JP5293676B2 - マイクロミラー素子 - Google Patents
マイクロミラー素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5293676B2 JP5293676B2 JP2010100902A JP2010100902A JP5293676B2 JP 5293676 B2 JP5293676 B2 JP 5293676B2 JP 2010100902 A JP2010100902 A JP 2010100902A JP 2010100902 A JP2010100902 A JP 2010100902A JP 5293676 B2 JP5293676 B2 JP 5293676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- mirror
- mirror forming
- torsion
- inner frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
110,410 ミラー基板
111,411 ミラー形成部
112 捩れ連結部
112a トーションバー
412 トーションバー
113,413 フレーム
120,420 ベース基板
210 ミラー形成部
210a,210b 第1櫛歯電極
220 内フレーム
221 内フレーム主部
221a,221b 第3櫛歯電極
222 電極基台
222a,222b 第2櫛歯電極
230 外フレーム
231 第1外フレーム部
232 第2外フレーム部
232a,232b 第4櫛歯電極
240,250 捩れ連結部
241,251,252 トーションバー
260 絶縁層
270 支持梁
Claims (9)
- フレームと、
ミラー平面を有するミラー形成部と、
前記フレームおよび前記ミラー形成部を連結するように延びるとともに、前記ミラー形成部を前記フレームに対して回転させるための回転軸心を規定し、さらに前記ミラー平面に対して平行する捩れ連結部と、を備え、
前記捩れ連結部は、前記フレームと前記ミラー形成部との間において互いに独立して直線状に延びる2本のトーションバーからなり、当該2本のトーションバーは、前記捩れ連結部の幅を規定し、前記幅は、前記ミラー形成部に接続される部分では相対的に広く、前記フレームに至るまでは、前記ミラー形成部から遠ざかるにつれて徐々に狭くなり、
前記ミラー形成部は第1櫛歯電極部を有し、
前記フレームは、前記第1櫛歯電極部との間に静電力を生じさせることにより前記ミラー形成部を変位させるための第2櫛歯電極部を有し、
前記第1櫛歯電極の歯と前記第2櫛歯電極の歯とは位置ずれするように配されていることを特徴とする、マイクロミラー素子。 - 前記2本のトーションバーのそれぞれは、前記2本のトーションバーの配列方向の幅寸法よりも前記配列方向に直交する方向の厚み寸法のほうが大である、
請求項1に記載のマイクロミラー素子。 - 更に、追加フレームと、
前記追加フレームおよび前記フレームを連結するように延びるとともに、前記フレームおよび前記ミラー形成部を前記追加フレームに対して回転させるための追加回転軸心を規定する追加捩れ連結部と、を備える、請求項2に記載のマイクロミラー素子。 - 前記追加捩れ連結部は、前記ミラー平面に対して平行であり、且つ前記追加フレームと前記フレームとの間において互いに独立して直線状に延びる2本のトーションバーからなり、当該2本のトーションバーは、前記追加捩れ連結部の第2の幅を規定し、前記第2の幅は、前記フレームに接続される部分では相対的に広く、前記追加フレームに至るまでは、前記フレームから遠ざかるにつれて徐々に狭くなる、請求項3に記載のマイクロミラー素子。
- 前記追加捩れ連結部における前記2本のトーションバーのそれぞれは、前記2本のトーションバーの配列方向の幅寸法よりも前記配列方向に直交する方向の厚み寸法のほうが大である、請求項4に記載のマイクロミラー素子。
- 内側フレームおよび外側フレームと、
ミラー平面を有するミラー形成部と、
前記内側フレームおよび前記ミラー形成部を連結するように延びるとともに、前記ミラー形成部を前記内側フレームに対して回転させるための第1回転軸心を規定する内側捩れ連結部と、
前記内側フレームおよび前記外側フレームを連結するように延びるとともに、前記内側フレームおよび前記ミラー形成部を前記外側フレームに対して回転させるための第2回転軸心を規定する外側捩れ連結部と、を備え、
前記外側捩れ連結部は、前記ミラー平面に対して平行であり、且つ前記外側フレームと前記内側フレームとの間において互いに独立して直線状に延びる2本のトーションバーからなり、当該2本のトーションバーは、前記外側捩れ連結部の幅を規定し、前記幅は、前記内側フレームに接続される部分では相対的に広く、前記外側フレームに至るまでは、前記内側フレームから遠ざかるにつれて徐々に狭くなり、
前記ミラー形成部は第1櫛歯電極部を有し、
前記内側フレームは、前記第1櫛歯電極部との間に静電力を生じさせることにより前記ミラー形成部を変位させるための第2櫛歯電極部を有し、
前記第1櫛歯電極の歯と前記第2櫛歯電極の歯とは位置ずれするように配されていることを特徴とする、マイクロミラー素子。 - 前記2本のトーションバーのそれぞれは、前記2本のトーションバーの配列方向の幅寸法よりも前記配列方向に直交する方向の厚み寸法のほうが大である、請求項6に記載のマイクロミラー素子。
- 前記外側フレームは、第1外フレーム部と、当該第1外フレーム部に絶縁層を介して積層された第2外フレーム部とを有し、
前記内側フレームは、内フレーム主部と、当該内フレーム主部に絶縁層を介して積層された電極基台とを有し、
前記外側捩れ連結部はさらに第3のトーションバーを含み、
前記第3のトーションバーは、前記内側フレームの前記内フレーム主部と前記外側フレームの前記第1外フレーム部とを架橋し、前記2本のトーションバーは、前記内側フレームの前記電極基台と前記外側フレームの前記第2外フレーム部とを架橋している、請求項6または7に記載のマイクロミラー素子。 - 前記フレームまたは前記内側フレームは第3櫛歯電極部を有し、前記追加フレームまたは前記外側フレームは、前記第3櫛歯電極部との間に静電力を生じさせることによって前記フレームまたは前記内側フレームと前記ミラー形成部とを変位させるための第4櫛歯電極部を有する、請求項3から8のいずれか1つに記載のマイクロミラー素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010100902A JP5293676B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | マイクロミラー素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010100902A JP5293676B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | マイクロミラー素子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001203152A Division JP2003015064A (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | マイクロミラー素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010198035A JP2010198035A (ja) | 2010-09-09 |
JP5293676B2 true JP5293676B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=42822742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010100902A Expired - Fee Related JP5293676B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | マイクロミラー素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5293676B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9110354B2 (en) * | 2012-09-20 | 2015-08-18 | Palo Alto Research Center Incorporated | Steerable illumination source for a compact camera |
CN114690400B (zh) * | 2020-12-29 | 2023-05-02 | 极米科技股份有限公司 | 一种静电力驱动方式的振镜 |
CN115268060A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-01 | 杭州士兰微电子股份有限公司 | Mems微镜及其制备方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04343318A (ja) * | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Fuji Electric Co Ltd | ねじり振動子 |
GB2275787A (en) * | 1993-03-05 | 1994-09-07 | British Aerospace | Silicon micro-mirror unit |
US5345521A (en) * | 1993-07-12 | 1994-09-06 | Texas Instrument Incorporated | Architecture for optical switch |
JPH0792409A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Canon Inc | 光スキャナー |
JP2000235152A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向器 |
JP2000275550A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-06 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向器及び映像表示装置 |
JP3993343B2 (ja) * | 1999-06-29 | 2007-10-17 | 富士通株式会社 | ガルバノマイクロミラー |
-
2010
- 2010-04-26 JP JP2010100902A patent/JP5293676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010198035A (ja) | 2010-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100702019B1 (ko) | 마이크로 미러 소자 | |
JP4102037B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
JP3987382B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
US7453182B2 (en) | Micro oscillating element | |
CN105353506B (zh) | 垂直梳齿驱动moems微镜及其制作方法 | |
US20090180169A1 (en) | Biaxial mems mirror with hidden hinge | |
JP4949254B2 (ja) | アクチュエータ | |
US20100231087A1 (en) | Micro oscillating element | |
JP2004139085A (ja) | 2−dアクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2007183400A (ja) | マイクロミラー、及び、マイクロミラーデバイス | |
JP2014035429A (ja) | 光偏向器 | |
JP5293676B2 (ja) | マイクロミラー素子 | |
JP2008194813A (ja) | 可動素子およびその製造方法 | |
JP4546491B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
JP4364249B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
JP2013078206A (ja) | 櫛歯型アクチュエータ | |
JP4558745B2 (ja) | 光学部品およびそれらの製造方法 | |
JP4317231B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
JP4351262B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
JP4445027B2 (ja) | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ | |
JP4414443B2 (ja) | マイクロミラー素子およびその製造方法 | |
KR20070096069A (ko) | 멤스 구조물의 토션스프링 | |
JP2005196107A (ja) | 光スイッチ及びその製造方法 | |
JP2011174977A (ja) | マイクロミラーアレイ | |
JP2011039142A (ja) | 光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111226 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120127 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121108 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130318 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130527 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5293676 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |