JP2011158888A - 反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 - Google Patents
反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011158888A JP2011158888A JP2010274199A JP2010274199A JP2011158888A JP 2011158888 A JP2011158888 A JP 2011158888A JP 2010274199 A JP2010274199 A JP 2010274199A JP 2010274199 A JP2010274199 A JP 2010274199A JP 2011158888 A JP2011158888 A JP 2011158888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- reflector
- gas
- base material
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/52—PV systems with concentrators
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】基材上に形成される反射体であり、該反射体は、基材側から見て基材に近い側から、金属酸化物層、Agに対して小さい原子半径を有する元素がドープされたAgからなる反射層、を有するものであり、該反射体のCuKα線を用いたX線回折測定により、Agに由来する回折ピークから算出される結晶子サイズが2〜23nmであることを特徴とする反謝体。
【選択図】図2
Description
図2に示すように基材3上に、膜厚30nmのZnO膜13を、ZnO膜13の上層に膜厚100nmのAg膜14を、順次、前記の図1に示すスパッタリング装置を用いて形成した。基材には厚み3mmのソーダライムガラスを用いた。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス18sccmにN2ガスを27sccm添加(N2ガス濃度60体積%)したガスを用いた以外は、すべて実施例1と同様にして反射体を形成した。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス45sccmのみ(N2ガス濃度0体積%)を用いた以外は、すべて実施例1と同様にして反射体を形成した。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス43sccmにN2ガスを2sccm添加(N2ガス濃度4.4体積%)したガスを用いた以外は、すべて実施例1と同様にして反射体を形成した。
図3に示すような基材3上に、膜厚100nmのAg膜14を、図1に示すようなスパッタリング装置を用いて形成した。スパッタガスには、Arガス45sccmのみ(N2ガス濃度0体積%)を用い、Ag膜14の形成方法は実施例1と同様にした。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス36sccmにN2ガスを9sccm添加(N2ガス濃度20体積%)したガスを用いた以外は、すべて比較例3と同様にしてAg膜を形成した。
X線回折測定装置(Rint−ultimaIII、リガク社製)を用いて、CuKα線を用いたX線回折により膜の結晶性を評価した。測定された回折線から、Ag(200)面及びAg(111)面の回折線の強度I(200)及びI(111)を求め、強度比I(200)/I(111)を算出した。また、Ag(111)面に由来する回折線の半値幅よりシェラーの式を用いて結晶子サイズを算出した。なお、回折線の強度、結晶子サイズの算出には、装置に付随した汎用のプログラムJADE6を用いた。
分光光度計(U−4000、日立製作所製)を用いて、膜面側から光を入射して測定し、550nmにおける反射率を求めた。
反射体のシート抵抗を4探針抵抗測定器(RT−70/RG−7B、Napson社製)を用いて測定し、シート抵抗とAg膜の膜厚との積から比抵抗を算出した。
反射体又はAg膜を基材ごと、5質量%のNaCl水溶液に浸漬し、浸漬後にAg膜表面の劣化の様子、界面における剥離の様子を観察した。
原子間力顕微鏡(SPM−9600、島津製作所製)を用いて、塩水浸漬前と1時間浸漬した後の反射体もしくはAg膜の表面形状を測定し、装置に付随したプログラムにて算術平均粗さRaを算出した。表4に実施例1及び比較例1、比較例3、比較例4の評価結果を示した。
Ag膜14の膜厚を50nm(実施例3)、150nm(実施例4)、250nm(実施例5)とした以外は、すべて実施例1と同様にして反射体を形成した。
Ag膜14の膜厚を150nmとし、ZnO膜13の膜厚を5nm(実施例6)、15nm(実施例7)、60nm(実施例8)とした以外は、すべて実施例1と同様にして反射体を形成した。
基材に厚さ188μmの片面がハードコート処理されたポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム(以下、PETフィルムと呼ぶことがある)を用い、ハードコート処理面に反射体を形成した。該反射体は、Ag膜14の膜厚を150nmとした以外は、全て実施例1と同様にして形成した。
金属酸化物層をZnAl(Al4質量%含有Zn)ターゲットを用いて形成したAlドープZnO(以下AZOと表記することもある)とした以外は、全て実施例9と同様にして反射体を形成した。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス45sccmのみ(N2ガス濃度0体積%)を用いた以外は、すべて実施例9と同様にして反射体を形成した。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス45sccmのみ(N2ガス濃度0体積%)を用いた以外は、すべて実施例10と同様にして反射体を形成した。
厚さ188μmのPETフィルム上に膜厚150nmのAg膜14を、図1に示すスパッタリング装置を用いてハードコート処理面側に形成した。スパッタガスには、Arガス45sccmのみ(N2ガス濃度0体積%)を用い、Ag膜14の形成方法は実施例1と同様にした。
Ag膜14形成時のスパッタガスに、Arガス36sccmにN2ガスを9sccm添加(N2ガス濃度20体積%)したガスを用いた以外は、すべて比較例7と同様にしてAg膜を形成した。
2 基材ホルダー
3 基材
4 カソードマグネット
5 真空ポンプ
6 開閉バルブ
7 ガス導入管
8 真空チャンバー
9 電源コード
10 DC電源
11 バッキングプレート
12 搬送ロール
13 ZnO膜
14 Ag膜
Claims (5)
- 基材上に形成される反射体であり、該反射体は、基材側から見て基材に近い側から、金属酸化物層、Agに対して小さい原子半径を有する元素がドープされたAgからなる反射層、を有するものであり、該反射体のCuKα線を用いたX線回折測定により、Agに由来する回折ピークから算出される結晶子サイズが2〜23nmであることを特徴とする反射体。
- 前記反射体のCuKα線を用いたX線回折測定により、Agの(111)面及び(200)面に由来する回折ピークが得られることを特徴とする請求項1に記載の反射体。
- 前記反射層の膜厚が50〜500nmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の反射体。
- 前記金属酸化物層がZnOからなることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の反射体。
- 基材上に形成された請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の反射体と、該反射体上に増反射膜とを有することを特徴とする可視光反射部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010274199A JP2011158888A (ja) | 2010-01-08 | 2010-12-09 | 反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010002445 | 2010-01-08 | ||
JP2010002445 | 2010-01-08 | ||
JP2010274199A JP2011158888A (ja) | 2010-01-08 | 2010-12-09 | 反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011158888A true JP2011158888A (ja) | 2011-08-18 |
Family
ID=44590835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010274199A Pending JP2011158888A (ja) | 2010-01-08 | 2010-12-09 | 反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011158888A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013180185A1 (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-05 | 旭硝子株式会社 | 高反射鏡 |
JP2014534468A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-12-18 | エージーシー グラス ユーロップ | 鏡 |
JP2015145936A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | ジオマテック株式会社 | 高反射膜、高反射膜付き基板及び高反射膜の製造方法 |
CN107620036A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-23 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 利用离子溅射法制备检测基板膜的方法 |
JP2018036604A (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | コニカミノルタ株式会社 | 光反射フィルム及び液晶表示装置用バックライトユニット |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677510A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-18 | Canon Inc | 光起電力素子 |
JPH0971441A (ja) * | 1995-09-04 | 1997-03-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 高耐久性低熱輻射多層膜構造 |
JP2000056127A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-02-25 | Mitsui Chemicals Inc | 積層体及びそれを用いたディスプレイ用光学フィルター |
JP2002049033A (ja) * | 2000-05-25 | 2002-02-15 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、その製造方法および電子機器 |
JP2002279695A (ja) * | 2000-02-10 | 2002-09-27 | Tdk Corp | 光情報媒体 |
JP2005058856A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Cosmo Oil Co Ltd | 炭化水素油の脱硫剤 |
JP2007058194A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Tohoku Univ | 高反射率可視光反射部材及びそれを用いた液晶ディスプレイバックライトユニット並びに高反射率可視光反射部材の製造方法 |
JP2009084396A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | 金属膜形成塗料及び金属膜 |
JP2009115867A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Oike Ind Co Ltd | 反射フィルムの製造方法及び反射フィルム |
WO2010098200A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | セントラル硝子株式会社 | 積層体物品 |
JP2010253921A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Central Glass Co Ltd | 積層体物品 |
-
2010
- 2010-12-09 JP JP2010274199A patent/JP2011158888A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677510A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-18 | Canon Inc | 光起電力素子 |
JPH0971441A (ja) * | 1995-09-04 | 1997-03-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 高耐久性低熱輻射多層膜構造 |
JP2000056127A (ja) * | 1998-08-05 | 2000-02-25 | Mitsui Chemicals Inc | 積層体及びそれを用いたディスプレイ用光学フィルター |
JP2002279695A (ja) * | 2000-02-10 | 2002-09-27 | Tdk Corp | 光情報媒体 |
JP2002049033A (ja) * | 2000-05-25 | 2002-02-15 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、その製造方法および電子機器 |
JP2005058856A (ja) * | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Cosmo Oil Co Ltd | 炭化水素油の脱硫剤 |
JP2007058194A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Tohoku Univ | 高反射率可視光反射部材及びそれを用いた液晶ディスプレイバックライトユニット並びに高反射率可視光反射部材の製造方法 |
JP2009084396A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | 金属膜形成塗料及び金属膜 |
JP2009115867A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Oike Ind Co Ltd | 反射フィルムの製造方法及び反射フィルム |
WO2010098200A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | セントラル硝子株式会社 | 積層体物品 |
JP2010253921A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Central Glass Co Ltd | 積層体物品 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014534468A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-12-18 | エージーシー グラス ユーロップ | 鏡 |
WO2013180185A1 (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-05 | 旭硝子株式会社 | 高反射鏡 |
JP2015145936A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | ジオマテック株式会社 | 高反射膜、高反射膜付き基板及び高反射膜の製造方法 |
JP2018036604A (ja) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | コニカミノルタ株式会社 | 光反射フィルム及び液晶表示装置用バックライトユニット |
CN107620036A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-23 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 利用离子溅射法制备检测基板膜的方法 |
CN107620036B (zh) * | 2017-09-14 | 2019-11-26 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 利用离子溅射法制备检测基板膜的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8628820B2 (en) | Reflective article and method of making a reflective article | |
WO2015194455A1 (ja) | 高耐久性銀ミラー | |
JPWO2007013269A1 (ja) | 反射膜用積層体 | |
WO2004102231A1 (ja) | 反射体、その用途および反射体の製造方法 | |
JP2011158888A (ja) | 反射体及び該反射体を用いた可視光反射部材 | |
JP6299755B2 (ja) | 保護膜、反射性部材、および保護膜の製造方法 | |
TW200422125A (en) | Reflector and its applications | |
TWI554410B (zh) | Transparent conductive film | |
WO2012014664A1 (ja) | 反射積層膜およびその製造方法 | |
JP2019149557A (ja) | 選択的にドープされた導電性酸化物層を有する太陽電池およびそれを作製する方法 | |
JP2005114649A (ja) | 時計用カバーガラス | |
KR20150141928A (ko) | 최적의 기저층 재료 및 층 스택을 갖는 개선된 저 방사율 코팅 | |
Kim et al. | Flexible and transparent TiO2/Ag/ITO multilayer electrodes on PET substrates for organic photonic devices | |
Kim et al. | ZnSnO/Ag/indium tin oxide multilayer films as a flexible and transparent electrode for photonic devices | |
JP4428152B2 (ja) | 高反射鏡 | |
JP2008190036A (ja) | 耐凝集性および耐硫化性に優れた反射膜 | |
WO2010098200A1 (ja) | 積層体物品 | |
JP5598324B2 (ja) | 低放射膜の製造方法 | |
JP2010248606A (ja) | 薄膜積層体の作製方法 | |
JP2006010929A (ja) | 高反射鏡 | |
WO2013180185A1 (ja) | 高反射鏡 | |
AU2009223621B2 (en) | Reflective article | |
JP2010253921A (ja) | 積層体物品 | |
JP2010209413A (ja) | 酸化タンタル薄膜及び薄膜積層体 | |
JP2011052294A (ja) | 低放射膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150121 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150526 |