherend. So-called adhesive residue remaining on the adherend increases. Further, if the content of the foaming agent is more than 110 parts by weight, the ratio of the side chain crystalline polymer is relatively reduced, so that the fixing force when fixing the adherend is reduced, and the processing accuracy is also lowered accordingly. To do.
側鎖結晶性ポリマーの前記融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていた重合体の特定部分が無秩序状態となる温度を意味し、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）により１０℃／分の測定条件で測定して得られる値である。 The melting point of the side chain crystalline polymer means a temperature at which a specific portion of the polymer originally aligned in an ordered arrangement becomes disordered by an equilibrium process, and is measured by a differential thermal scanning calorimeter (DSC). It is a value obtained by measurement under measurement conditions of 10 ° C./min.
前記融点は、その下限値が３０℃以上である。これにより、室温（２３℃）では側鎖結晶性ポリマーが結晶化しているので、粘着シートは粘着力を発現していない状態にある。したがって、被着体に対する粘着シートの位置決めを容易に行うことができ、作業性が向上する。また、前記融点の上限値は、発泡剤を膨張ないし発泡させることなく被着体を貼着して固定する上で、発泡剤の発泡温度未満の温度である。前記融点の好ましい範囲としては、３０〜７０℃、より好ましくは４０〜６０℃である。前記融点を特定の値とするには、側鎖結晶性ポリマーの組成等を変えることによって任意に行うことができる。 The lower limit of the melting point is 30 ° C. or higher. Thereby, since the side chain crystalline polymer is crystallized at room temperature (23 ° C.), the pressure-sensitive adhesive sheet is in a state where it does not express adhesive force. Therefore, the adhesive sheet can be easily positioned with respect to the adherend, and workability is improved. The upper limit of the melting point is a temperature lower than the foaming temperature of the foaming agent when the adherend is stuck and fixed without expanding or foaming the foaming agent. A preferable range of the melting point is 30 to 70 ° C, more preferably 40 to 60 ° C. The melting point can be arbitrarily set by changing the composition of the side chain crystalline polymer.
前記側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート３０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部と、を重合させて得られる重合体等が挙げられる。 As the composition of the side chain crystalline polymer, for example, 30 to 100 parts by weight of a (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms and (meth) acrylate 0 having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. Examples include a polymer obtained by polymerizing ˜70 parts by weight and 0-10 parts by weight of a polar monomer.
前記炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばセチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等の炭素数１６〜２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられ、前記炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられ、前記極性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等のカルボキシル基含有エチレン不飽和単量体；ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有するエチレン不飽和単量体等が挙げられ、これらは１種または２種以上を混合して用いてもよい。 Examples of the (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms include 16 to 16 carbon atoms such as cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, eicosyl (meth) acrylate, and behenyl (meth) acrylate. (Meth) acrylate having 22 linear alkyl groups can be mentioned. Examples of the (meth) acrylate having 1 to 6 carbon atoms include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) ) Acrylate, hexyl (meth) acrylate, etc., and examples of the polar monomer include carboxyl group-containing ethylenically unsaturated monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid; Ethyl (meth) acrylate, hydroxy Propyl (meth) acrylate, ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group such as hydroxymethyl (meth) acrylate and the like, which may be used alone or in combination.
側鎖結晶性ポリマーの好ましい組成としては、例えばベヘニルアクリレート３９〜５０重量部と、ブチルアクリレート４０〜６０重量部と、ヒドロキシエチルアクリレート１〜１０重量部と、を重合させて得られる共重合体等が挙げられる。特に、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしてブチルアクリレートを採用すると、固定力が向上する傾向にあるので好ましい。 A preferred composition of the side chain crystalline polymer is, for example, a copolymer obtained by polymerizing 39 to 50 parts by weight of behenyl acrylate, 40 to 60 parts by weight of butyl acrylate, and 1 to 10 parts by weight of hydroxyethyl acrylate. Is mentioned. In particular, it is preferable to employ butyl acrylate as the (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms because the fixing force tends to be improved.
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。例えば溶液重合法を採用する場合には、前記で例示したモノマーを溶剤に混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌することによって前記モノマーを重合させることができる。 The polymerization method is not particularly limited, and for example, a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method and the like can be employed. For example, when the solution polymerization method is employed, the monomer can be polymerized by mixing the monomer exemplified above in a solvent and stirring at about 40 to 90 ° C. for about 2 to 10 hours.
側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は１０，０００〜７００，０００、好ましくは１０，０００〜６００，０００である。前記重量平均分子量が１０，０００より小さいと、粘着シートの粘着力が強くなる傾向にあり、剥離性が低下するとともに、糊残りが多くなる。また、前記重量平均分子量が７００，０００より大きいと、側鎖結晶性ポリマーの流動性が低下するので、アンカー効果が発現し難くなり、被着体を加工する際の固定力および加工精度が低下する。前記重量平均分子量は、側鎖結晶性ポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）で測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。 The weight average molecular weight of the side chain crystalline polymer is 10,000 to 700,000, preferably 10,000 to 600,000. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive sheet tends to be strong, the peelability is lowered, and the adhesive residue increases. On the other hand, if the weight average molecular weight is larger than 700,000, the fluidity of the side chain crystalline polymer is lowered, so that the anchor effect is hardly exhibited, and the fixing force and the processing accuracy when processing the adherend are reduced. To do. The weight average molecular weight is a value obtained by measuring a side chain crystalline polymer by gel permeation chromatography (GPC) and converting the obtained measurement value to polystyrene.
一方、前記発泡剤としては、特に限定されるものではなく、通常の化学発泡剤、物理発泡剤がいずれも採用可能である。化学発泡剤には、熱分解型および反応型の有機系発泡剤ならびに無機系発泡剤が包含される。 On the other hand, the foaming agent is not particularly limited, and any of ordinary chemical foaming agents and physical foaming agents can be employed. Chemical foaming agents include pyrolytic and reactive organic foaming agents and inorganic foaming agents.
熱分解型の有機系発泡剤としては、例えば各種のアゾ化合物（アゾジカルボンアミド等）、ニトロソ化合物（Ｎ，Ｎ’−ジニトロソペンタメチレンテトラミン等）、ヒドラジン誘導体[４，４’−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）等]、セミカルバジド化合物（ヒドラゾジカルボンアミド等）、アジド化合物、テトラゾール化合物等が挙げられ、反応型の有機系発泡剤としては、例えばイソシアネート化合物等が挙げられる。 Examples of the pyrolytic organic foaming agent include various azo compounds (such as azodicarbonamide), nitroso compounds (such as N, N′-dinitrosopentamethylenetetramine), and hydrazine derivatives [4,4′-oxybis (benzene). Sulfonyl hydrazide) and the like], semicarbazide compounds (hydrazodicarbonamide and the like), azide compounds, tetrazole compounds and the like. Examples of the reactive organic foaming agent include isocyanate compounds.
熱分解型の無機系発泡剤としては、例えば重炭酸塩・炭酸塩（炭酸水素ナトリウム等）、亜硝酸塩・水素化物等が挙げられ、反応型の無機系発泡剤としては、例えば重炭酸ナトリウムと酸との組み合わせ、過酸化水素とイースト菌との組み合わせ、亜鉛粉末と酸との組み合わせ等が挙げられる。 Examples of the thermal decomposition type inorganic foaming agent include bicarbonate / carbonate (sodium bicarbonate, etc.), nitrite / hydride, etc. Examples of the reaction type inorganic foaming agent include sodium bicarbonate and the like. The combination with an acid, the combination of hydrogen peroxide and yeast, the combination of zinc powder and an acid, etc. are mentioned.
物理発泡剤としては、例えばブタン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ジクロロエタン、ジクロロメタン等の塩化炭素水素類、フロン等のフッ化塩化炭化水素類等の有機系物理発泡剤；空気、炭酸ガス、窒素ガス等の無機系物理発泡剤等が挙げられる。 Examples of the physical foaming agent include organic physical foaming agents such as aliphatic hydrocarbons such as butane, pentane and hexane, chlorohydrocarbons such as dichloroethane and dichloromethane, and fluorochlorohydrocarbons such as chlorofluorocarbons; air, carbonic acid Examples thereof include inorganic physical foaming agents such as gas and nitrogen gas.
また、他の発泡剤として、マイクロカプセル化された熱膨張性微粒子（いわゆるマイクロバルーン発泡剤）を採用することができる。マイクロバルーン発泡剤とは、熱可塑性または熱硬化性樹脂で作られたポリマー殻の内部に、固体、液体または気体からなる加熱膨張性物質を封入したものである。マイクロバルーン発泡剤は加熱によって体積が４０倍以上も膨張し、独立気泡形式の発泡体が得られる。したがって、マイクロバルーン発泡剤は、通常の発泡剤に比べて、発泡倍率がかなり大きくなるという特性を有する。 As other foaming agents, microencapsulated thermally expandable fine particles (so-called microballoon foaming agents) can be employed. The microballoon foaming agent is obtained by encapsulating a heat-expandable substance made of a solid, liquid, or gas inside a polymer shell made of a thermoplastic or thermosetting resin. The microballoon foaming agent expands 40 times or more in volume by heating, and a foam in the form of closed cells is obtained. Therefore, the microballoon foaming agent has a characteristic that the expansion ratio is considerably larger than that of a normal foaming agent.
マイクロバルーン発泡剤の平均粒径は、５〜５０μｍ程度である。前記平均粒径は、粒度分布測定装置で測定して得られた値である。マイクロバルーン発泡剤は、市販のものを用いることができ、例えばＥＸＰＡＮＣＥＬ社製の「５５１ＤＵ４０」等が好適である。 The average particle size of the microballoon foaming agent is about 5 to 50 μm. The average particle diameter is a value obtained by measuring with a particle size distribution measuring apparatus. As the microballoon foaming agent, a commercially available product can be used. For example, “551DU40” manufactured by EXPANCEL is suitable.
発泡剤の発泡温度としては、特に限定されるものではないが、通常１８０℃以下であるのがよく、塗工乾燥時に発泡するのを抑制する上で、９０℃以上の温度であるのが好ましい。特に、９０℃で膨脹ないし発泡を開始し、１２０℃で実質的に完全に発泡するのが好ましい。 The foaming temperature of the foaming agent is not particularly limited, but is usually 180 ° C. or lower, and preferably 90 ° C. or higher in order to suppress foaming during coating drying. . In particular, it is preferable that expansion or foaming is started at 90 ° C. and foaming is substantially completely performed at 120 ° C.
上記した側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤を含有する本発明の粘着シートは、その厚さが１０〜７０μｍ、好ましくは１０〜５０μｍである。粘着シートの厚さが１０μｍより薄いと、粘着シート表面に発泡剤由来の凹凸が発生するか、またはアンカー効果が発現し難くなるので、固定力が低下する。また、粘着シートの厚さが７０μｍより大きいと、粘着シートの厚さにバラツキが生じるので、均一な固定力等が得られ難くなるとともに、後述する塗布液中の溶剤が揮発し難くなるので、粘着シートに残留する溶剤量が多くなる。 The pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention containing the above-mentioned side chain crystalline polymer and foaming agent has a thickness of 10 to 70 μm, preferably 10 to 50 μm. When the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet is less than 10 μm, the surface of the pressure-sensitive adhesive sheet is uneven due to the foaming agent, or the anchor effect is hardly exhibited, and the fixing force is reduced. Further, if the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet is larger than 70 μm, the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet varies, so that it is difficult to obtain a uniform fixing force and the like, and the solvent in the coating liquid described later is difficult to volatilize. The amount of solvent remaining on the adhesive sheet increases.
また、前記粘着シートは、前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の２３℃における垂直剥離強度が、１０〜５００Ｎ／ｃｍ2であるのが好ましく、３０〜５００Ｎ／ｃｍ2であるのがより好ましく、１００〜４００Ｎ／ｃｍ2であるのがさらに好ましく、１５０〜４００Ｎ／ｃｍ2であるのがさらに好ましい。これにより、該粘着テープは室温で高い固定力を示すことができるので、室温で被着体を確実に固定することができる。 The pressure-sensitive adhesive sheet preferably has a vertical peel strength at 23 ° C. of 10 to 500 N / cm 2 after passing through the temperature not lower than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, preferably 30 to 500 N / cm 2 . More preferably, it is more preferably 100 to 400 N / cm 2 , and even more preferably 150 to 400 N / cm 2 . Thereby, since this adhesive tape can show high fixing force at room temperature, a to-be-adhered body can be fixed reliably at room temperature.
一方、前記垂直剥離強度が１０Ｎ／ｃｍ2未満であると、被着体を固定できないおそれがあり、５００Ｎ／ｃｍ2を超えると、固定力を十分に低下させることが困難になり、被着体を取り外すことができないおそれがある。前記垂直剥離強度は、例えば側鎖結晶性ポリマーの組成や発泡剤の割合等を変えることによって任意に調整することができる。前記垂直剥離強度は、後述する実施例に記載の測定方法で測定して得られる値である。 On the other hand, if the vertical peel strength is less than 10 N / cm 2 , the adherend may not be fixed. If it exceeds 500 N / cm 2 , it is difficult to sufficiently reduce the fixing force. May not be removed. The vertical peel strength can be arbitrarily adjusted, for example, by changing the composition of the side chain crystalline polymer, the ratio of the foaming agent, and the like. The vertical peel strength is a value obtained by measurement by a measurement method described in Examples described later.
前記粘着シートは、通常、２３℃における貯蔵弾性率Ｇ’が４×１０6〜５×１０7Ｐａである。これにより、被着体の固定状態を安定させることができ、被着体を精度よく加工することができる。 The pressure-sensitive adhesive sheet usually has a storage elastic modulus G ′ at 23 ° C. of 4 × 10 6 to 5 × 10 7 Pa. Thereby, the fixed state of the adherend can be stabilized, and the adherend can be processed with high accuracy.
また、前記粘着シートは、６０℃における貯蔵弾性率Ｇ’が１×１０3〜７×１０4Ｐａであるのが好ましく、１×１０3〜５×１０4Ｐａであるのがより好ましい。６０℃における貯蔵弾性率Ｇ’があまり小さいと、粘着シートの粘着力が強くなる傾向にあるので、剥離性が低下するとともに、糊残りが多くなるおそれがある。また、６０℃における貯蔵弾性率Ｇ’があまり大きいと、側鎖結晶性ポリマーの流動性が低下する傾向にある。したがって、アンカー効果が発現し難くなるので、固定力が低下するおそれがある。また、側鎖結晶性ポリマーの流動性が低下することに伴い、剥離性も低下するおそれがある。 Further, the adhesive sheet is preferably the storage modulus G 'is 1 × 10 3 ~7 × 10 4 Pa at 60 ° C., and more preferably 1 × 10 3 ~5 × 10 4 Pa. If the storage elastic modulus G ′ at 60 ° C. is too small, the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive sheet tends to increase, so that the peelability is lowered and the adhesive residue may increase. Moreover, when the storage elastic modulus G ′ at 60 ° C. is too large, the fluidity of the side chain crystalline polymer tends to be lowered. Therefore, since the anchor effect is difficult to be exhibited, the fixing force may be reduced. Moreover, there exists a possibility that peelability may also fall with the fluidity | liquidity of a side chain crystalline polymer falling.
前記各温度における貯蔵弾性率Ｇ’は、例えば側鎖結晶性ポリマーの組成等を変えることによって任意に調整することができる。各温度における貯蔵弾性率Ｇ’は、後述する実施例に記載の測定方法で測定して得られる値である。 The storage elastic modulus G ′ at each temperature can be arbitrarily adjusted, for example, by changing the composition of the side chain crystalline polymer. The storage elastic modulus G ′ at each temperature is a value obtained by measurement using a measurement method described in Examples described later.
なお、前記粘着シートの少なくとも片面には、離型処理を施したフィルム、すなわち離型フィルムを設けるのが好ましい。前記離型フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート等からなるフィルム表面に、シリコンやフッ素等による離型処理を施したものが挙げられる。粘着シートの少なくとも片面に離型フィルムを設けるには、例えば側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤を溶剤に加えた塗布液を、離型フィルム上に塗布して乾燥させればよい。 In addition, it is preferable to provide a release-treated film, that is, a release film, on at least one side of the pressure-sensitive adhesive sheet. Examples of the release film include a film surface made of polyethylene terephthalate or the like and subjected to release treatment with silicon, fluorine, or the like. In order to provide a release film on at least one surface of the pressure-sensitive adhesive sheet, for example, a coating solution obtained by adding a side chain crystalline polymer and a foaming agent to a solvent may be applied on the release film and dried.
前記塗布液には、例えば架橋剤、タッキファイヤー、可塑剤、老化防止剤、紫外線吸収剤等の各種の添加剤を添加することができる。前記塗布は、一般的にナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター等により行うことができる。また、塗工厚みや塗布液の粘度によっては、グラビアコーター、ロッドコーター等により行うこともできる。なお、粘着シートは、前記塗布の他、例えば押し出し成形やカレンダー加工等によりシート状に成形することもできる。 Various additives such as a crosslinking agent, a tackifier, a plasticizer, an anti-aging agent, and an ultraviolet absorber can be added to the coating solution. The application can be generally performed by a knife coater, a roll coater, a calendar coater, a comma coater or the like. Further, depending on the coating thickness and the viscosity of the coating solution, a gravure coater, a rod coater or the like can be used. In addition to the application, the pressure-sensitive adhesive sheet can be formed into a sheet by, for example, extrusion molding or calendering.
＜粘着テープ＞
次に、本発明にかかる粘着テープについて説明する。本発明にかかる粘着テープは、基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層が前記した本発明の粘着シートからなる。したがって、本発明の粘着テープは、前記した粘着シートと同様の効果を奏するとともに、基材フィルムを含む分、粘着シートよりも剛性が高く、取り扱い性に優れるという効果を奏する。
<Adhesive tape>
Next, the adhesive tape concerning this invention is demonstrated. The pressure-sensitive adhesive tape according to the present invention comprises a pressure-sensitive adhesive layer on at least one surface of a base film, and the pressure-sensitive adhesive layer is composed of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention described above. Therefore, the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention has the same effects as the pressure-sensitive adhesive sheet described above, and also has the effect that the rigidity is higher than that of the pressure-sensitive adhesive sheet and the handleability is excellent because the base film is included.
前記基材フィルムとしては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムが挙げられる。 Examples of the base film include synthetic resins such as polyethylene, polyethylene terephthalate, polypropylene, polyester, polyamide, polyimide, polycarbonate, ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene ethyl acrylate copolymer, ethylene polypropylene copolymer, and polyvinyl chloride. A film is mentioned.
前記基材フィルムは、単層体または複層体からなるものであってもよく、厚さは、通常、２５〜２５０μｍ程度である。基材フィルムの表面には、粘着剤層に対する密着性を向上させるため、例えばコロナ放電処理、プラズマ処理、ブラスト処理、ケミカルエッチング処理、プライマー処理等の表面処理を施すことができる。 The said base film may consist of a single layer body or a multilayer body, and thickness is about 25-250 micrometers normally. The surface of the base film can be subjected to surface treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, blast treatment, chemical etching treatment, and primer treatment in order to improve the adhesion to the pressure-sensitive adhesive layer.
基材フィルムの片面に粘着剤層を設けるには、前記した側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤を溶剤に加えた塗布液を、基材フィルムの片面に塗布して乾燥させればよい。粘着剤層の厚さは、前記した粘着シートと同様の１０〜７０μｍであり、好ましくは１０〜５０μｍである。 In order to provide the pressure-sensitive adhesive layer on one side of the base film, a coating solution obtained by adding the aforementioned side chain crystalline polymer and foaming agent to a solvent may be applied to one side of the base film and dried. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 10 to 70 μm, preferably 10 to 50 μm, similar to the above-described pressure-sensitive adhesive sheet.
一方、前記粘着テープは、基材フィルムの他面にも粘着剤層を設けて両面粘着テープの形態で使用することもできる。他面の粘着剤層は、特に限定されるものではなく、例えば片面の粘着剤層と同様に、本発明の粘着シートからなる粘着剤層であってもよい。この場合、片面の粘着剤層と他面の粘着剤層とは、その組成や厚さが互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。その他の構成は、前記した粘着シートと同様である。 Meanwhile, the pressure-sensitive adhesive tape may be used in the form of a double-sided pressure-sensitive adhesive tape by providing a pressure-sensitive adhesive layer on the other surface of the base film. The pressure-sensitive adhesive layer on the other surface is not particularly limited, and may be a pressure-sensitive adhesive layer made of the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, for example, similarly to the pressure-sensitive adhesive layer on one side. In this case, the pressure-sensitive adhesive layer on one side and the pressure-sensitive adhesive layer on the other side may be the same or different in composition and thickness. Other configurations are the same as those of the above-described pressure-sensitive adhesive sheet.
＜精密研磨方法・研削方法＞
次に、本発明にかかる精密研磨方法および研削方法について説明する。本発明にかかる精密研磨方法は、前記した本発明の粘着シートを用いて被研磨物を精密研磨する方法であり、以下の（i）〜（iv）の工程を備える。
（i）前記粘着シートを被研磨物と台座との間に介在させる工程。
（ii）前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研磨物を台座に固定する工程。
（iii）固定した前記被研磨物を精密研磨する工程。
（iv）前記粘着シートの温度を発泡剤の発泡温度以上の温度にし、精密研磨した前記被研磨物を粘着シートから取り外す工程。
<Precision polishing method and grinding method>
Next, the precision polishing method and the grinding method according to the present invention will be described. The precision polishing method according to the present invention is a method for precisely polishing an object to be polished using the above-described pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, and includes the following steps (i) to (iv).
(I) A step of interposing the adhesive sheet between an object to be polished and a pedestal.
(Ii) A step of setting the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet to a temperature not lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, and fixing the object to be polished to the base via the pressure-sensitive adhesive sheet.
(Iii) A step of precisely polishing the fixed object to be polished.
(Iv) The process of making the temperature of the said adhesive sheet the temperature more than the foaming temperature of a foaming agent, and removing the said to-be-polished material which carried out precision grinding | polishing from an adhesive sheet.
また、本発明にかかる研削方法は、前記した本発明の粘着シートを用いて被研削物を研削する方法であり、以下の（I）〜（IV）の工程を備える。
（I）前記粘着シートを被研削物と台座との間に介在させる工程。
（II）前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研削物を台座に固定する工程。
（III）固定した前記被研削物を研削する工程。
（IV）前記粘着シートの温度を発泡剤の発泡温度以上の温度にし、研削した前記被研削物を粘着シートから取り外す工程。
Moreover, the grinding method concerning this invention is a method of grinding a to-be-ground material using the above-mentioned adhesive sheet of this invention, and is equipped with the following processes (I)-(IV).
(I) A step of interposing the adhesive sheet between an object to be ground and a pedestal.
(II) A step of setting the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet to a temperature not lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, and fixing the object to be ground to the pedestal via the pressure-sensitive adhesive sheet.
(III) A step of grinding the fixed object to be ground.
(IV) The temperature of the said adhesive sheet is made into the temperature more than the foaming temperature of a foaming agent, and the process removes the ground said to-be-ground material from an adhesive sheet.
本発明にかかる精密研磨方法および研削方法では、いずれも前記した粘着シートを用いるので、前記（i），（I）の工程を室温で行えば、粘着シートは前記した理由から粘着力を発現していない状態にあり、それゆえ被研磨物および被研削物に対する粘着シートの位置決めを容易に行うことができる。 In the precision polishing method and the grinding method according to the present invention, since the above-mentioned pressure-sensitive adhesive sheet is used, if the steps (i) and (I) are performed at room temperature, the pressure-sensitive adhesive sheet exhibits adhesive force for the reasons described above. Therefore, the adhesive sheet can be easily positioned with respect to the object to be polished and the object to be ground.
また、前記（ii），（II）の工程では、被研磨物および被研削物を前記した理由から安定して台座に固定することができる。したがって、前記（iii）の工程では、マイクロメートルスケールの精密研磨を精度よく行うことができる。また、前記（III）の工程では、被研削物を所望の形状に研削することができる。 In the steps (ii) and (II), the object to be polished and the object to be ground can be stably fixed to the pedestal for the reasons described above. Therefore, in the process (iii), micrometer-scale precision polishing can be performed with high accuracy. In the step (III), the workpiece can be ground into a desired shape.
そして、前記（iv），（IV）の工程では、固定力を前記した理由から十分に低下させることができるので、被研磨物および被研削物の取り外しを容易に行うことができる。なお、被研磨物および被研削物としては、所望のものを採用することができ、特に限定されないが、サファイアガラス等が好適である。 In the steps (iv) and (IV), the fixing force can be sufficiently reduced for the reason described above, so that the object to be polished and the object to be ground can be easily removed. In addition, as a to-be-polished object and a to-be-ground object, a desired thing can be employ | adopted, Although it does not specifically limit, A sapphire glass etc. are suitable.
以下、合成例および実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の合成例および実施例のみに限定されるものではない。なお、以下の説明で「部」は重量部を意味する。 EXAMPLES Hereinafter, although a synthesis example and an Example are given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited only to the following synthesis examples and Examples. In the following description, “part” means part by weight.
（合成例１）
ベヘニルアクリレート（日油社製）を４５部、ブチルアクリレート（日本触媒社製）を５０部、ヒドロキシエチルアクリレート（日本触媒社製）を５部、およびパーブチルＮＤ（日油社製）を０．５部の割合で、それぞれ酢酸エチル：ｎ−ヘプタン＝７：３（重量比）の混合溶媒２３０部に加えて混合し、６０℃で５時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は４５℃、重量平均分子量は５５０，０００であった。
(Synthesis Example 1)
45 parts of behenyl acrylate (manufactured by NOF Corporation), 50 parts of butyl acrylate (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 5 parts of hydroxyethyl acrylate (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), and 0.5 part of perbutyl ND (manufactured by NOF Corporation) In a proportion of parts, the mixture was added to 230 parts of a mixed solvent of ethyl acetate: n-heptane = 7: 3 (weight ratio) and mixed, and the mixture was stirred at 60 ° C. for 5 hours to polymerize these monomers. The resulting copolymer had a melting point of 45 ° C. and a weight average molecular weight of 550,000.
（合成例２）
さらにドデシルメルカプタン（日油社製）を３部加えた以外は前記合成例１と同様にして前記モノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は４５℃、重量平均分子量は１５，０００であった。
(Synthesis Example 2)
Further, the monomer was polymerized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 3 parts of dodecyl mercaptan (manufactured by NOF Corporation) was added. The resulting copolymer had a melting point of 45 ° C. and a weight average molecular weight of 15,000.
（合成例３）
ベヘニルアクリレート（日油社製）を３５部、ステアリルアクリレートを１０部、メチルアクリレート（日本触媒社製）を５０部、アクリル酸を５部、およびパーブチルＮＤ（日油社製）を０．５部の割合で、それぞれ酢酸エチル：ｎ−ヘプタン＝７：３（重量比）の混合溶媒２３０部に加えて混合し、６０℃で５時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は４５℃、重量平均分子量は５５０，０００であった。
(Synthesis Example 3)
35 parts of behenyl acrylate (manufactured by NOF Corporation), 10 parts of stearyl acrylate, 50 parts of methyl acrylate (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 5 parts of acrylic acid, and 0.5 part of perbutyl ND (manufactured by NOF Corporation) In this ratio, the mixture was added to 230 parts of a mixed solvent of ethyl acetate: n-heptane = 7: 3 (weight ratio) and mixed, and the mixture was stirred at 60 ° C. for 5 hours to polymerize these monomers. The resulting copolymer had a melting point of 45 ° C. and a weight average molecular weight of 550,000.
（比較合成例１）
前記混合溶媒の割合を２３０部に代えて１３０部にした以外は、前記合成例１と同様にして前記モノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は４５℃、重量平均分子量は８００，０００であった。
(Comparative Synthesis Example 1)
The monomer was polymerized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the ratio of the mixed solvent was changed to 130 parts instead of 230 parts. The resulting copolymer had a melting point of 45 ° C. and a weight average molecular weight of 800,000.
（比較合成例２）
ベヘニルアクリレート（日油社製）を４５部、ブチルアクリレート（日本触媒社製）を５０部、ヒドロキシエチルアクリレート（日本触媒社製）を５部、ドデシルメルカプタン（日油社製）を６部、ドデシルメルカプタン（日油社製）を６部、およびパーヘキシルＰＶ（日油社製）を１部の割合で、それぞれトルエン１００部に加えて混合し、８０℃で５時間撹拌して、これらのモノマーを重合させた。得られた共重合体の融点は４５℃、重量平均分子量は７，９００であった。
(Comparative Synthesis Example 2)
45 parts of behenyl acrylate (manufactured by NOF Corporation), 50 parts of butyl acrylate (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 5 parts of hydroxyethyl acrylate (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 6 parts of dodecyl mercaptan (manufactured by NOF Corporation), dodecyl 6 parts of mercaptan (manufactured by NOF Corporation) and 1 part of perhexyl PV (manufactured by NOF Corporation) were added to 100 parts of toluene, mixed, and stirred at 80 ° C. for 5 hours. Polymerized. The resulting copolymer had a melting point of 45 ° C. and a weight average molecular weight of 7,900.
前記合成例１〜３および比較合成例１，２の各共重合体は、いずれも側鎖結晶性ポリマーである。これらの各共重合体を、表１に示す。なお、前記重量平均分子量は、共重合体をＧＰＣで測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。前記融点は、ＤＳＣを用いて１０℃／分の測定条件で測定した値である。 Each of the copolymers of Synthesis Examples 1 to 3 and Comparative Synthesis Examples 1 and 2 is a side chain crystalline polymer. Each of these copolymers is shown in Table 1. In addition, the said weight average molecular weight is a value which measured the copolymer by GPC and converted the obtained measured value into polystyrene. The said melting | fusing point is the value measured on 10 degree-C / min measurement conditions using DSC.
［実施例１〜３および比較例１〜５］
＜粘着シートの作製＞
まず、前記合成例１〜３および比較合成例１，２で得られた各共重合体を、酢酸エチルを用いて固形分が３０％になるよう調整して各共重合体溶液を得た。ついで、各共重合体溶液に発泡剤を表２に示す割合で添加した。なお、発泡剤としては、発泡開始温度（発泡温度）９３〜９８℃、平均粒径１０〜１６μｍのマイクロカプセル化された熱膨張性微粒子であるＥＸＰＡＮＣＥＬ社製の「５５１ＤＵ４０」を用いた。また、表２中、発泡剤の添加量は、固形分換算で共重合体（側鎖結晶性ポリマー）１００重量部に対する値を示す。
[Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5]
<Production of adhesive sheet>
First, each copolymer solution obtained in Synthesis Examples 1 to 3 and Comparative Synthesis Examples 1 and 2 was adjusted so that the solid content was 30% using ethyl acetate to obtain each copolymer solution. Subsequently, a foaming agent was added to each copolymer solution at a ratio shown in Table 2. As the foaming agent, “551DU40” manufactured by EXPANCEL, which is a microencapsulated thermally expandable fine particle having a foaming start temperature (foaming temperature) of 93 to 98 ° C. and an average particle diameter of 10 to 16 μm, was used. Moreover, in Table 2, the addition amount of a foaming agent shows the value with respect to 100 weight part of copolymers (side chain crystalline polymer) in conversion of solid content.
ついで、発泡剤を含有した前記共重合体溶液を、シリコンによる離型処理を施した厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（離型フィルム）の片面に塗布し、８０℃の雰囲気温度で乾燥させ、表２に示す厚さを有する各粘着シートを得た（表２中の実施例１〜３および比較例１〜５）。 Next, the copolymer solution containing a foaming agent was applied to one side of a 100 μm-thick polyethylene terephthalate film (release film) that had been subjected to a release treatment with silicon, and dried at an ambient temperature of 80 ° C. 2 were obtained (Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5 in Table 2).
＜評価＞
上記で得た各粘着シートについて、貯蔵弾性率Ｇ’、垂直剥離強度、剥離性、糊残り、および研磨精度を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、結果を表２に併せて示す。
<Evaluation>
About each adhesive sheet obtained above, storage elastic modulus G ', vertical peel strength, peelability, adhesive residue, and grinding | polishing precision were evaluated. Each evaluation method is shown below, and the results are also shown in Table 2.
（貯蔵弾性率Ｇ’）
セイコーインスツルメンツ社（Seiko Instruments Inc.）製の動的粘弾性測定装置「ＤＭＳ ６１００」を用いて、１０Ｈｚ、５℃／分、０〜１００℃の昇温過程において、２３℃および６０℃における粘着シートの貯蔵弾性率Ｇ’を測定した。
(Storage modulus G ')
Using a dynamic viscoelasticity measuring device “DMS 6100” manufactured by Seiko Instruments Inc., a pressure sensitive adhesive sheet at 23 ° C. and 60 ° C. in a temperature rising process of 10 Hz, 5 ° C./min, 0 ° C. to 100 ° C. The storage elastic modulus G ′ of was measured.
（垂直剥離強度）
融点以上かつ発泡剤の発泡温度未満の温度を経た後の２３℃における垂直剥離強度を測定した。具体的には、まず、雰囲気温度２３℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるステンレス鋼（ＳＵＳ）製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を６０℃に昇温した後、粘着シート表面を、縦１０ｍｍ×横１０ｍｍ×厚さ１０ｍｍのステンレス鋼製のプローブで２ｋｇ／ｃｍ2の圧力をかけて１０秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、プローブを粘着シート表面に貼着した状態で２０分間放置した後、雰囲気温度を６０℃から２３℃に降温して２０分間放置した。そして、３００ｍｍ／分の速度でプローブを粘着シート表面から垂直方向に剥離した際の強度を測定した。
(Vertical peel strength)
The vertical peel strength at 23 ° C. after passing through a temperature higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent was measured. Specifically, first, at an atmospheric temperature of 23 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet peeled from the release film was placed on a stainless steel (SUS) plate serving as a base plate. Subsequently, after raising the ambient temperature to 60 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet surface was pressure-bonded for 10 seconds with a pressure of 2 kg / cm 2 with a stainless steel probe having a length of 10 mm × width of 10 mm × thickness of 10 mm. Next, the pressure was released, and the probe was left on the pressure-sensitive adhesive sheet surface for 20 minutes, and then the ambient temperature was lowered from 60 ° C. to 23 ° C. and left for 20 minutes. And the intensity | strength at the time of peeling a probe to the orthogonal | vertical direction from the adhesive sheet surface at the speed | rate of 300 mm / min was measured.
（剥離性）
まず、雰囲気温度２３℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるステンレス鋼製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を６０℃に昇温した後、粘着シート表面を、直径１００ｍｍ×厚さ５００μｍの円形のガラス板で２ｋｇ／ｃｍ2の圧力をかけて１０秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、ガラス板を粘着シート表面に貼着した状態で２０分間放置した後、雰囲気温度を６０℃から２３℃に降温して２０分間放置した。
(Peelability)
First, at an atmospheric temperature of 23 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet peeled from the release film was placed on a stainless steel plate serving as a base plate. Next, after raising the ambient temperature to 60 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet surface was pressure-bonded for 10 seconds with a pressure of 2 kg / cm 2 using a circular glass plate having a diameter of 100 mm and a thickness of 500 μm. Subsequently, the pressure was released, and the glass plate was left on the pressure-sensitive adhesive sheet surface for 20 minutes, and then the ambient temperature was lowered from 60 ° C. to 23 ° C. and left for 20 minutes.
そして、雰囲気温度を２３℃から１２０℃まで昇温し、当該雰囲気温度においてガラス板の自重のみでガラス板が粘着シート表面から剥離するか否かを目視観察した。なお、前記１２０℃は、側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度であり、かつ発泡剤が実質的に完全に発泡する温度である。また、判定基準は以下のものを用いた。
○：１２０℃昇温後１分以内にガラス板の自重のみでガラス板が粘着シート表面から剥離した。
×：１２０℃昇温後５分を超えてもガラス板の自重のみでガラス板が粘着シート表面から剥離しなかった。
And the atmospheric temperature was raised from 23 degreeC to 120 degreeC, and it visually observed whether the glass plate peeled from the adhesive sheet surface only by the dead weight of the glass plate in the said atmospheric temperature. The 120 ° C. is a temperature equal to or higher than the melting point of the side chain crystalline polymer, and is a temperature at which the foaming agent is substantially completely foamed. In addition, the following criteria were used.
○: The glass plate was peeled from the surface of the adhesive sheet only by its own weight within 1 minute after the temperature was raised to 120 ° C.
X: Even if it exceeded 5 minutes after 120 degreeC temperature rising, the glass plate did not peel from the adhesive sheet surface only by the dead weight of the glass plate.
（糊残り）
前記剥離性の評価において、剥離後のガラス板表面を電子顕微鏡（倍率：１００倍）にて観察し、糊残りの有無を確認した。なお、剥離性の評価が×のものについては、手でガラス板を粘着シート表面から剥離することにより評価した。また、判定基準は以下のものを用いた。
○：糊残りがない。
×：糊残りがある。
(Adhesive residue)
In the evaluation of the peelability, the surface of the peeled glass plate was observed with an electron microscope (magnification: 100 times), and the presence or absence of adhesive residue was confirmed. In addition, about the thing of peelability evaluation x, it evaluated by peeling a glass plate from the adhesive sheet surface by hand. In addition, the following criteria were used.
○: There is no adhesive residue.
X: There is adhesive residue.
（研磨精度）
まず、雰囲気温度２３℃において、離型フィルムから剥離した粘着シートを、台板となるセラミック製のプレート上に載置した。ついで、雰囲気温度を６０℃に昇温した後、粘着シート表面を、直径１００ｍｍ×厚さ５００μｍの円形のサファイアガラス板で２ｋｇ／ｃｍ2の圧力をかけて１０秒間圧着した。ついで、圧力を解除し、サファイアガラス板を粘着シート表面に貼着した状態で２０分間放置した後、雰囲気温度を６０℃から２３℃に降温して２０分間放置した。
(Polishing accuracy)
First, at an atmospheric temperature of 23 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet peeled from the release film was placed on a ceramic plate serving as a base plate. Next, after raising the ambient temperature to 60 ° C., the pressure-sensitive adhesive sheet surface was pressure-bonded for 10 seconds with a circular sapphire glass plate having a diameter of 100 mm × thickness of 500 μm and a pressure of 2 kg / cm 2 . Next, the pressure was released, and the sapphire glass plate was left on the pressure-sensitive adhesive sheet surface for 20 minutes, and then the ambient temperature was lowered from 60 ° C. to 23 ° C. and left for 20 minutes.
その後、ウェハーシクネスゲージによりサファイアガラス板の研磨を行った。サファイアガラス板の厚さが５００μｍから２５０μｍになるまで研磨をした後、雰囲気温度を２３℃から１２０℃まで昇温し、サファイアガラス板を粘着シート表面から剥離した。そして、剥離したサファイアガラス板の厚さをウェハーシクネスゲージを用いて５点測定し、そのバラツキを測定した。なお、判定基準は以下のものを用いた。
○：厚さのバラツキが３μｍ以内である。
×：厚さのバラツキが３μｍより大きい。
Thereafter, the sapphire glass plate was polished with a wafer sequence gauge. After polishing until the thickness of the sapphire glass plate became 500 μm to 250 μm, the ambient temperature was raised from 23 ° C. to 120 ° C., and the sapphire glass plate was peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet surface. And the thickness of the peeled sapphire glass plate was measured using a wafer sequence gauge at five points, and the variation was measured. The following criteria were used.
○: Thickness variation is within 3 μm.
X: Thickness variation is larger than 3 μm.
表１および表２から明らかなように、実施例１〜３は、垂直剥離強度が高く、それゆえ被着体を固定する際の固定力に優れているのがわかる。また、２３℃における貯蔵弾性率Ｇ’が高く、研磨精度においても優れた結果を示した。さらに、剥離性および糊残りの評価においても、良好な結果を示しているのがわかる。なお、実施例３の垂直剥離強度の評価結果が実施例１，２よりも若干劣る理由としては、６０℃における貯蔵弾性率Ｇ’が、実施例１，２よりも高いことによるものと推察される。 As can be seen from Tables 1 and 2, Examples 1 to 3 have high vertical peel strength, and hence excellent fixing force when fixing the adherend. Further, the storage elastic modulus G ′ at 23 ° C. was high, and the result was excellent in polishing accuracy. Further, it can be seen that good results are also shown in the evaluation of peelability and adhesive residue. The reason why the vertical peel strength evaluation result of Example 3 is slightly inferior to that of Examples 1 and 2 is presumed to be that the storage elastic modulus G ′ at 60 ° C. is higher than that of Examples 1 and 2. The
一方、発泡剤の含有量が特定の割合よりも少ない比較例１は、剥離性および糊残りの評価に劣る結果を示した。また、発泡剤の含有量が特定の割合よりも多い比較例２、厚さが特定の厚さよりも薄い比較例３、および側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量が特定の値よりも大きい比較例４は、いずれも垂直剥離強度が低く、研磨精度に劣る結果を示した。側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量が特定の値よりも小さい比較例５は、剥離性および糊残りの評価に劣る結果を示した。 On the other hand, Comparative Example 1 in which the content of the foaming agent is less than a specific ratio showed results inferior to the evaluation of peelability and adhesive residue. Further, Comparative Example 2 in which the content of the foaming agent is larger than a specific ratio, Comparative Example 3 in which the thickness is thinner than the specific thickness, and Comparative Example in which the weight average molecular weight of the side chain crystalline polymer is larger than the specific value No. 4 showed a low vertical peel strength and inferior polishing accuracy. Comparative Example 5 in which the weight average molecular weight of the side chain crystalline polymer is smaller than a specific value showed results inferior to evaluation of peelability and adhesive residue.
Claims (10)
前記側鎖結晶性ポリマーは、
融点が３０℃以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度であり、
前記融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すとともに、
重量平均分子量が１０，０００〜７００，０００であり、
厚さが１０〜７０μｍであることを特徴とする粘着シート。 Containing a side chain crystalline polymer, and 10 to 110 parts by weight of a foaming agent with respect to 100 parts by weight of the side chain crystalline polymer,
The side chain crystalline polymer is
The melting point is 30 ° C. or higher and lower than the foaming temperature of the foaming agent,
While crystallizing at a temperature below the melting point and exhibiting fluidity at a temperature above the melting point,
The weight average molecular weight is 10,000 to 700,000,
A pressure-sensitive adhesive sheet having a thickness of 10 to 70 μm.
炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート３０〜１００重量部と、
炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、
極性モノマー０〜１０重量部と、
を重合させて得られる重合体である請求項１記載の粘着シート。 The side chain crystalline polymer is
30 to 100 parts by weight of (meth) acrylate having a linear alkyl group having 16 or more carbon atoms,
0 to 70 parts by weight of (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms;
0-10 parts by weight of polar monomer,
The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, which is a polymer obtained by polymerizing a polymer.
前記粘着シートを被研磨物と台座との間に介在させる工程と、
前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研磨物を台座に固定する工程と、
固定した前記被研磨物を精密研磨する工程と、
前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、精密研磨した前記被研磨物を粘着シートから取り外す工程と、
を含むことを特徴とする精密研磨方法。 A method for precisely polishing an object to be polished using the pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1,
Interposing the adhesive sheet between an object to be polished and a pedestal;
The temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is equal to or higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent;
Precision polishing the fixed object to be polished;
The temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent, and the precision-polished object to be polished is removed from the pressure-sensitive adhesive sheet;
A precision polishing method comprising:
前記粘着シートを被研削物と台座との間に介在させる工程と、
前記粘着シートの温度を前記融点以上かつ前記発泡剤の発泡温度未満の温度にした後に前記融点未満の温度にし、該粘着シートを介して前記被研削物を台座に固定する工程と、
固定した前記被研削物を研削する工程と、
前記粘着シートの温度を前記発泡剤の発泡温度以上の温度にし、研削した前記被研削物を粘着シートから取り外す工程と、
を含むことを特徴とする研削方法。 A method of grinding an object to be ground using the pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1,
Interposing the pressure-sensitive adhesive sheet between an object to be ground and a pedestal;
The temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature not lower than the melting point after the temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is higher than the melting point and lower than the foaming temperature of the foaming agent, and fixing the object to be ground to the base via the pressure-sensitive adhesive sheet;
Grinding the fixed object to be ground;
The temperature of the pressure-sensitive adhesive sheet is set to a temperature equal to or higher than the foaming temperature of the foaming agent, and the ground object to be ground is removed from the pressure-sensitive adhesive sheet;
A grinding method comprising:
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015183162A (en) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | ニッタ株式会社 | Double-sided adhesive tape for temporary fixing, and temporary fixing method of workpiece using the same |
| JP2016041483A (en) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | ニッタ株式会社 | Substrate processing method |
| JP2016201465A (en) * | 2015-04-10 | 2016-12-01 | ニッタ株式会社 | Thermosensitive adhesive sheet for dicing for ceramic electronic component and manufacturing method of ceramic electronic component |
| JPWO2014162943A1 (en) * | 2013-04-05 | 2017-02-16 | ニッタ株式会社 | Double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing and method for temporarily fixing a workpiece using the same |
| JP2017082094A (en) * | 2015-10-28 | 2017-05-18 | 積水化学工業株式会社 | Double-sided adhesive tape for semiconductor processing |
| JP2017206595A (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive adhesive |
| JP2017206593A (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive adhesive |
| JP2017226829A (en) * | 2016-06-15 | 2017-12-28 | 住友化学株式会社 | Resin composition and use thereof |
| JP2018044148A (en) * | 2016-09-09 | 2018-03-22 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive sheet and method for producing wafer using the same |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1187920A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Adhesive film for manufacturing multilayered circuit board with ivh |
| JP2000351951A (en) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Nitta Ind Corp | Temporary tacking adhesive tape for green sheet for ceramic electronic component and production of ceramic electronic component |
| JP2006245351A (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nitta Ind Corp | Method of manufacturing semiconductor-chip |
| JP2006241387A (en) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Nitta Ind Corp | Method for producing adhesive sheet and laminated ceramic electronic component |
| JP2009067824A (en) * | 2007-09-10 | 2009-04-02 | Nitta Ind Corp | Thermosensitive resin, thermosensitive adhesive, and thermosensitive adhesive tape |
-
2010
- 2010-05-07 JP JP2010107352A patent/JP5623125B2/en active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1187920A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Adhesive film for manufacturing multilayered circuit board with ivh |
| JP2000351951A (en) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Nitta Ind Corp | Temporary tacking adhesive tape for green sheet for ceramic electronic component and production of ceramic electronic component |
| JP2006245351A (en) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nitta Ind Corp | Method of manufacturing semiconductor-chip |
| JP2006241387A (en) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Nitta Ind Corp | Method for producing adhesive sheet and laminated ceramic electronic component |
| JP2009067824A (en) * | 2007-09-10 | 2009-04-02 | Nitta Ind Corp | Thermosensitive resin, thermosensitive adhesive, and thermosensitive adhesive tape |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2014162943A1 (en) * | 2013-04-05 | 2017-02-16 | ニッタ株式会社 | Double-sided pressure-sensitive adhesive tape for temporary fixing and method for temporarily fixing a workpiece using the same |
| JP2015183162A (en) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | ニッタ株式会社 | Double-sided adhesive tape for temporary fixing, and temporary fixing method of workpiece using the same |
| JP2016041483A (en) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | ニッタ株式会社 | Substrate processing method |
| JP2016201465A (en) * | 2015-04-10 | 2016-12-01 | ニッタ株式会社 | Thermosensitive adhesive sheet for dicing for ceramic electronic component and manufacturing method of ceramic electronic component |
| JP2017082094A (en) * | 2015-10-28 | 2017-05-18 | 積水化学工業株式会社 | Double-sided adhesive tape for semiconductor processing |
| JP2017206593A (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive adhesive |
| JP2017206595A (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive adhesive |
| KR20170129604A (en) * | 2016-05-17 | 2017-11-27 | 니타 가부시키가이샤 | Temperature sensitive adhesive |
| TWI739826B (en) * | 2016-05-17 | 2021-09-21 | 日商霓塔股份有限公司 | Temperature sensitive adhesive |
| KR102329450B1 (en) * | 2016-05-17 | 2021-11-22 | 니타 가부시키가이샤 | Temperature sensitive adhesive |
| JP2017226829A (en) * | 2016-06-15 | 2017-12-28 | 住友化学株式会社 | Resin composition and use thereof |
| JP2018044148A (en) * | 2016-09-09 | 2018-03-22 | ニッタ株式会社 | Temperature-sensitive pressure-sensitive adhesive sheet and method for producing wafer using the same |
| CN108300370A (en) * | 2016-09-09 | 2018-07-20 | 霓达株式会社 | Thermo-sensitive bonding sheet and the manufacturing method for using its chip |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5623125B2 (en) | 2014-11-12 |
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