JP6220706B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、一方の面にセパレータ(剥離シート)が仮着された両面粘着テープ(両面接着シート)をウエハ(第1被着体)に押圧して貼付する貼付けローラと、ウエハに貼付された両面粘着テープからセパレータを剥離して回収するセパレータ回収部と、両面粘着テープを挟んでウエハと対向する位置に支持基板(第2被着体)を保持可能な複数の係止爪と、支持基板をウエハに押圧する押圧部材とを備え、両面粘着テープを介してウエハと支持基板とを貼付可能に構成されている。
また、両面接着シートと第2被着体との間に空気が入り込まないように、第2被着体を湾曲させて接着シートに貼付するため、当該第2被着体に加わるストレスが大きくなってしまうという不都合がある。
また、本発明の別の目的は、第2被着体に加わるストレスを軽減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が原反RSを図1中実線で示すようにセットし、複数の第2被着体WK2をテーブル73上に重ねて収容した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段20および引抜手段50が回動モータ24A、51A、53Aを駆動し、原反RSを繰り出す。そして、剥離板23上に位置する両面接着シートASが所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、繰出手段20および引抜手段50が回動モータ24A、51A、53Aの駆動を停止し、当該繰出手段20がスタンバイ状態となる。次いで、第2被着体供給手段70が直動モータ72を駆動し、テーブル73を昇降させ、最上部に位置する第2被着体WK2の上面が検知手段74に検知されると、直動モータ72の駆動を停止する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図1中実線で示す初期位置にあるテーブル62上に第1被着体WK1を載置すると、第1被着体支持手段60が図示しない減圧手段を駆動し、当該第1被着体WK1を吸着保持した後、リニアモータ61を駆動し、テーブル62を左方向に移動させる。
また、押圧手段40は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって、支持面45Aに第2被着体WK2を引き付けて保持するように構成してもよいし、メカチャックで第2被着体WK2を保持するように構成してもよい。
さらに、押圧手段40は、エア噴き付けにより第2被着体WK2を両面接着シートASに押圧する構成を採用してもよいし、ベースプレート44を介さずに支持部材45を支持してもよい。
また、押圧手段40を設けずに、人手で第2被着体WK2を押圧するようにしてもよい。
また、引抜手段50が回動モータ51A、53Aの駆動を停止するタイミングは、引き抜かれた第1剥離シートRL1が所定の位置に達したことを光学センサやカメラ等の撮像手段が検知したときでもよい。
さらに、引抜手段50は、回動モータ51A、駆動ローラ51およびピンチローラ52を設けずに、回動モータ53Aによって回収ローラ53を駆動し、第1剥離シートRL1を引き抜いてもよい。
また、引抜手段50は、剥離抑制手段を設けなくてもよいし、図2(B)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ30に第1剥離シートRL1を掛け回し、当該押圧ローラ30を剥離抑制手段として機能させてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 繰出手段
30 押圧ローラ(貼付手段)
40 押圧手段
50 引抜手段
AP1 仮着面
AS 両面接着シート
RL1 第1剥離シート
RL2 第2剥離シート
RS 原反
SA1 第1接着面
SA2 第2接着面
WK1 第1被着体
WK2 第2被着体
Claims (4)
- 一方の面が第1接着面とされ、他方の面が第2接着面とされた両面接着シートを介して第1被着体と第2被着体とを貼付するシート貼付装置であって、
前記両面接着シートの第1接着面に帯状の第1剥離シートが仮着され、前記第2接着面に帯状の第2剥離シートが仮着された原反から当該第2剥離シートを剥離するとともに、前記第1剥離シートが前記第1接着面に仮着した状態のまま前記両面接着シートを繰り出し、前記第1接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記第1剥離シートを折り返して当該両面接着シートを供給する繰出手段と、
前記繰出手段で供給された両面接着シートを前記第1剥離シート側から前記第1被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記第2被着体は、前記折り返された第1剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに押圧され、
前記第2被着体と前記両面接着シートとの間から前記折り返された第1剥離シートを介して当該第1剥離シートを引き抜く引抜手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 一方の面が第1接着面とされ、他方の面が第2接着面とされた両面接着シートを介して第1被着体と第2被着体とを貼付するシート貼付装置であって、
前記両面接着シートの第1接着面に帯状の第1剥離シートが仮着され、前記第2接着面に帯状の第2剥離シートが仮着された原反から当該第2剥離シートを剥離するとともに、前記第1剥離シートが前記第1接着面に仮着した状態のまま前記両面接着シートを繰り出し、前記第1接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記第1剥離シートを折り返して当該両面接着シートを供給する繰出手段と、
前記繰出手段で供給された両面接着シートを前記第1剥離シート側から前記第1被着体に押圧して貼付する貼付手段と、
前記折り返された第1剥離シートを間に挟んで、前記第2被着体を前記両面接着シートに押圧する押圧手段と、
前記第2被着体と前記両面接着シートとの間から前記折り返された第1剥離シートを介して当該第1剥離シートを引き抜く引抜手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記引抜手段は、前記第1接着面から前記第1剥離シートを部分的に剥離する部分剥離が可能に設けられ、当該部分剥離で表出した前記第1接着面の一部に前記第2被着体を押圧して貼付してから、前記第1剥離シートを引き抜く制御が可能に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
- 一方の面が第1接着面とされ、他方の面が第2接着面とされた両面接着シートを介して第1被着体と第2被着体とを貼付するシート貼付方法であって、
前記両面接着シートの第1接着面に帯状の第1剥離シートが仮着され、前記第2接着面に帯状の第2剥離シートが仮着された原反から当該第2剥離シートを剥離するとともに、前記第1剥離シートが前記第1接着面に仮着した状態のまま前記両面接着シートを繰り出し、前記第1接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記第1剥離シートを折り返して当該両面接着シートを供給する工程と、
供給された両面接着シートを前記第1剥離シート側から前記第1被着体に押圧して貼付する工程と、
前記折り返された第1剥離シートを間に挟んで、前記第2被着体を前記両面接着シートに押圧する工程と、
前記第2被着体と前記両面接着シートとの間から前記折り返された第1剥離シートを介して当該第1剥離シートを引き抜く工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。
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