JP2011212784A - 保持材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持材10は、湿式凝固法により作製されたポリウレタン樹脂製のウレタンシート2を有している。ウレタンシート2は、湿式凝固法による作製時に形成されたスキン層4を有している。スキン層4の表面が保持面Sを形成している。ウレタンシート2の内部には、厚み方向に沿う円錐状のセル3が形成されている。ウレタンシート2では、保持面S側に熱プレス加工により複数の窪み5が形成されている。窪み5の内底部でもスキン層4が残されており、保持面S側にセル3の開孔が形成されていない。被研磨物と保持面Sとの密着性が制限される。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本実施形態の保持材10は、湿式凝固法により作製されたポリウレタン樹脂製の樹脂シートとしてのウレタンシート2を有している。
保持材10は、湿式凝固法により作製したウレタン樹脂製のシートの保持面S側に熱プレス加工を施し、両面テープ6を貼り合わせることで製造される。すなわち、ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する準備工程、水系凝固液中で樹脂溶液を凝固させてシート状のポリウレタン樹脂を形成するシート形成工程、ポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、保持面S側に熱プレス加工を施す熱プレス工程、両面テープと貼り合わせるラミネート工程を経て保持材10を製造する。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の保持材10の作用等について説明する。
実施例1では、ウレタンシート2の窪み5を直径0.5mmとし、保持面S側に10個/cm2の割合で形成し保持材10を製造した。この保持材10では、保持面Sの単位面積あたりに占める窪み5の形成された部分の面積の割合が2%となる。
比較例1では、湿式凝固法により形成された成膜樹脂に窪み5を形成しないこと以外は実施例1と同様にして保持材を製造した。すなわち、比較例1は従来の保持材である。
各実施例および比較例の保持材について、被研磨物保持性を評価した。被研磨物保持性は、以下の方法で測定した。図2に示すように、保持材10を表面が略平坦な定盤81に貼付し、保持材10の表面(保持面S)に水を吹き付けた後、表面の水をワイパで軽く除く。次に、保持材10上に縦10cm×横10cmのガラス板82を置き、ガラス板82に80gf/cm2(784mN/cm2)の荷重がかかるようにおもり83を載せる。ガラス板82を横(水平)方向(矢印A方向)に引っ張り、ガラス板82がずれるときの引張力のピーク値(最大値)を測定した。測定は5回行い、平均値を算出して保持性を評価した。
2 ウレタンシート(樹脂シート)
4 スキン層
5 窪み
10 保持材
Claims (9)
- 湿式凝固法により形成されたスキン層を有し該スキン層の表面が被研磨物を保持するための保持面を形成する樹脂シートを備えた保持材において、前記樹脂シートは、前記保持面側に、内底部にスキン層の残された複数の窪みが形成されたことを特徴とする保持材。
- 前記樹脂シートは、前記窪みが前記保持面側に均等に分散するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の保持材。
- 前記樹脂シートは、前記窪みが0.2mm〜3.0mmの直径を有する円形状に形成されたことを特徴とする請求項2に記載の保持材。
- 前記樹脂シートは、前記保持面の1cm2あたりに1個〜40個の割合で前記窪みが形成されたことを特徴とする請求項3に記載の保持材。
- 前記樹脂シートは、前記保持面の単位面積あたりに占める前記窪みの形成された部分の面積の割合が50%未満であることを特徴とする請求項4に記載の保持材。
- 前記窪みは、前記保持面に対する熱プレス加工により形成されたことを特徴とする請求項1に記載の保持材。
- 前記窪みは、前記保持面からの深さが均一となるように形成されたことを特徴とする請求項6に記載の保持材。
- 前記樹脂シートは、ポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項1に記載の保持材。
- 前記被研磨物は、液晶ディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項8に記載の保持材。
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