JP2011226375A - 液体供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体供給装置10aの駆動ポンプ11は、駆動ロッド18により軸方向に弾性変形するポンプ部材としてのベローズ21を有している。ベローズ21とハウジング13aとにより駆動ポンプ室26と連通室25とが形成され、オリフィス部材43により連通室25と駆動ポンプ室26とに仕切られている。駆動ロッド18の駆動動作時には弁体53により貫通孔51が閉塞され、オリフィス部材43とハウジング13aの内周面との間の連通隙間を介して連通室25と駆動ポンプ室26との間で液体が流れることになる。
【選択図】図1
Description
11 駆動ポンプ
12 薬液ポンプ
13 ハウジング部材
13a 駆動用のハウジング
13b 薬液用のハウジング
15 収容孔
16 閉塞壁
18 駆動ロッド
21 ベローズ(ポンプ部材)
22 蛇腹部
25 連通室
26 駆動ポンプ室
28a 流入ポート
29a 流出ポート
31 流入管
32 流出管
37 チューブ(仕切り膜部材)
38 薬液ポンプ室
39 駆動室
41 連通孔
43 オリフィス部材
44 連通隙間
51 貫通孔
53 弁体
54a 補助隙間
Claims (13)
- 駆動ロッドにより駆動ポンプ室を膨張収縮させて液体を前記駆動ポンプ室に流入させ、流入した液体を前記駆動ポンプ室から外部に吐出する液体供給装置であって、
前記駆動ロッドが前進方向と後退方向とに軸方向に往復動自在に装着される駆動用のハウジングと、
前記駆動ロッドと前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングの内周面との間に連通室を形成するとともに前記駆動ロッドの移動に伴って軸方向に弾性変形するポンプ部材と、
前記駆動ロッドに配置され、前記ハウジング内を前記駆動ポンプ室と前記連通室とに仕切るとともに外周面と前記ハウジングとの間で前記駆動ポンプ室と前記連通室とを連通させる連通隙間を形成するオリフィス部材と、
前記オリフィス部材に配置され、前記駆動ロッドを前進移動させるときに前記オリフィス部材に形成された貫通孔を閉塞し、前記駆動ロッドを後退移動させるときに前記貫通孔を開放する弁体とを有し、
前記駆動ロッドを前進移動させて前記貫通孔が閉じられた状態のもとで前記ポンプ部材により前記駆動ポンプ室を加圧駆動し、前記駆動ロッドが後退移動するときには前記貫通孔を介して前記駆動ポンプ室内に前記連通室内の液体を案内することを特徴とする液体供給装置。 - 請求項1記載の液体供給装置において、前記弁体を環状の板材により形成し、前記オリフィス部材に形成された複数の前記貫通孔に対向させて前記弁体を配置し、前記弁体の内周面側と外周面側との少なくともいずれか一方側に、前記駆動ロッドが後退して前記弁体が前記貫通孔を開放したときに前記駆動ポンプ室と前記連通室とを連通させる補助隙間を形成することを特徴とする液体供給装置。
- 請求項2記載の液体供給装置において、前記駆動ロッドに取り付けられる環状のバルブガイドの外側に前記弁体を配置し、前記弁体の内周面側に形成される補助隙間を前記駆動ロッドの後退移動時に開放する切欠き部を前記バルブガイドに形成することを特徴とする液体供給装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体供給装置において、
薬液の流入管が接続される流入ポート、および薬液の流出管が接続される流出ポートが設けられた薬液用のハウジングと、
当該薬液用のハウジング内に組み込まれ、前記流入ポートおよび前記流出ポートに連通する薬液ポンプ室と前記駆動ポンプ室に連通する駆動室とを仕切る弾性変形自在の仕切り膜部材とを備えた薬液ポンプとを有し、
前記駆動ロッドが前進移動するときに前記駆動ポンプ室から前記駆動室に供給される液体により前記仕切り膜部材を加圧駆動することを特徴とする液体供給装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体供給装置において、
前記駆動ポンプ室に連通させて薬液の流入管が接続される流入ポートと、薬液の流出管が接続される流出ポートとを前記駆動用のハウジングに設け、
前記駆動ロッドが前進移動するときに前記駆動ポンプ室から前記流出ポートに直接液体を吐出することを特徴とする液体供給装置。 - 駆動ロッドにより駆動ポンプ室を膨張収縮させて液体を前記駆動ポンプ室に流入させ、流入した液体を前記駆動ポンプ室から外部に吐出する液体供給装置であって、
前記駆動ロッドが前進方向と後退方向とに軸方向に往復動自在に装着される駆動用のハウジングと、
前記駆動ロッドと前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングの内周面との間に連通室を形成するとともに前記駆動ロッドの移動に伴って軸方向に弾性変形するポンプ部材と、
前記駆動ロッドに配置され、前記ハウジング内を前記駆動ポンプ室と前記連通室とに仕切るとともに外周面と前記ハウジングとの間で前記駆動ポンプ室と前記連通室とを連通させる連通隙間を形成するオリフィス部材と、
前記オリフィス部材に配置され、前記駆動ロッドを後退移動させるときに前記オリフィス部材に形成された貫通孔を閉塞し、前記駆動ロッドを前進移動させるときに前記貫通孔を開放する弁体とを有し、
前記駆動ロッドを後退移動させて前記貫通孔が閉じられた状態のもとで前記ポンプ部材により前記駆動ポンプ室を吸引駆動し、前記駆動ロッドが前進移動するときには前記貫通孔を介して前記駆動ポンプ室内に前記連通室内の液体を案内することを特徴とする液体供給装置。 - 請求項6記載の液体供給装置において、前記弁体を環状の板材により形成し、前記オリフィス部材に形成された複数の前記貫通孔に対向させて前記弁体を配置し、前記弁体の内周面側と外周面側との少なくともいずれか一方側に、前記駆動ロッドが前進して前記弁体が前記貫通孔を開放したときに前記駆動ポンプ室と前記連通室とを連通させる補助隙間を形成することを特徴とする液体供給装置。
- 請求項7記載の液体供給装置において、前記駆動ロッドに取り付けられる環状のバルブガイドの外側に前記弁体を配置し、前記弁体の内周面側に形成される補助隙間を前記駆動ロッドの前進移動時に開放する切欠き部を前記バルブガイドに形成することを特徴とする液体供給装置。
- 請求項6〜8のいずれか1項に記載の液体供給装置において、
薬液の流入管が接続される流入ポート、および薬液の流出管が接続される流出ポートが設けられた薬液用のハウジングと、
当該薬液用のハウジング内に組み込まれ、前記流入ポートおよび前記流出ポートに連通する薬液ポンプ室と前記駆動ポンプ室に連通する駆動室とを仕切る弾性変形自在の仕切り膜部材とを備えた薬液ポンプとを有し、
前記駆動ロッドが後退移動するときに前記駆動室から前記駆動ポンプ室に供給される液体により前記仕切り膜部材を吸引駆動することを特徴とする液体供給装置。 - 請求項6〜8のいずれか1項に記載の液体供給装置において、
前記駆動ポンプ室に連通させて薬液の流入管が接続される流入ポートと、薬液の流出管が接続される流出ポートとを前記駆動用のハウジングに設け、
前記駆動ロッドが後退移動するときに前記流入ポートから前記駆動ポンプ室に直接液体を吸引することを特徴とする液体供給装置。 - 請求項2または7記載の液体供給装置において、前記オリフィス部材の前記外周面の外径寸法と前記駆動用のハウジングの内周面の内径寸法との差は0.1mm以下であることを特徴とする液体供給装置。
- 請求項2または7記載の液体供給装置において、前記弁体の外径寸法は前記オリフィス部材の外径寸法よりも小さいことを特徴とする液体供給装置。
- 請求項1または6記載の液体供給装置において、前記弁体をボールまたはポペット弁により形成し、前記オリフィス部材に形成された複数の前記貫通孔にそれぞれの前記弁体を配置することを特徴とする液体供給装置。
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