JP4470201B2 - ゲートバルブ - Google Patents
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- Sliding Valves (AREA)
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Description
直進形ゲートバルブの外形は横方向(流路の中心と収納室の中心とを結ぶ直線に平行な方向)の長さが流路径の約4倍となり、揺動形ゲートバルブの外形は横方向の長さが約2.5倍である。そして、揺動形ゲートバルブは、揺動軸のスペースと弁体の回転半径が必要であるので、直進形ゲートバルブよりも縦方向(流路の中心と収納室の中心とを結ぶ直線に垂直な方向)の長さが長く幅広になる。
Claims (6)
- バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、上記バルブ本体内の弁室において上記主弁体が上記主弁座との対向位置で上記排気流路の軸線方向に移動可能に配設されていて、上記主弁体のシール位置では上記主弁体の主弁シールが上記主弁座と接触して上記排気流路の連通が遮断されると共に、上記弁室内で上記主弁体が上記主弁座から所定距離だけ離隔された弁室待機位置では上記排気流路が連通され、さらに、上記主弁体が上記弁室待機位置から上記排気流路の軸線に対して垂直方向に直線移動して、上記弁室に隣接する上記バルブ本体内の収納室の収納室待機位置に移されて、上記主弁が全開するように構成されたゲートバルブにおいて、
上記主弁体を、上記収納室待機位置から上記排気流路の軸線と平行方向に移動させて上記収納室の収納位置に保持可能とし、
上記収納位置においては、上記主弁体に上記主弁シールの周囲を囲むように設けた遮蔽リングが上記収納室底面に当接し、上記遮蔽リングの内側に配設された上記主弁シールが、上記主弁体、上記収納室底面及び上記遮蔽リングによって遮蔽されるものとし、
上記弁室の上記弁室待機位置と上記収納室の上記収納室待機位置との間の移動空間で、上記主弁体を上記排気流路の軸線と垂直な平面内において直線移動させるためのアクチュエータを備え、
上記アクチュエータが、上記主弁体の上記直線移動方向と平行に往復動するピストンロッドを備えた空気圧シリンダからなり、上記ピストンロッドを上記バルブ本体内に突出させ、上記空気圧シリンダのシリンダチューブを上記移動空間の一側に隣接させて上記バルブ本体と一体に形成し、上記バルブ本体内で、上記ピストンロッドの先端部を上記主弁体の一部に連結している、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、上記バルブ本体内の弁室において上記主弁体が上記主弁座との対向位置で上記排気流路の軸線方向に移動可能に配設されていて、上記主弁体のシール位置では上記主弁体の主弁シールが上記主弁座と接触して上記排気流路の連通が遮断されると共に、上記弁室内で上記主弁体が上記主弁座から所定距離だけ離隔された弁室待機位置では上記排気流路が連通され、さらに、上記主弁体が上記弁室待機位置から上記排気流路の軸線に対して垂直方向に直線移動して、上記弁室に隣接する上記バルブ本体内の収納室の収納室待機位置に移されて、上記主弁が全開するように構成されたゲートバルブにおいて、
上記主弁体を、上記収納室待機位置から上記排気流路の軸線と平行方向に移動させて上記収納室の収納位置に保持可能とし、
上記収納位置においては、上記主弁体に上記主弁シールの周囲を囲むように設けた遮蔽リングが収納室底面に当接し、上記遮蔽リングの内側に配設された上記主弁シールが、上記主弁体、上記収納室底面及び上記遮蔽リングによって遮蔽されるものとし、
上記弁室の上記弁室待機位置と上記収納室の上記収納室待機位置との間の移動空間で、上記主弁体を上記排気流路の軸線と垂直な平面内において直線移動させるためのアクチュエータを備え、
上記バルブ本体内において、上記移動空間に上記主弁体の上記直線移動方向と平行な軌道が配設され、上記軌道に沿って台車が移動可能に支持され、上記台車と共に上記弁室から上記収納室内まで移動することにより上記主弁の上記排気流路を全開させる上記主弁体が、上記台車の上記主弁座側に支持され、
上記アクチュエータが直動形でその往復運動が変換されて揺動運動する揺動軸が上記排気流路の軸線と平行に支持され、滑り溝が形成された受動アームが上記揺動軸に固定され、上記台車に固定された上記主弁体の中央軸と同軸線上の係合軸が上記受動アームの上記滑り溝に係合されることにより、上記揺動軸の揺動運動が上記係合軸の直線運動に変換されるように構成されており、
上記アクチュエータが、上記バルブ本体外面における上記排気流路が開口する面と同じ側に配設されている、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - バルブ本体に、チェンバーポートからポンプポートに到る直進形排気流路が形成されると共に主弁体及び主弁座からなる主弁が配設され、上記バルブ本体内の弁室において上記主弁体が上記主弁座との対向位置で上記排気流路の軸線方向に移動可能に配設されていて、上記主弁体のシール位置では上記主弁体の主弁シールが上記主弁座と接触して上記排気流路の連通が遮断されると共に、上記弁室内で上記主弁体が上記主弁座から所定距離だけ離隔された弁室待機位置では上記排気流路が連通され、さらに、上記主弁体が上記弁室待機位置から上記排気流路の軸線に対して垂直方向に直線移動して、上記弁室に隣接する上記バルブ本体内の収納室の収納室待機位置に移されて、上記主弁が全開するように構成されたゲートバルブにおいて、
上記主弁体を、上記収納室待機位置から上記排気流路の軸線と平行方向に移動させて上記収納室の収納位置に保持可能とし、
上記収納位置においては、上記主弁体に上記主弁シールの周囲を囲むように設けた遮蔽リングが収納室底面に当接し、上記遮蔽リングの内側に配設された上記主弁シールが、上記主弁体、上記収納室底面及び上記遮蔽リングによって遮蔽されるものとし、
上記弁室の上記弁室待機位置と上記収納室の上記収納室待機位置との間の移動空間で、上記主弁体を上記排気流路の軸線と垂直な平面内において直線移動させるためのアクチュエータを備え、
上記バルブ本体内において、上記移動空間の互いに対向する両側壁が上記主弁体の上記直線移動方向と平行に形成され、上記主弁体が上記両側壁に接触して上記排気流路の軸線と平行な上記方向及び上記軸線と垂直な上記方向に移動可能な支持機構が配設され、
上記アクチュエータが直動形でその往復運動が変換されて揺動運動する揺動軸が上記排気流路の軸線と平行に支持され、滑り溝が形成された受動アームが上記揺動軸に固定され、上記主弁体に固定された係合軸が上記受動アームの上記滑り溝に係合されることにより、上記揺動軸の揺動運動が上記係合軸の直線運動に変換されるように構成されており、
上記アクチュエータが、上記バルブ本体外面における上記排気流路が開口する面と同じ側に配設されている、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 上記アクチュエータが空気圧シリンダであって、そのピストンロッドが上記揺動軸に固定された駆動アームに連結されていることを特徴とする請求項2又は3のゲートバルブ。
- 上記主弁体にばね、ローラー軸、ローラーからなる浮上機構が配設され、上記主弁体に上記ばねの基端部が固定され、上記ばねの先端部にローラー軸が保持され、上記ローラー軸に上記ローラーが回転自在に支持され、上記ローラーが上記弁室底面又は上記収納室底面に常に接触し、上記ばねの付勢力により上記主弁体が上記弁室底面又は上記収納室底面から所定距離だけ離隔するようにされたことを特徴とする請求項1又は3に記載のゲートバルブ。
- 上記主弁体にばね、ローラー軸、側面ローラーからなる上記支持機構が配設され、上記主弁体に上記ばねの基端部が固定され、上記ばねの先端部に上記ローラー軸が保持され、上記ローラー軸には支持部が配設され、上記ローラー軸の支持部に上記側面ローラーが回転自在に支持され、上記側面ローラーが上記バルブ本体の両側壁に常に接触するようにされたことを特徴とする請求項3に記載のゲートバルブ。
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