JP2007058194A - 高反射率可視光反射部材及びそれを用いた液晶ディスプレイバックライトユニット並びに高反射率可視光反射部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板に形成した銀薄膜と前記銀薄膜上に形成した窒化珪素保護膜からなる反射部材を提供する。銀薄膜は、(111)面を主要な面方位とする銀薄膜である。銀薄膜は、99%以上が(111)面を主要な面方位とする銀薄膜が望ましい。銀薄膜の膜厚は、100nmから350nmの範囲とする。
【選択図】 図1
Description
101、701,1201、1701 基板
102、702、1202、1702 銀薄膜
103、703、1203、1703 窒化珪素膜
200 RF−DC結合型スパッタ装置
201 処理室
202 銀ターゲット
204 基板
205 高周波電源
208 ターゲット用直流電源
500 プラズマCVD用マイクロ波処理装置
503 被処理基板
504 保持台
506 上段シャワープレート
1501,1502 冷陰極蛍光ランプ
1503 拡散板
1506 反射部材
1520 バックライトユニット
1600 リアプロジェクション液晶ディスプレイ
1603,1605 可視光反射部材
1606 投影スクリーン
2011 基板用直流電源
2015 載置台(ステージ)
5015 導体構造物(下段シャワープレート)
Claims (37)
- 基板に形成した銀薄膜と、前記銀薄膜上に形成した窒化珪素膜を含むことを特徴とする反射部材。
- 前記銀薄膜は、(111)面を主要な面方位とする銀薄膜であることを特徴とする請求項1記載の反射部材。
- 前記銀薄膜は、99%以上が(111)面を主要な面方位とする銀薄膜であることを特徴とする請求項2記載の反射部材。
- 前記銀薄膜は、波長430nmにおいて96%以上の反射率を有することを特徴とする請求項1記載の反射部材。
- 前記銀薄膜の膜厚は、100nmから350nmの範囲の膜厚であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1の請求項記載の反射部材。
- 前記窒化珪素膜の膜厚は5nmから8nmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1の請求項記載の反射部材。
- 前記基板は、0.7mmから2mm厚のプラスチック材料であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1の請求項記載の反射部材
- 前記基板は可撓性のある樹脂であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1の請求項記載の反射部材。
- 前記基板は40μ以上の厚みを有することを特徴とする請求項8記載の反射部材。
- 前記銀薄膜は、不活性ガスのプラズマによるターゲット銀試料のスパッタにより形成されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1の請求項記載の反射部材。
- 前記不活性ガスはアルゴンであることを特徴とする請求項10記載の反射部材。
- 前記不活性ガスは、キセノンであることを特徴とする請求項10記載の反射部材。
- 前記基板にプラズマ中のアルゴンイオンを照射して基板表面のクリーニングを行った後に前記銀薄膜が形成されることを特徴とする請求項11記載の反射部材。
- 前記窒化珪素膜は、プラズマ用ガスとアンモニアの混合ガスを供給してプラズマを生成し、シランガスをプラズマで励起し、アンモニアとのCVDによって成膜することを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1の請求項記載の反射部材。
- 前記銀薄膜は、(200)面を主要な面方位とする銀薄膜であることを特徴とする請求項1記載の反射部材。
- 前記銀薄膜は(100)面の配向を含み、前記(100)面配向に対する(200)面配向の比が500以上であることを特徴とする請求項15記載の反射部材。
- 前記基板はSi基板又は非結晶質材料であることを特徴とする請求項15記載の反射部材。
- 請求項1乃至17のいずれか1の請求項記載の反射部材を液晶ディスプレイバックライトユニットの反射部材に使用したことを特徴とするバックライトユニット。
- 請求項18記載のバックライトユニットにおいて、前記基板はフレネル構造を有する基板であることを特徴とするバックライトユニット。
- 請求項1乃至17のいずれか1の請求項記載の反射部材をプロジェクション型液晶ディスプレイ装置の反射部材に使用することを特徴とるすプロジェクション型液晶ディスプレイ装置。
- 請求項20記載のプロジェクション型液晶ディスプレイ装置は、リアプロジェクション型であることを特徴とするプロジェクション型液晶ディスプレイ装置。
- 請求項15又は16のいずれか1の請求項記載の反射部材を用いた車両用ヘッドライト用反射鏡。
- 請求項15又は16のいずれか1の請求項記載の反射部材を用いたプロジェクタ用反射鏡。
- 請求項15又は16のいずれか1の請求項記載の反射部材を用いたミラープロジェクションアライナー用反射鏡。
- 請求項15又は16のいずれか1の請求項記載の反射部材を用いた多重反射光学機器用反射鏡。
- 基板に形成した銀薄膜と前記銀薄膜上に形成した窒化珪素膜を含む反射部材の製造方法において、不活性ガスのプラズマによるターゲット銀試料のスパッタにより銀薄膜を形成することを特徴とする反射部材の製造方法。
- 前記窒化珪素膜は、プラズマ用ガスとアンモニアの混合ガスを供給してプラズマを生成し、シランガスをプラズマで励起し、アンモニアとのCVDによって成膜することを特徴とする請求項26記載の反射部材の製造方法。
- 基板に形成した銀薄膜と前記銀薄膜上に形成した窒化珪素膜を含む反射部材の製造方法において、処理室内に設置したターゲット及び基板載置台と、前記ターゲットに供給する第1の直流電源と、ターゲットを介して処理室内部に高周波を供給する高周波電源と、前記処理室にプラズマを生成するガスを供給する手段とを含むRF−DC結合型スパッタ装置を使用し、前記ターゲットに設置した銀の試料と前記載置台との空間に不活性ガスを供給してプラズマを生成し、前記銀のスパッタリングによって前記基板表面に銀薄膜を形成することを特徴とする反射部材の製造方法。
- 前記第1の直流電源と前記高周波電源の出力を調整して前記基板に堆積する銀の成膜レートとイオン照射量を制御して銀薄膜を形成することを特徴とする請求項28記載の反射部材の製造方法。
- 前記不活性ガスとしてアルゴンを使用することを特徴とする請求項28記載の反射部材の製造方法。
- 前記基板表面に銀薄膜を形成する前に基板表面を処理室内にアルゴンのプラズマを生成し、アルゴンイオンを前記基板表面に照射してクリーニングを行うことを特徴とする請求項30記載の反射部材の製造方法。
- 前記基板載置台を介して第2の直流電源を供給し、プラズマ電位と基板電圧の差分で規定されるアルゴン照射エネルギーを設定することを特徴とする請求項31記載の反射部材の製造方法。
- 前記アルゴン照射エネルギーが15eV以下であることを特徴とする請求項32記載の反射部材の製造方法。
- 前記不活性ガスとしてキセノンを使用することを特徴とする請求項29記載の反射部材の製造方法。
- 成膜される銀原子1個に対するキセノンイオン照射量である規格化イオン照射量を1から3の範囲で成膜することを特徴とする請求項33記載の反射部材の製造方法。
- 請求項28乃至34のいずれか1に記載の反射部材の製造方法において、前記銀薄膜形成後、マイクロ波で励起されたプラズマをシャワー状に放出する上段シャワープレートと、前記上段シャワープレートの下段に載置台と対向して配置され反応性ガスを供給する複数のノズルを有する配管を所定の開口部が形成されるようにグリッド状に配列した下段シャワープレートとを有するマイクロ波プラズマ処理装置を用い、前記上段シャワープレートから供給されるアルゴンガス及びアンモニアガスでプラズマを生成し、前記下段シャワープレートから供給されるシランガスとの反応によって前記銀薄膜上に窒化珪素膜を形成することを特徴とする反射部材の製造方法。
- 前記窒化珪素膜の形成後、プラズマを励起した状態でシランガスの供給を停止し、NHラジカルを大量に発生させ前記窒化珪素膜へ照射し強固なシリコン−窒素結合を形成することを特徴とする請求項36記載の反射部材の製造方法。
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