JP2011151277A - 吸着用部材およびその製造方法並びに真空吸着用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象物を吸着する際に用いられる吸着用部材であって、対象物が吸着される吸着面を有する吸着部と、該吸着部の周囲に設けられた支持部とを有する。吸着部は、複数のセラミック粒子と該複数のセラミック粒子を結合するガラスとを含む。該吸着部の深さ方向におけるガラス濃度の変化率は14%以内である。
【選択図】 図1
Description
(第1の実施形態)
吸着用部材は、対象物を吸着する際に用いられる。図1乃至図3に示すように、吸着用部材1aは、対象物Wが吸着される吸着面2を有する吸着部3と、吸着部3の周囲に設けられた支持部5とを有する。また、図4に示すように、吸着部3は、複数のセラミック粒子11と、セラミック粒子11同士を結合するガラス12とを含む。ここで、吸着部3の深さ方向Zにおけるガラス12の濃度の変化率は14%以内である。本実施の形態による吸着用部材1aは、吸着部3の深さ方向におけるガラス12の濃度の変化率が小さいため、吸着部3の吸着面2を吸着部3の深さ方向に研磨した場合でも、露出した面において、セラミック粒子11がガラス12によって強固に結合されている。従って、セラミック粒子11が脱粒しにくい。
次に、本発明の他の実施形態に係る吸着用部材について説明する。ここで、第1の実施形態に係る吸着用部材と同じ構成については説明を省略し、異なる構成について説明する。
次のようにして、吸着用部材1aを作製した。
実施例1と同じ吸着用部材1aを作製し、水圧を1.5MPaと大きくして評価した。その結果、試料No.10,15は、吸着部3と支持部5の間(吸着面2側)に極微細な亀裂が観察されたが、吸着用部材として使用するには問題のないことがわかった。それ以外の試料は、吸着部3が剥離せず、吸着部3と支持部5の間に亀裂が入ることもなかった。
比較例として、次のようにして吸着用部材を作製し、実施例と同じように評価できる項目を評価した。
2,2a,2b:吸着面
3,3a,3b:吸着部
5:支持部
6a,6b:吸引孔
7:取り付け穴
9:ガラス層
11:セラミック粒子
12:ガラス
13:気孔
14:隔離部
15:凹部
16:原料
17:成形体
18:成形用治具
19:金型
20:振動体
21:砥石
W,W1,W2:対象物
Claims (9)
- 対象物を吸着する際に用いられる吸着用部材であって、
前記対象物が吸着される吸着面を有する吸着部と、該吸着部の周囲に設けられた支持部とを有し、
前記吸着部は、複数のセラミック粒子と該複数のセラミック粒子を結合するガラスとを含み、該吸着部の深さ方向におけるガラス濃度の変化率は、14%以内であることを特徴とする吸着用部材。 - 前記吸着部における前記ガラスの含有量が3質量%以上14質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の吸着用部材。
- 前記複数のセラミック粒子の粒径の標準偏差σが50μm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の吸着用部材。
- 前記吸着部と前記支持部との間にガラス層が存在していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の吸着用部材。
- 対象物が吸着される吸着面を有する吸着部と、該吸着部の周囲に設けられた支持部とを有する吸着用部材の製造方法であって、
前記支持部として、凹部を有するセラミック焼結体を準備する準備工程と、
前記凹部にガラス粒子、セラミックス粒子、および水を含む原料を充填する原料充填工程と、
前記原料を振動させながら加圧することにより成形体を形成する成形工程と、
前記成形体を加熱することにより、前記ガラス粒子を溶融させて前記セラミックス粒子を該溶融したガラスにより結合させる熱処理工程と、
を有する吸着用部材の製造方法。 - 前記成形工程において、前記振動の振動数が100〜250Hzであることを特徴とする請求項5に記載の吸着用部材の製造方法。
- 前記原料充填工程において、水は、セラミック粉末とガラス粉末の合計100質量部に対して、5−10質量部である請求項5又は請求項6に記載の吸着用部材の製造方法。
- 前記準備工程の後、かつ前記原料充填工程前に、前記凹部にガラスペーストを塗布する塗布工程を有する請求項5から請求項7のいずれかに記載の吸着腰部材の製造方法。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載の吸着用部材と、
前記吸着用部材を支持するベースと
を有する真空吸着装置。
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