JP2011211084A - 半導体発光素子および半導体発光素子アレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】柱状のメサ部16の上面に色度変換層15が設けられている。色度変換層15は、メサ部16のうち、下部電極35と上部電極31によって注入される電流経路とは異なる部位に形成されている。色度変換層15は、例えば、組成比の互いに異なるGaInNによりそれぞれ形成された井戸層およびバリア層を交互に積層してなる多重量子井戸構造となっており、活性層から発せられた紫外光を吸収し、所定の波長(赤色帯、緑色帯、青色帯)の光を発するようになっている。
【選択図】図1
Description
1.第1の実施の形態(図1〜図4)
○色度変換層がメサ部の上面に設けられている例
2.第1の実施の形態の変形例(図5)
○色度変換層が基板裏面に設けられている例
3.第2の実施の形態(図6、図7)
○複数のメサ部が設けられている例
4.第2の実施の形態の変形例(図8〜図10)
○色度変換層の内部構造および配置のバリエーション
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る面発光型の半導体発光素子1を斜視的に表したものである。図2は、図1の半導体発光素子1のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。図3、図4は、後述する色度変換層15の内部構成の一例を表したものである。なお、図1〜図4は模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なっている。
本実施の形態の半導体発光素子1は、例えば次のようにして製造することができる。
本実施の形態の半導体発光素子1では、下部電極35と上部電極31との間に所定の電圧が印加されると、電流狭窄層19における電流注入領域19Aを通して活性層12に電流が注入され、これにより電子と正孔の再結合による発光が生じる。活性層12で生じた光は、メサ部17の上面から外部に出力される。
上記実施の形態では、色度変換層15は、メサ部16の上面に設けられていたが、例えば、図5に示したように、基板10の裏面に形成されていてもよい。この場合、色度変換層15は、基板10への結晶成長によって形成されたものであり、半導体発光素子1の光射出面15Aが、基板10の裏面側となる。このとき、メサ部16の上面には、コンタクト層14が露出することになるが、例えば、図5に示したように、メサ部16の上面全体に、上部電極31を形成してもよい。なお、本変形例においては、色度変換層15、基板10および半導体層20が本発明の「半導体層」の一具体例に相当する。
次に、本発明の第2の実施の形態に係る面発光型の半導体発光素子アレイ2について説明する。図6は、半導体発光素子アレイ2を斜視的に表したものである。図7、図8は、図6の半導体発光素子アレイ2のA−A矢視方向の断面構成の一例を表したものである。なお、図6〜図8は模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なっている。
次に、本実施の形態の半導体発光素子アレイ2の製造方法の一例について説明する。半導体発光素子アレイ2は、基本的には、半導体発光素子1の製造方法と同様の方法によって製造可能である。ただし、赤色度変換層15Rおよび緑色度変換層15Gを、例えば、図8に示したような複数の多層構造を含んで構成する場合には、以下に示す方法を用いることが好ましい。
本実施の形態の半導体発光素子アレイ2では、下部電極35と、個々の上部電極31との間に所定の電圧が印加されると、個々のメサ部17において、電流狭窄層19の電流注入領域19Aを通して活性層12に電流が注入され、これにより電子と正孔の再結合による発光が生じる。活性層12で生じた光は、メサ部17の上面から外部に出力される。
上記第2の実施の形態では、色度変換層15は、メサ部16の上面に設けられていたが、例えば、図9、図10に示したように、基板10の裏面に形成されていてもよい。この場合、色度変換層15は、基板10への結晶成長によって形成されたものであり、半導体発光素子アレイ2の光射出面15Aが、基板10の裏面側となる。このとき、メサ部16の上面には、コンタクト層14が露出することになるが、例えば、図9、図10に示したように、メサ部16の上面全体に、上部電極31を形成してもよい。なお、本変形例においては、色度変換層15、基板10および半導体層20が本発明の「半導体層」の一具体例に相当する。
Claims (14)
- 第1導電型半導体層、活性層、第2導電型半導体層、色度変換層をこの順に含み、前記活性層から発せられた光を、前記色度変換層を介して外部に出力する半導体層と、
前記色度変換層を介さずに前記活性層に電流注入することの可能な位置に配置された電極と
を備えた半導体発光素子。 - 前記色度変換層は、前記活性層から発せられた光を吸収し、吸収した光の波長とは異なる波長の光を発する多層構造を有する
請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体層内の各層は、互いに同一の材料系によって構成されている
請求項2に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体層内の各層は、III−V族窒化物半導体によって構成されている
請求項3に記載の半導体発光素子。 - 前記色度変換層は、前記第1導電型半導体層、前記活性層および前記第2導電型半導体層とともに一括に形成されたものである
請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体層は、前記第2導電型半導体層と前記色度変換層との間に半導体基板を有し、
前記色度変換層は、前記半導体基板上への結晶成長によって形成されたものである
請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。 - 第1導電型半導体層、活性層、第2導電型半導体層、色度変換層をこの順に含み、前記活性層から発せられた光を、前記色度変換層を介して外部に出力する複数のメサ部を有する半導体層と、
前記色度変換層を介さずに各活性層に電流注入することの可能な位置に配置された電極と
を備えた半導体発光素子アレイ。 - 複数のメサ部のうち第1のメサ部に含まれる色度変換層は、前記活性層から発せられた光を吸収し、第1の波長帯の波長の光を発する第1の多層構造を有し、
複数のメサ部のうち第2のメサ部に含まれる色度変換層は、前記第1の多層構造と、前記第1の多層構造から発せられた光を吸収し、前記第1の波長帯よりも長波長の光を発する第2の多層構造とを有し、
複数のメサ部のうち第3のメサ部に含まれる色度変換層は、前記第1の多層構造と、前記第2の多層構造と、前記第2の多層構造から発せられた光を吸収し、前記第2の波長帯よりも長波長の光を発する第3の多層構造とを有する
請求項7に記載の半導体発光素子アレイ。 - 複数のメサ部のうち第1のメサ部に含まれる色度変換層は、前記活性層から発せられた光を吸収し、第1の波長帯の波長の光を発する第1の多層構造を有し、
複数のメサ部のうち第2のメサ部に含まれる色度変換層は、前記活性層から発せられた光を吸収し、前記第1の波長帯よりも長波長の光を発する第2の多層構造を有し、
複数のメサ部のうち第3のメサ部に含まれる色度変換層は、前記活性層から発せられた光を吸収し、前記第2の波長帯よりも長波長の光を発する第3の多層構造を有する
請求項7に記載の半導体発光素子アレイ。 - 各メサ部は、III−V族窒化物半導体によって構成されている
請求項8または請求項9に記載の半導体発光素子アレイ。 - 前記第1の多層構造、前記第2の多層構造および前記第3の多層構造は、いずれも、Inを含んで構成されており、
前記第1の多層構造、前記第2の多層構造および前記第3の多層構造のIn組成比は、互いに異なっている
請求項10に記載の半導体発光素子アレイ。 - 前記半導体層は、前記第1導電型半導体層との関係で前記活性層とは反対側に半導体基板を有し、
各メサ部は、前記半導体基板上への結晶成長によって形成されたものである
請求項8または請求項9に記載の半導体発光素子アレイアレイ。 - 前記半導体層は、前記第2導電型半導体層と前記色度変換層との間に半導体基板を有し、
前記色度変換層は、前記半導体基板上への結晶成長によって形成されたものである
請求項8または請求項9に記載の半導体発光素子アレイ。 - 前記半導体層は、前記第1導電型半導体層との関係で前記活性層とは反対側に半導体基板を有し、
全てのメサ部のうち少なくとも1つは、前記半導体基板上への実装によって搭載されたものである
請求項8または請求項9に記載の半導体発光素子アレイ。
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