JP2011216924A - 圧電振動片および圧電デバイス - Google Patents
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 41
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 136
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002808 Si–O–Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000089486 Phragmites australis subsp australis Species 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012770 industrial material Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02062—Details relating to the vibration mode
- H03H9/0207—Details relating to the vibration mode the vibration mode being harmonic
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
- H03H9/0519—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
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Abstract
【解決手段】 圧電振動片(10A)は、表裏面を有する矩形状の音叉基部(11)と、表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、音叉基部のX軸方向の幅よりも狭い位置からY軸方向に伸びる一対の振動腕(12)と、一対の振動腕の表裏面から音叉基部の表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部(13A、13B)と、二対の振動腕溝部に並行して配置され、音叉基部のX軸方向の両外側に形成される一対の段差側面部(15A、15B)と、振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の一方の段差側面部に形成された第1電極と、振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の他方の段差側面部に形成され、第1電極とは異なる極性の第2電極と、を備える。
【選択図】 図1
Description
以下の各実施形態において、振動腕が伸びる方向をY軸方向とし、振動腕の腕幅方向をX軸方向とし、そのX軸及びY軸方向と直交する方向をZ軸方向とする。
<第1音叉型圧電振動片10Aの全体構成>
図1は、+Z軸方向から見た第1実施形態の第1音叉型圧電振動片10Aの平面図である。図2(a)は図1のA−A断面図であり、図2(b)は図1のB−B断面図である。なお、図1に示された第1音叉型圧電振動片10Aは、+Z軸方向から見た平面図と−Z軸方向から見た平面図とが同様であるため、+Z軸方向から見た第1音叉型圧電振動片10Aの平面図を一例として説明する。また、+Z軸方向から見た第1音叉型圧電振動片10AのXY面を「表面」とし、−Z軸方向から見た第1音叉型圧電振動片10AのXY面を「裏面」とする。以降に言及される別の実施形態においても同様である。
次に、第1音叉型の圧電振動片10Aの寸法について説明する。
図1に示されたように、基部11のY軸方向の長さL1は、約500〜600μmである。一方、この基部11から伸びて形成された振動腕12のY軸方向の長さL2は、約1400〜1500μmである。第1振動腕溝部13A及び第2振動腕溝部13BのY軸方向の長さL3は、約400〜1360μmである。また、第1基部溝部15A及び第2基部溝部15BのY軸方向の長さL4は、約150〜400μmである。
図1に戻り、基部11の−Y側の両隅には互いに極性の異なる矩形状の基部電極16A、16Bがそれぞれ形成されている。また、第1振動腕溝部13A及び第2振動腕溝部13Bには互いに極性が異なる溝部励振電極17A、17Bがそれぞれ形成される。−X側の振動腕12のX軸方向の両外側に側面励振電極121Aが形成され、+X側の振動腕12の両外側に側面励振電極121Bが形成される。側面励振電極121A、121Bとは極性が異なる。一対の振動腕錘部14には振動腕12の両外側の側面励振電極121Aを接続し、両外側の側面励振電極121Bを接続させる金属膜がそれぞれ形成されている。
以下、第1音叉型圧電振動片10Aの電界Exの成分について、図2を参照しながら説明する。
まず図2(a)に示されたように、振動腕12はXZ平面でほぼ「H」型となっている。そして、上述の説明のように溝部励振電極17A、17Bと側面励振電極121A、121Bとに交番電圧(正負が交番する直流電圧)を印加した時に、溝部励振電極17Aと側面励振電極121Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと側面励振電極121Bとは同じ極性となる。このため、溝部励振電極17Aと側面励振電極121Bとの間、及び溝部励振電極17Bと側面励振電極121Aとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは振動腕12内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第1音叉型圧電振動片10Aを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい、Q値の高い音叉型圧電振動片が得られる。
第2実施形態の第2音叉型圧電振動片10Bについて、図1及び図3を参照しながら説明する。図1に示されるように、Z軸方向から見ると第2音叉型圧電振動片10Bは第1音叉型圧電振動片10Aと同じ形状であるが、第2音叉型圧電振動片10Bの部材についてはカッコ内に付している。図3は、図1のB−B断面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付けてある。
図1に示されたように、基部21における一対の振動腕溝部13A、13BのX軸方向の両外側には、基部21に延長された一対の振動腕溝部13A、13Bに対応するように、一対の矩形状の第1貫通穴25A及び第2貫通穴25Bがそれぞれ形成されている。
図1に示されたように、第1貫通穴25A及び第2貫通穴25BのY軸方向の長さL4は、約150〜400μmであり、第1貫通穴25A及び第2貫通穴25BのX軸方向の幅W5は、約50〜150μmである。また、図3に示されたように、第1貫通穴25A及び第2貫通穴25Bは第2音叉型圧電振動片10Bの表面から裏面へ貫通して形成されたので、そのZ軸方向の深さ(厚さ)は第2音叉型圧電振動片10Bの厚さと同じで約80〜120μmである。
基部電極16Aと+X側の側面励振電極121Aとを接続する接続電極18AはX軸方向において第1貫通穴25Aの領域まで伸びて形成される。基部電極16Bと−X側の側面励振電極121Bとを接続する接続電極18BはX軸方向において第2貫通穴25Bの領域まで伸びて形成されている。このため、第1貫通穴25Aの側面M61には貫通穴電極29Aが形成され、第2貫通穴25Bの側面M62には貫通穴電極29Bが形成される。
図3に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び貫通穴電極29A、29Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと貫通穴電極29Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと貫通穴電極29Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと貫通穴電極29Bとの間、溝部励振電極17Bと貫通穴電極29Aとの間、溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間、及び貫通穴電極29Aと貫通穴電極29Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部21内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第2音叉型圧電振動片10Bを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい音叉型圧電振動片が得られる。
第3実施形態の第3音叉型圧電振動片10Cについて、図4及び図5を参照しながら説明する。図4は、第3実施形態の第3音叉型圧電振動片10Cの上面図である。図5は、図4のB−B断面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
図4に示されたように、基部31における一対の振動腕溝部13A、13BのX軸方向の両外側には、基部31に延長された一対の振動腕溝部13A、13Bに対応するように、一対の矩形状の第1切欠き35A及び第2切欠き35Bがそれぞれ形成されている。
図4に示されたように、第1切欠き35A及び第2切欠き35BのY軸方向の長さL5は、約150〜450μmであり、第1切欠き35A及び第2切欠き35BのX軸方向の幅W7は、約100〜200μmである。また、図5に示されたように、第1切欠き35A及び第2切欠き35BのZ軸方向の深さH2は、約20〜50μmである。
基部電極16Aと+X側の側面励振電極121Aとを接続する接続電極18AはX軸方向において第1基部溝部15Aの領域まで伸びて形成される。基部電極16Bと−X側の側面励振電極121Bとを接続する接続電極18BはX軸方向において第2基部溝部15Bの領域まで伸びて形成されている。このため、第1切欠き35Aの側面M81には切欠き電極39Aが形成され、第2切欠き35Bの側面M82には切欠き電極39Bが形成される。ここで、接続電極18A、18BはX軸方向で第1切欠き35A及び第2切欠き35Bの側面M81、M82の領域まで伸びて形成されているが、第1切欠き35A及び第2切欠き35Bの底面M101、M102の領域まで伸びて形成されてもよい。
図5に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び切欠き電極39A、39Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと切欠き電極39Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと切欠き電極39Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと切欠き電極39Bとの間、溝部励振電極17Bと切欠き電極39Aとの間、及び溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部31内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第3音叉型圧電振動片10Cを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい圧電振動片が得られる。
第4実施形態の第4音叉型圧電振動片10Dについて、図6を参照しながら説明する。図6は、第4実施形態の第4音叉型圧電振動片10Dの上面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
第5実施形態の第5音叉型圧電振動片10Eについて、図7を参照しながら説明する。図7は、第5実施形態の第5音叉型圧電振動片10Eの上面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
振動腕32の振動腕錘部14側のX軸方向の幅W2は約80〜120μmである。振動腕錘部14側の振動腕32同士の距離W3は100μm程度である。また、振動腕32の基部41側の根元部321のX軸方向の幅W8は約100〜150μmである。基部41側の振動腕32の根元部321同士の距離W9は60μm程度である。
第6実施形態の第6音叉型圧電振動片10Fについて、図8を参照しながら説明する。図8は、第6実施形態の第6音叉型圧電振動片10Fの上面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
第7実施形態の第7音叉型圧電振動片10Gについて、図9及び図10を参照しながら説明する。図9は、第7実施形態の第7音叉型圧電振動片10Gの上面図である。図10は、図9のC−C断面図である。第1実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
図9に示されたように、第7音叉型圧電振動片10GはY軸方向に沿って伸びた軸Axにより線対称となる。第7音叉型圧電振動片10Gはほぼ矩形状の基部61と基部61から+Y軸方向に伸びて形成されている一対の振動腕12を有している。一対の振動腕12の+Y側の先端には振動腕錘部14がそれぞれ形成されてもよい。振動腕錘部14は第7音叉型圧電振動片10Gの一対の振動腕12が振動しやすくなるための錘であり、且つ周波数調整のために設けられている。第7音叉型圧電振動片10Gは、例えば32.768kHzで振動する振動片で、極めて小型の振動片となっている。
図9に示されたように、第7音叉型圧電振動片10Gにおいて全体の幅W10は約400〜700μmである。一対の支持腕24の長さL8は約300〜800μmであり、その幅W2は約80〜120μmである。また、−X側の支持腕24と振動腕12との距離W3、+X側の支持腕24と振動腕12との距離W3、および一対の振動腕12の間の距離W3は約100μmである。
図9に示されるように、第1振動腕溝部13A及び第2振動腕溝部13Bには互いに極性が異なる溝部励振電極17A、17Bがそれぞれ形成される。−X側の振動腕12の両外側に一対の側面励振電極121Aが形成され、+X側の振動腕12の両外側に一対の側面励振電極121Bが形成される。
図10に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び基部溝部電極19A、19Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと基部溝部電極19Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと基部溝部電極19Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと基部溝部電極19Bとの間、溝部励振電極17Bと基部溝部電極19Aとの間、及び溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部61内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第7音叉型圧電振動片10Gを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい音叉型圧電振動片が得られる。
第8実施形態の第8音叉型圧電振動片10Hについて、図9及び図11を参照しながら説明する。図9に示されるように、Z軸方向から見ると第8音叉型圧電振動片10Hは第7音叉型圧電振動片10Gと同じ形状であるが、第8音叉型圧電振動片10Hの部材についてはカッコ内に付している。図11は、図9のC−C断面図である。第7実施形態と同じ部材に対して同じ符号を付してある。
図9に示されたように、基部71における一対の振動腕溝部13A、13BのX軸方向の両外側には、基部71に延長された一対の振動腕溝部13A、13Bに対応するように、一対のほぼ矩形状の第1貫通穴55A及び第2貫通穴55Bがそれぞれ形成されている。
図9に示されたように、第1貫通穴55A及び第2貫通穴55BのY軸方向の長さL4は、約150〜450μmである。また、第1貫通穴55A及び第2貫通穴55Bの幅W11は約100〜250μmである。
図9に戻り、接続電極38AはX軸方向において第1貫通穴25Aの領域まで伸びて形成される。接続電極38BはX軸方向において第2貫通穴25Bの領域まで伸びた幅で形成されている。このため、第1貫通穴25Aの側面M61には貫通穴電極29Aが形成され、第2貫通穴25Bの側面M62には貫通穴電極29Bが形成される。
図11に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び貫通穴電極29A、29Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと貫通穴電極29Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと貫通穴電極29Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと貫通穴電極29Bとの間、溝部励振電極17Bと貫通穴電極29Aとの間、溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間、及び貫通穴電極29Aと貫通穴電極29Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部71内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第8音叉型圧電振動片10Hを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい音叉型圧電振動片が得られる。
第9実施形態の第9音叉型圧電振動片10Jについて、図12及び図13を参照しながら説明する。図12は、第9実施形態の第9音叉型圧電振動片10Jの上面図である。図13は、図12のD−D断面図である。第7実施形態と同じ構成要件に対して同じ符号を付してある。
図12に示されたように、基部81における一対の振動腕溝部13A、13BのX軸方向の両外側には、基部81に延長された一対の振動腕溝部13A、13Bに対応するように、一対のほぼ矩形状の第1切欠き65A及び第2切欠き65Bがそれぞれ形成されている。
図12に示されたように、第1切欠き65A及び第2切欠き65BのY軸方向の長さL9は、約100〜500μmである。また、図13に示されたように、第1切欠き65A及び第2切欠き65BのZ軸方向の深さH2は、約20〜50μmである。
図12に戻り、+X側の側面励振電極121Aと引出電極241Aとを接続する接続電極48AはX軸方向において第1切欠き65Aの領域まで伸びて形成され、その一部は第1切欠き65Aを渡して形成されている(図13を参照)。−X側の側面励振電極121Bと引出電極241Bとを接続する接続電極48BはX軸方向において第2切欠き65Bの領域まで伸びて形成され、その一部は第2切欠き65Bを渡して形成されている(図13を参照)。このため、第1切欠き65Aの面M111には切欠き電極49Aが形成され、第2切欠き65Bの面M112には切欠き電極49Bが形成される。
図13に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び切欠き電極49A、49Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと切欠き電極49Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと切欠き電極49Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと切欠き電極49Bとの間、溝部励振電極17Bと切欠き電極49Aとの間、及び溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部81内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第9音叉型圧電振動片10Jを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい音叉型圧電振動片が得られる。
第10実施形態の第10音叉型圧電振動片10Kについて、図14及び図15を参照しながら説明する。図14は、第10実施形態の第10音叉型圧電振動片10Kの上面図である。図15は、図14のE−E断面図である。第7実施形態と同じ構成要件に対して同じ符号を付してある。
図14に示されたように、基部91における一対の振動腕溝部13A、13BのX軸方向の両外側には、基部91に延長された一対の振動腕溝部13A、13Bに対応するように、一対のほぼ矩形状の第1切欠き75A及び第2切欠き75Bがそれぞれ形成されている。
図14に示されたように、第1切欠き75A及び第2切欠き75BのY軸方向の長さL10は、約200〜500μmである。また、第1切欠き75Aが第10音叉型圧電振動片10Kの+X側の端部まで形成され、第2切欠き75Bが第10音叉型圧電振動片10Kの−X側の端部まで形成されている。したがって、第1切欠き75A及び第2切欠き75BのX軸方向の幅W12は、より広くなり約100〜300μmとなる。また、図15に示されたように、第1切欠き75A及び第2切欠き75BのZ軸方向の厚さH2は、約20〜50μmである。
図14に戻り、+X側の側面励振電極121Aと引出電極241Aとを接続する接続電極58AはX軸方向において第1切欠き75Aの領域まで伸びて形成され、その一部は第1切欠き75Aの底面M161に形成されている(図15を参照)。−X側の側面励振電極121Bと引出電極241Bとを接続する接続電極58BはX軸方向において第2切欠き75Bの領域まで伸びて形成され、その一部は第2切欠き75Bの底面M162に形成されている(図15を参照)。このため、第1切欠き75Aの面M141には切欠き電極59Aが形成され、第2切欠き75Bの面M142には切欠き電極59Bが形成される。
図15に示されたように、溝部励振電極17A、17B及び切欠き電極59A、59Bに交番電圧を印加した時に、溝部励振電極17Aと切欠き電極59Aとは同じ極性となり、溝部励振電極17Bと切欠き電極59Bとは同じ極性となる。したがって、溝部励振電極17Aと切欠き電極59Bとの間、溝部励振電極17Bと切欠き電極59Aとの間、及び溝部励振電極17Aと溝部励振電極17Bとの間で、電界Exが矢印方向に沿って発生する。この電界Exは基部91内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Exが大きくなる。その結果、第10音叉型圧電振動片10Kを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい音叉型圧電振動片が得られる。
第11実施形態の第11音叉型圧電振動片10Lについて、図16を参照しながら説明する。図16は、第11実施形態の第11音叉型圧電振動片10Lの上面図である。第7実施形態と同じ構成要件に対して同じ符号を付してある。
図16に示されたように、第11音叉型圧電振動片10Lはほぼ第7実施形態と同じ構成である。第11音叉型圧電振動片10LはX軸方向で一対の振動腕12の両外側に基部101から+Y軸方向に伸びて形成されている一対の支持腕34を有している。また、第11音叉型圧電振動片10Lはその外側に矩形状の外枠部20をさらに有している。この外枠部20は一対の支持腕34を介して基部101と連結されている。
第11音叉型圧電振動片10Lにおいて、+X側の支持腕34の表面及び裏面には引出電極341Aが形成されている。引出電極341Aは、一端部が外枠部20の一隅(+X側、+Y側)まで伸びて形成され、他端部が接続電極68Aに接続されている。−X側の支持腕34の表面及び裏面には引出電極341Bが形成されている。引出電極341Bは、一端部が外枠部20の他隅(−X側、−Y側)まで伸びて形成され、他端部が接続電極68Bに接続されている。
第11音叉型圧電振動片10Lの電界成分は、図10で説明された第7音叉型圧電振動片10Gの電界成分と同じである。また、第11実施形態の外枠部20を有している第11音叉型圧電振動片10Lにおいて、基部101に第1基部溝部85A及び第2基部溝部85Bが形成されているが、その代わりに第8実施形態で説明された貫通穴でもよいし、第9及び第10実施形態で説明された切欠きでもよい。
第1圧電デバイスとして第1実施形態で説明された第1音叉型圧電振動片10Aを用いた圧電振動子100について、図17(a)を参照しながら説明する。図17(a)は、第1音叉型圧電振動片10Aを備えた圧電振動子100の側面図である。
第2圧電デバイスとして第7実施形態で説明された第7音叉型圧電振動片10Gを用いた圧電振動子200について、図17(b)を参照しながら説明する。図17(b)は、第7音叉型圧電振動片10Gを備えた圧電振動子200の側面図である。
第3圧電デバイスとして第11実施形態で説明された第11音叉型圧電振動片10Lを用いた圧電振動子300について、図18を参照しながら説明する。図18(a)は、第11音叉型圧電振動片10Lを備えた圧電振動子300の分解斜視図であり、図18(b)は、第11音叉型圧電振動片10Lを備えた圧電振動子300のG−G断面図である。
11、21、31、41、51、61、71、81、91、101 … 基部
12 … 振動腕
13A、13B … 振動腕溝部
14 … 錘部
15A、15B、45A、45B、85A、85B … 基部溝部
25A、25B、55A、55B … 貫通穴
35A、35B、65A、65B、75A、75B … 切欠き
16A、16B … 基部電極
17A、17B … 溝部励振電極
18A、18B、28A、28B、38A、38B、48A、48B、58A、58B、68A、68B … 接続電極
19A、19B、69A、69B … 基部溝部電極
29A、29B … 貫通穴電極
39A、39B、49A、49B、59A、59B … 切欠き電極
20 … 外枠部
24、34 … 支持腕
100、200、300 … 圧電振動子
121A、121B … 側面励振電極
241A、241B、341A、341B … 引出電極
242 … 幅広腕部
Ex … 電界
H1、H2 … Z軸方向の厚さ(深さ)
L1〜L10 … Y軸方向の長さ
W1〜W11 … X軸方向の幅
PK … パッケージ
Claims (11)
- 表裏面を有する矩形状の音叉基部と、
前記表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、前記音叉基部のX軸方向の幅よりも狭い位置からY軸方向に伸びる一対の振動腕と、
前記一対の振動腕の前記表裏面から前記音叉基部の前記表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部と、
前記二対の振動腕溝部に並行して配置され、前記音叉基部のX軸方向の両外側に形成される一対の段差側面部と、
前記振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と前記音叉基部の一方の段差側面部に形成された第1電極と、
前記振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と前記音叉基部の他方の段差側面部に形成され、前記第1電極とは異なる極性の第2電極と、
を備えた圧電振動片。 - 表裏面を有する矩形状の音叉基部と、
前記表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、前記音叉基部からY軸方向に伸びる一対の振動腕と、
前記一対の振動腕の前記表裏面から前記音叉基部の前記表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部と、
前記一対の振動腕の両外側で且つ前記音叉基部からY軸方向に伸びる一対の支持腕と、
前記二対の振動腕溝部に並行して配置され、前記音叉基部で前記振動腕と前記支持腕との間に形成される一対の段差側面部と、
前記振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と前記音叉基部の一方の段差側面部に形成された第1電極と、
前記振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と前記音叉基部の他方の段差側面部に形成され、前記第1電極とは異なる極性の第2電極と、
を備えた圧電振動片。 - 前記音叉基部と前記一対の振動腕とを囲むように形成された枠体を備え、
前記一対の支持腕が前記枠体に接続され、前記音叉基部と前記一対の振動腕とを支える請求項2に記載の圧電振動片。 - 前記段差側面部は、前記音叉基部の表面から裏面へ貫通する一対の貫通穴の第1側面を含む請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片。
- 前記段差側面部は、前記音叉基部の表裏面に形成された二対の基部溝部の第2側面を含む請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片。
- 前記段差側面部は、前記音叉基部の表裏面に形成された二対の切欠き部の第3側面を含む請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片。
- 前記貫通穴は、前記音叉基部および前記振動腕の外形形状が形成される際に同時に形成される請求項4に記載の圧電振動片。
- 前記基部溝部は、前記振動腕溝部が形成される際に同時に形成される請求項5に記載の圧電振動片。
- 前記切欠き部は、前記振動腕溝部が形成される際に同時に形成される請求項6に記載の圧電振動片。
- 請求項1または請求項2の圧電振動片を収納するキャビティを有するパッケージを備える表面実装型の圧電デバイス。
- 第1凹み部を有するリッド板と第2凹み部を有するベース板とを備え、
請求項3の圧電振動片の枠体を前記リッド板と前記ベース板とで挟み込んだ圧電デバイス。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069447A JP5085679B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-25 | 圧電振動片および圧電デバイス |
US13/040,078 US8736152B2 (en) | 2010-03-15 | 2011-03-03 | Piezoelectric vibrating pieces and associated devices exhibiting enhanced electrical field |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010057253 | 2010-03-15 | ||
JP2010057253 | 2010-03-15 | ||
JP2010069447A JP5085679B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-25 | 圧電振動片および圧電デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011216924A true JP2011216924A (ja) | 2011-10-27 |
JP2011216924A5 JP2011216924A5 (ja) | 2012-02-16 |
JP5085679B2 JP5085679B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=44559299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010069447A Expired - Fee Related JP5085679B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-25 | 圧電振動片および圧電デバイス |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8736152B2 (ja) |
JP (1) | JP5085679B2 (ja) |
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CN104079263B (zh) * | 2013-03-29 | 2018-05-29 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体 |
JP2014200051A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
US9088264B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-07-21 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object |
US9257959B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-02-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object |
CN104079263A (zh) * | 2013-03-29 | 2014-10-01 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体 |
US9995582B2 (en) | 2013-08-09 | 2018-06-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrating element, vibrating device, electronic apparatus, and moving object |
JP2016167675A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | シチズンホールディングス株式会社 | 圧電振動子 |
CN105978526A (zh) * | 2015-03-12 | 2016-09-28 | 精工电子水晶科技股份有限公司 | 压电振动片及压电振动器 |
JP2016171450A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
CN105978526B (zh) * | 2015-03-12 | 2021-06-08 | 精工电子水晶科技股份有限公司 | 压电振动片及压电振动器 |
WO2018180861A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
JPWO2018180861A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-13 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 |
US11290082B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-03-29 | Daishtnku Corporation | Tuning fork-type piezoelectric vibration piece and tuning fork-type piezoelectric vibrator using the vibration piece |
JP2018026882A (ja) * | 2017-11-15 | 2018-02-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5085679B2 (ja) | 2012-11-28 |
US8736152B2 (en) | 2014-05-27 |
US20110221311A1 (en) | 2011-09-15 |
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