JP2011117936A - 平板状被検査体の試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 被検査体が接触子に落下することを防止すること
【解決手段】 検査装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材とを含む。複数の保護部材は前記矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、また各保護部材の上端は前記接触子の高さ位置の上方に位置されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体を試験する装置に関する。

液晶表示パネルのような表示用パネルの点灯試験をする装置は、一般に、被検査体を受ける検査ステージやワークテーブルのようなパネル受けと、ＸＹＺの３方向とＺ方向へ延びるθ軸線の周りに変位させるステージ移動機構と、被検査体の電極に接触される複数の接触子を有する複数のプローブブロックを備えるプローブユニットとを含む技術がある（特許文献１，２，３，４等参照）。

これらの従来技術は、いずれも、プローブブロックをパネル受け面の側方に退避させた状態で、被検査体を搬送装置により、パネル受けに対し上方から受け渡す。被検査体の試験時、接触子の針先が被検査体の電極に接触するように、プローブブロックがＸ方向又はＹ方向に移動されると共に、プローブブロック及びパネル受けが相寄る方向に移動される。

上記のような試験装置においては、パネル受けに対する被検査体の受け渡し時及び搬送時に、被検査体が搬送装置から落下することがある。そのような場合、被検査体がプローブブロック、特に接触子に衝突すると、接触子が損傷されて、使用不能になる。

特開２００６−１１９０３１号公報 特開２００６−１３８６３４号公報 特開２００７− ４０７４７号公報

本発明の目的は、被検査体が接触子に落下することを防止することにある。

本発明に係る検査装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面に対して受け渡される被検査体から前記接触子を保護する保護装置であって、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材を備える保護装置とを含む。複数の保護部材は、前記矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、各保護部材の上端は、前記接触子の高さ位置より上方に位置されている。

前記保護装置は、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含むことができる。前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構及び一対の第１の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含むことができる。前記プッシャー機構又は前記位置決め機構を前記保護部材として作用させてもよい。

前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置にされた押圧部材と、該押圧部材を支持する支持部材であって、前記上端部を有する支持部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させるべく前記支持部材を移動させる駆動機構とを備えることができる。

各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持することができる。

各保護部材は、前記パネル受けに取り付けられた基部と、該基部から上方へ延びる延在部とを備えることができる。

前記複数の保護部材は、該保護部材が離間する方向に間隔をおいた複数の箇所の適宜な箇所に選択的に取り付け可能に前記パネル受けに配置されていることができる。

前記パネル受けは、さらに、前記複数の保護部材が離間する方向に延びる長尺部材を備えることができる。該長尺部材は、前記複数の保護部材を取り外し可能にねじ止めするねじ部材が選択的に螺合される複数のねじ穴であって、前記離間する方向に間隔をおいた複数のねじ穴を有することができる。

前記プローブブロックは、前記辺の方向と交差する方向における前記保護部材の位置に対して前記パネル受け面の側と反対の側に前記接触子の針先が位置する箇所に後退可能に前記パネル受けに配置されていることができる。

前記パネル受けは、矩形の開口を共同して形成する４つの辺部材であって、前記パネル受け面を共同して形成する４つの辺部材を備えることができ、各辺部材は前記矩形の１つの辺に対応されていてもよく、各プローブユニット及び各保護部材は同じ前記辺部材に配置されていてもよい。

本発明に係る試験装置は、さらに、テーブルベースを含むことができる。各辺部材は前記開口の大きさを可変可能にＸ方向及びＹ方向へ移動可能に前記テーブルベースに配置された移動片を含むことができ、該移動片は、前記テーブルベースに該テーブルベースと平行に配置された第１の片部と、該第１の片部の前記パネル受け面の側から上方に立ち上がる、前記パネル受け面の一部を形成する上面を有する第２の片部とを備えることができ、前記プローブユニット及び前記保護部材は前記第１の片部に配置されていることができる。

対向する一対の移動片及び対向する他の一対の移動片は、それぞれ、Ｙ方向及びＸ方向に間隔をおいてＸ方向及びＹ方向に平行に延びていてもよく、それら４つの移動片は、前記開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されていることができ、隣り合う移動片は、それぞれがＹ方向又はＸ方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されていてもよい。

各移動片の前記第１及び第２の片部は、その移動方向に長い板状部を含むことができる。

本発明に係る試験装置は、さらに、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含むことができる。前記アライメント装置は、前記矩形の各辺に対応する箇所に配置された少なくとも１つのプッシャー機構又は位置決め機構を含むことができる。前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置にあって、前記パネル受け面の外側に位置された押圧部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させる駆動機構とを備えることができる。各保護部材の上端は、前記押圧部材の高さ位置の上方に位置されていてもよい。

上記の前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構及び一対の第１の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含むことができ。各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持することができる。

本発明においては、複数の保護部材が矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、しかも各保護部材の上端が接触子の高さ位置の上方に位置されているから、たとえ被検査体が接触子に衝突するような状態で落下しても、被検査体は保護部材に受けられる。その結果、接触子への被検査体の落下が防止され、接触子の損傷が防止される。

保護装置が、矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構及び一対の第１の位置決め機構を備えるアライメント装置を含み、プッシャー機構又は位置決め機構が保護部材として作用するならば、保護部材をプッシャー機構又は位置決め機構以外の部材として別個に設ける場合に比べ、部品点数が少なくなる。

パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含み、かつ各保護部材がアライメント装置とは別個に備えられた検査装置において、各保護部材の上端が前記押圧部材の高さ位置の上方に位置されているならば、落下する被検査体は、アライメント装置に接触する前に、保護部材に接触する。その結果、押圧部材への被検査体の落下が防止される。

本発明に係る試験装置の一実施例を示す斜視図。 図１に示す試験装置の平面図。 図２における３−３線に沿って得た断面図。 プラットホーム及びテーブルユニットを除去して示す、図１に示す試験装置の斜視図。 プラットホーム及びテーブルユニットを除去した、図１に示す試験装置の一部の断面図。 パネル受け、アライメント装置及び保護部材の結合状態を示す斜視図。 結合装置の一実施例を説明すべく、パネル受けとこれを受けるテーブルベースとを分解して示す斜視図。 図７の平面図 図８における９−９線に沿って得た断面図。 図８における１０−１０線に沿って得た断面図。 アライメント装置及びプローブユニットの変位状態を説明する図であって、（Ａ）は被検査体をパネル受けに対し受け渡す状態を示し、（Ｂ）は被検査体をアライメント装置によりクランプした状態を示し、（Ｃ）は被検査体のアライメントをする状態を示す。 図１に示す試験装置による位置決めを説明するための図であって、被検査体をθ軸線の周りに角度的に回転させる状態を説明する図。 本発明に係る試験装置の第2の実施例を示す斜視図であって、プラットホーム、テーブルベース及び結合機構を省略した図。 図１３に示す試験装置において、パネル受け、プローブユニット、ユニット支持機構及びアライメント装置を示す斜視図。 図14における１５−１５線に沿って得た断面図。 図１３に示す試験装置において、パネル受けと押圧部材と接触子との高さ位置関係を説明するための拡大図。

［用語の説明］

本発明においては、図２において、上下方向をＺ方向又は上下方向といい、左右方向をＸ方向又は左右方向といい、紙背方向をＹ方向又は前後方向という。しかし、それらの方向は試験時の被検査体の姿勢に応じて異なる。

それゆえに、本発明に係る試験装置は、Ｘ方向及びＹ方向により規定されるＸＹ面が、水平面となる状態、水平面に対し傾斜した状態となる状態等、いずれの状態で使用してもよい。

［実施例］

図１〜図４を参照するに、試験装置１０は、液晶を封入した液晶表示パネルのような表示用パネルを平板状被検査体１２（図３，５，１１，１２等参照）とし、その被検査体１２を所定の電気回路に接続して、点灯検査のような電気的試験をする装置として用いられる。

被検査体１２は、矩形の形状を有しており、また矩形のいくつかの辺に対応する縁部の各々に複数の電極を備える。以下、理解を容易にするために、被検査体１２は、Ｘ方向に長い長方形の形状を有するものとして説明する。図示の例では、矩形の隣り合う２つの辺に対応する２つの縁部のそれぞれに複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有する。

［試験装置］

試験装置１０は、機器ベースすなわちプラットホーム１４と、プラットホーム１４の上側に間隔をおいて配置されたテーブルベース１６と、テーブルベース１６の上側に配置されて、被検査体１２を受けるパネル受け１８と、パネル受け１６の上側に配置された複数のプローブユニット２０と、各プローブユニット２０をパネル受け１６に支持させるユニット支持機構２２と、パネル受け１８に受けられた被検査体１２のマーク部を上方から撮影するようにプローブユニット２０に取り付けられた複数のカメラ装置２４と、パネル受け１８に受けられた被検査体１２をパネル受け１８に対し位置決める、後に説明するアライメント装置と、パネル受け１８の上に配置された複数の保護部材２６とを含む。

図示の例では、プローブユニット２０が矩形の隣り合う２つ辺に対応する箇所のそれぞれに配置されており、また複数の保護部材２６が、プローブユニット２０が配置された箇所のそれぞれに配置されている。しかし、プローブユニット２０及び保護部材２６の配置箇所は、被検査体１２の電極の配置位置に応じて決定される。

すなわち、被検査体１２には、上記のような被検査体のもならず、複数の電極を、矩形の１つの辺に対応する箇所に配置したもの、矩形の対向する２つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置したもの、矩形の３つの辺に対応する箇所のそれぞれに配置したもの等もある。それゆえに、プローブユニット２０は電極が配置された箇所に配置され、接触子を保護する保護部材２６はプローブユニットが配置された箇所に配置される。

図示の例では、また、ユニット支持機構２２が矩形の各辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。しかし、ユニット支持機構２２は、プローブユニット２０が配置されていない箇所に配置しなくてもよい。

図示の例では、さらに、２つのカメラ装置２４が矩形の隣り合う２つ辺の一方に対応する箇所にその辺の長手方向に間隔をおいて配置されていると共に、１つのカメラ装置２４が前記隣り合う２つ辺の他方に対応する箇所に配置されている。しかし、２つのカメラ装置２４をプローブユニット２０のそれぞれにプローブユニット２０の長手方向に間隔をおいて配置してもよい。

プラットホーム１４は、試験装置１０のフレーム（図示せず）に支持されている。しかし、プラットホーム１４は、フレームの一部であってもよい。プラットホーム１４とテーブルベース１６とは、矩形の板の形状を有しており、またテーブルベース１６がプラットホーム１４の上方に位置する状態に、Ｚ（上下）方向に間隔をおいている。

テーブルベース１６は、複数の支柱３０（図４参照）により、プラットホーム１４に支持されており、また被検査体１２より大きい矩形の開口１６ａ（図３参照）を中央領域に有している。プラットホーム１４とテーブルベース１６との間には、既知のバックライトユニット３２（図４参照）が配置されている。バックライトユニット３２は、被検査体１２の背面に光をテーブルベース１６、パネル受け１８等の開口を介して照射する既知の装置である。

［パネル受け］

パネル受け１８は、図７に詳細に示すように、井桁状又は卍型状に組み合わされた４つの片部材すなわち移動片３４を備える。各移動片３４は、幅寸法の小さい長方形をした板状の第１の片部３４ａと、幅寸法の小さい長方形をした板状の第２の片部３４ｂとを、第１の片部３４ａがテーブルベース１６と平行となり、第２の片部３４ｂの幅方向が上下方向となる状態に、Ｌ字状に結合している。

一方の対向する移動片３４はＸＹ面内をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びており、対向する他方の移動片３４はＸＹ面内をＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に延びている。それらの移動片３４は、結合機構４０により、テーブルベース１６と平行の面（ＸＹ面）内を二次元的に（Ｘ方向及びＹ方向に）移動可能にテーブルベース１６に結合されている。

それら４つの移動片３４は、被検査体１２と相似する矩形の開口３６を共同して形成していると共に、矩形のパネル受け面３８を開口３６の周りに第２の片部３４ｂの頂面に形成している。開口３６は、バックライトユニット３２からの光がパネル受け面３８に受けられた被検査体１２に進むことを許すように、テーブルベース１６の開口１６ａに対向されている。

そのような４つの移動片３４は、開口３６の大きさを可変可能に（すなわち、ＸＹ面内を二次元的に移動可能に）、テーブルベース１６に結合されている。

隣り合う２つの移動片３４のそれぞれは、Ｘ方向又はＹ方向（その移動片３４の長手方向）に一体となって移動可能に、及びＹ方向又はＸ方向に個々に移動可能に、隣り合う２つの移動片３４の一方の幅方向における一端部（開口３６側の端部）と、前記隣り合う２つの移動片３４の他方の長手方向における一端部とにおいて、適宜な結合手段により結合されている。これにより、隣り合う移動片３４は、相手の移動片３４が独立してＹ方向又はＸ方向へ移動することを妨げることなく、結合されている。

そのような結合手段として、例えば、Ｘ方向（又はＹ方向）に延びて開口３６の側に開放すると共に、截頭三角形の断面形状を有する、いわゆる蟻溝と、その蟻溝に滑動可能に嵌合された、截頭三角形の断面形状を有する、いわゆる蟻柄との組み合せを用いることができる。

蟻溝は隣り合う２つの移動片３４の一方の幅方向における開口３６の側の端縁部に形成され、蟻柄は隣り合う２つの移動片３４の他方の長手方向における一端縁部に形成される。

しかし、蟻溝と蟻柄との組み合わせに代えて、ガイドレールと、該ガイドレールに滑動可能に及び離脱不能に結合されたガイドとの組み合せのような、他の結合手段を用いてもよい。

図示してはいないが、各移動片３４には、被検査体１２をパネル受け面３８に吸着する吸着装置と被検査体１２をパネル受け面３８から浮上させる浮上装置とが設けられている。

吸着装置として、パネル受け面３８に開放しかつ真空装置のような減圧源に接続される複数の溝又は穴を用いた真空吸着装置を用いることができる。

浮上装置は、前記したアライメント装置により被検査体１２を変位させるときに、被検査体１２をパネル受け面３８から浮上させて、アライメント時における被検査体１２の移動を円滑にする。

そのような浮上装置として、一部がパネル受け面３８に対し出没可能に筒部材に配置されたボールと、ボールの一部をパネル受け面３８に露出させるように付勢するばねとを用いた機械的な浮上装置、圧縮空気で被検査体１２をパネル受け面３８から浮上させる空気式の浮上装置等を用いることができる。

被検査体１２は、電気的試験の間は吸着装置によりパネル受け面３８に真空的に吸着されて確実に維持され、またパネル受け面３８に対する被検査体１２の受け渡し時は吸着を解除され、アライメント時は吸着を解除されて浮上装置によりパネル受け面３８から僅かに浮上される。

［結合機構］

図１，２，３，７，８，９，１０等に示すように、結合機構４０は、４つの移動片３４をＸ方向及びＹ方向に移動可能にテーブルベース１６に結合するために、テーブルベース１６とパネル受け１８との間に配置されている。

結合機構４０は、図示の例では、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に延びて、Ｘ方向へ移動可能にテーブルベース１６に配置された帯状の一対の第１のスライダ４２と、第１のスライダ４２の上方をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びて、Ｙ方向へ移動可能にテーブルベース１６に配置された帯状の一対の第２のスライダ４４と、２組の結合部材４６ａ，４６ｂと、Ｘ方向へ延びる各移動片３４の第１の部材３４ａの下面にその長手方向に間隔をおいて設けられた一対のガイド４７ａ，４７ｂと、Ｘ方向へ延びる各移動片３４の第１の部材３４ａの下面にＹ方向に間隔をおいて設けられた一対のレール４９ａと、ＹＸ方向へ延びる各移動片３４の第１の部材３４ａの下面にＹ方向に間隔をおいて設けられた一対のレール４９ｂとを備える。

スライダ４２及び４４のそれぞれは、テーブルベース１６の上面に備えられた一対のレール４８及び４８に、Ｘ方向又はＹ方向へ移動可能に、各スライダの一端部及び他端部において結合されている。

各結合部材４６ａは、対応する第１のスライダ４２に設けられてＹ方向へ延びる一対のレール５０にＹ方向へ移動可能に結合されており、またＸ方向へ延びる移動片３４に設けられたレール４９ａにＸ方向へ移動可能に嵌合されたガイド５１ａを上部に有する（図９参照）。

各結合部材４６ｂは、対応する第１のスライダ４２に設けられてＹ方向へ延びる一対のレール５０にＹ方向へ移動可能に結合されており、またＹ方向へ延びる移動片３４に設けられたレール４９ｂにＹ方向へ移動可能に嵌合されたガイド５１ｂを上部に有する（図１０参照）。

Ｘ方向へ延びる各移動片３４に設けられた一対のガイド４７ａ，４７ｂは、対応する第２のスライダ４４に設けられたレール５０に嵌合されている。

上記の結果、各移動片３４は、テーブルベース１６にＸＹ面内を２次元的に移動可能に結合されて、支持されている。

第１及び第２のスライダ４２及び４４のそれぞれは、移動片移動機構５２により、Ｘ方向（又はＹ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。

図示の例では、各移動片移動機構５２として、テーブルベース１６の上面に設置されたモータと、Ｘ方向（又はＹ方向）に延びる状態に前記モータに連結されて、該モータにより回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されかつスライダ４２又は４４に連結具により連結されたナットとを用いた機構を用いている。モータは、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータである。

例えば、Ｙ方向へ延びる各スライダ４２が対応する移動片移動機構５２によりＸ方向へ移動されると、結合部材４６ｂを介してスライダ４４に連結されたＹ方向へ延びる移動片３４がレール４９ｂとガイド５１ｂとの結合によりＸ方向へ移動されると共に、その移動片３４に連結されかつＸ方向へ延びる移動片３４が押し引きによりＸ方向へ移動される。

また、Ｘ方向へ延びる各スライダ４４が対応する移動片移動機構５２によりＹ方向へ移動されると、結合部材４６ａを介してスライダ４４に連結されかつＸ方向へ延びる移動片３４がレール４９ａとガイド５１ａとの結合によりＹ方向へ移動されると共に、その移動片３４に連結されかつＹ方向へ延びる移動片３４が押し引きによりＹ方向へ移動される。

このため、４つの移動片３４は、開口３６の大きさが変化するように、２次元的に移動される。その結果、開口３６、ひいてはパネル受け面３８の大きさを試験すべき被検査体１２の大きさに応じて変更することができる。この作業は、被検査体１２の点灯試験に先だって行われる。

［アライメント装置］

図１から３を参照するに、前記したアライメント装置は、パネル受け面３８の対向する一対の辺（Ｘ辺）の一方及び他方に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構６０及び一対の第１の位置決め機構６２と、パネル受け面３８の対向する他の一対の辺（Ｙ辺）の一方及び他方に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構６４及び第２の位置決め機構６６とを含む。

プッシャー機構６０，６４のそれぞれは、被検査体１２を、プッシャー機構６０又は６４が配置された側と反対の側に配置された位置決め機構６２又は６６に対し進退させる。これに対し、位置決め機構６２，６６のそれぞれは、Ｘ方向（又はＹ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。

プッシャー機構６０，６４及び位置決め機構６２，６６のそれぞれは、その１つ５６を図５及び６に代表して示すように、パネル受け面３８と同じ高さ位置にあって、平面的に見てパネル受け面３８の外側に位置された押圧部材７０と、押圧部材７０が支持された支柱状の移動体７２と、移動体７２ひいては押圧部材７０をパネル受け面３８に対し進退させる駆動機構７４と、それらを支持する支持板７６とを備える。

図示の例では、移動体７２は上下方向に延びる支柱状の形状を有する。押圧部材７０は、取り付けピン７８により移動体７２の上端部にＺ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたローラであるが、他の部材であってもよい。

支持板７６は、パネル受け１８の移動片３４の第１の片部３４ａの上面に設けられた一対のレール８０に第１の片部３４ａの長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ移動可能に組み付けられている。両レール８０は、第１の片部３４ａの幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて、長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に平行に延びている。

支持板７６は、ガイド８２により一方のレール８０に組み付けられており、また他方のレール８０の上面に載置されている。このため、一方のレール８０はガイドレールとして作用する。他方のレール８０は、上方に開放する雌ねじ穴８４をそのレール８０の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に間隔をおいた複数箇所のそれぞれに備えている（図６参照）。

図６に示すように、他方のレール８０には、Ｘ方向（又はＹ方向）に延びる長穴８６を有する帯状の止め金具８８が載置されていると共に、支持板７６に相対的移動不能に設けられている。止め金具８８は、長穴８６に上方から差し込まれて、雌ねじ穴１０４に螺合されたボルト９０により、他方のレール８０に解除可能に取り付けられる。これにより、各支持板７６は、Ｘ方向（又はＹ方向）における所定の位置に解除可能に固定される。

上記の結果、プッシャー機構６０，６４及び位置決め機構６２，６６のそれぞれは、Ｘ方向（又はＹ方向）における所定の位置に解除可能に固定される。このため、他方のレール８０は、Ｘ方向（又はＹ方向）におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置を解除可能に固定する固定レールとして作用する。

しかし、Ｘ方向（又はＹ方向）におけるプッシャー機構及び位置決め機構の位置は、ボルト９０が螺合する雌ねじ穴８４と、ボルト９０に対する止め金具８８の位置を変更することにより、被検査体１２の種類、大きさ等に応じて選択することができる。

各駆動機構７４は、第１の片部３４ａの長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に間隔をおいて第１の片部３４ａの幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に延びる一対のレール９２と、各レール９２に第１の片部３４ａの幅方向へ移動可能に嵌合されたスライダ９４と、両スライダ９４を連結する連結板９６と、押圧部材７０を支持板７６の幅方向へ移動させる駆動源９８とを備える。

スライダ９４は、連結板９６の下面に取り付けられている。駆動源９８は、図５及び６においては空中に浮いているように示しているが、実際には支持板７６に移動不能に支持されている。移動体７２は連結板９６の上に直立状態に取り付けられている。しかし、移動体７２と連結板９６とを一体的な構造としてもよい。

プッシャー機構６０，６４の各駆動源９８は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構である。このシリンダ機構は、そのシリンダが支持板７６に取り付けられ、ピストンロッドが移動体７２に連結されている。ピストンロッドをスライダ９４に連結してもよい。

プッシャー機構６０，６４の各駆動機構７４は、移動体７２を駆動源９８により第２の片部３４ｂに対し進退させることにより、押圧部材７０をパネル受け面３８、ひいては被検査体１２に対して進退させる。

位置決め機構６２，６６の各駆動源９８は、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータである。このため、位置決め機構６２，６６の各駆動機構７４は、さらに、対応する駆動源９８から支持板７６の幅方向の幅方向に延びて、対応する駆動源９８により回転されるボールねじ（図示せず）と、該ボールねじに螺合されたナット（図示せず）とを備える。ナットは移動体７２（又は連結板９６）に取り付けられている。

位置決め機構６２，６６の各駆動機構７４は、ボールねじを駆動源９８により回転させることにより、ナットを第２の片部３４ｂに対し進退させ、それにより押圧部材７０をパネル受け面３８、ひいては被検査体１２に対して進退させる。しかし、対応する押圧部材７０の進退方向における押圧部材７０の位置を対向するプッシャー機構６０又は６４の押圧力に抗して解除可能に維持する。

図１２に示すように、プッシャー機構６０，６４の各駆動源（シリンダ機構）９８は、互いに異なる圧力を有する圧縮された空気や油のような圧力流体を貯留している２つの圧力流体源１００，１０２に、バルブ装置１０４により選択的に接続される。

バルブ装置１０４は、バルブドライバー１０６により選択的に駆動される複数のバルブを備えている。各バルブは、プッシャー機構６０，６４の駆動源９８の１つを圧力流体源１００及び１０２の１つに選択的に接続する。これにより、前記したシリンダ機構のピストンロッドがシリンダに対し進退されて、押圧部材７０がパネル受け面３８、ひいては被検査体１２に対し進退される。

位置決め機構６２，６６の各駆動源（位置制御可能のモータ）７４は、モータドライバー１０８により駆動されて、対応する押圧部材７０によりＸ方向（又はＹ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。各基準位置は、被検査体１２の種類、大きさ等により予め決定される。

上記のような構造を有するアライメント装置は、Ｘ方向用の位置決め機構６６の押圧部材７０を、Ｘ方向に進退させて、Ｘ方向における被検査体１２の基準位置に維持すると共に、Ｘ方向用のプッシャー機構６４の押圧部材７０により被検査体１２をＸ方向用の位置決め機構６６の押圧部材７０に対し押す。これにより、被検査体１２はＸ方向のアライメントをされる。

Ｙ方向における被検査体１２のアライメントは、Ｙ方向用の位置決め機構６２，６２及びＹ方向用のプッシャー機構６０，６０を上記のように動作させることにより、行われる。

Ｚ方向へ延びるθ軸線の周りにおける被検査体１２のアライメントは、例えば図１２に示すように、Ｙ方向用の位置決め機構６２，６６及びＹ方向用のプッシャー機構６０，６４の押圧部材７０をそれぞれＸ方向及びＹ方向へ移動させることにより、行うことができる。

上記のようなアライメント時、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の低い圧力流体源１００に接続される。これにより、被検査体１２は、押圧部材７０により弱い力で挟まれる。その結果、被検査体１２が押圧部材７０に衝突するときに被検査体１２に作用する衝撃が小さく、その衝撃に起因する被検査体１２の破損が防止される。

アライメントの間、被検査体１２は、既に述べた浮上装置により、パネル受け面３８から浮上されている。このため、アライメント時に、被検査体１２が円滑に移動し、正確なアライメントが行われる。

上記のように、アライメント時、各位置決め機構の押圧部材７０が被検査体１２の基準位置を決定することから、各位置決め機構の押圧部材７０は、少なくともその移動方向への弾性変形をし難い又はしない、若しくは摩耗をし難い又はしない材料、例えば硬質樹脂で製作されている。

これにより、位置決め機構の押圧部材７０は、被検査体１２がプッシャー機構の押圧部材７０により押圧されても、駆動源として位置制御可能のモータを用いることとあいまって、基準位置を維持する。また、押圧部材７０の弾性変形を考慮することなく、駆動源としてのモータの回転量を決定することができるから、モータの位置制御が容易になる。

しかし、押圧部材７０の弾性変形を考慮して、駆動源としてのモータの回転量を決定する場合には、位置決め機構の押圧部材７０は弾性変形可能の材料で製作されていてもよい。

これに対し、プッシャー機構の押圧部材７０は、被検査体１２を破損しない程度の高度を有する樹脂のような材料とすることができる。それゆえに、プッシャー機構の押圧部材７０は、弾性変形をしない材料及び弾性変形をする材料のいずれであってもよい。

アライメントが終了すると、各プッシャー機構の駆動源は、圧力の高い圧力流体源１０２に接続される。これにより、被検査体１２は押圧部材７０により強い力で挟まれる。被検査体１２は、点灯試験が終了するまで、押圧部材７０により強く挟まれた状態に維持される。

［プローブユニット］

図５に示すように、各プローブユニット２０は、矩形の辺に沿って（Ｘ方向又はＹ方向へ）延びかつユニット支持機構２２に支持された板状の支持ベース１１０と、支持ベース１１０の長手方向に間隔をおいて支持ベース１１０に取り付けられた複数の支持ブロック１１２と、各支持ブロック１１２にＺ方向へ移動可能に支持された移動ブロック１１４と、各移動ブロック１１４に取り付けられたプローブブロック１１６とを含む。

支持ベース１１０は、複数のねじ部材（図示せず）によりユニット支持機構２２の上面に取り外し可能に取り付けられている。各支持ブロック１１２は、その上端部からパネル受け面３８の側に突出する突出部１１２ａを有する。

各移動ブロック１１４は、支持ベース１１０の前側（開口３６の側）に設けられて上下方向へ延びるレール１２０と、レール１２０の上下方向へ移動可能に結合されたガイド１２２とにより、支持ブロック１１２に組み付けられており、また支持ブロック１１２の突出部１１２ａを上下方向に貫通して、移動ブロック１１４に螺合された調整ねじ１２４により、上下方向における位置を調整可能とされている。

各プローブブロック１１６は、Ｘ方向（又はＹ方向）に間隔をおいて整列された複数の接触子１１８を有する既知のものであり、またそれら接触子１１８の針先をパネル受け１８に向けた状態に移動ブロック１１４に支持されている。

［ユニット支持機構］

図５に示すように、ユニット支持機構２２は、パネル受け１８の第１の片部３４ａに配置されかつ第１の片部３４ａの長手方向に延びる板状の移動体受け１３０と、移動体受け１３０に配置された第１の移動体１３２と、パネル受け面３８に対し傾斜する方向へ移動可能に第１の移動体１３２に結合された第２の移動体１３４と、第１の移動体１３２の上端部に取り付けられた頂板１３６と、第１の移動体１３２を第１の片部３４ａの幅方向へ移動させるプローブ移動機構１３８と、第２の移動体１３４の最前進位置（開口３６の側の位置）を規制するストッパ１４０とを備える。

移動体受け１３０は、移動体受け１３０の幅方向に間隔をおいて、移動体受け１３０の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ平行に延びる状態に、第１の片部３４ａに設けられた一対又は複数対のレール１４２と、各レール１４２にその長手方向へ移動可能に支持されかつ移動体受け１３０の下側に組み付けられたガイド１４４とにより、第１の片部３４ａの上に結合されている。このため、移動体受け１３０は、第１の片部３４ａの長手方向へ移動可能である。

第１の移動体１３２は、移動体受け１３０（第１の片部３４ａ）の長手方向に間隔をおいて、移動体受け１３０の幅方向へ平行に延びる状態に、移動体受け１３０に設けられた複数のレール１４６と、各レール１４６にそれらの長手方向へ移動可能に支持されかつ第１の移動体１３２の下側に組み付けられたガイド１４８とにより、移動体受け１３０の上に結合されている。このため、第１の移動体１３２は、移動体受け１３０（又は、第１の片部３４ａ）の幅方向へ移動可能である。

第１及び第２の移動体１３２及び１３４は、第２の移動体１３４がパネル受け面３８の側に位置するように、パネル受け面３８に対し斜めに結合されている。このため、第１及び第２の移動体１３２及び１３４は、それぞれ、斜め下向き面及び斜め上向き面を有する。第２の移動体１３４は、第１の片部３４ａの長手方向へ延びていると共に、上部ほどパネル受け面３８の側となるように斜めに延びている。

第２の移動体１３４は、また、第１の移動体１３２の斜め下向き面に設けられて、第１の片部３４ａの長手方向に間隔をおいて、第１の片部３４ａの幅方向へ平行に延びる一対のレール１５２と、各レール１５２にその長手方向へ移動可能に結合されかつ第２の移動体１３４の斜め下向き面に設けられたガイド１５４とにより、第１の移動体１３２に結合されている。このため、第２の移動体１３４は、第１の移動体１３２に対し、斜めの方向へ移動可能である。

頂板１３６は、第１の片部３４ａの長手方向に長い長方形の形状を有しており、また第２の移動体１３４の頂部に取り付けられている。プローブユニット２０は、頂板１３６の上に取り付けられて、第２の移動体１３４に支持されている。

各プローブ移動機構１３８は、移動体受け１３０の上面に設置されたモータ１５６と、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる状態にモータ１５６に連結されて、モータ１５６により回転されるボールねじ１５８と、ボールねじ１５８に螺合されて、第２の移動体１３４に取り付けられたナット１６０とを用いた機構を用いている。

モータ１５６は、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータであり、またブラケット１６４を介して移動体受け１３０に支持されている。ボールねじ１５８は、モータ１５６の回転軸に連結されていると共に、他のブラケット１６６を介して移動体受け１３０に支持されている。

第１及び第２の移動体１３２及び１３４は、また、斜め上方に延びて上端に開放するように第１の移動体１３２に形成された穴１６８と、穴１６８に上方から挿入されたロッド１７０とにより、斜め下向き面及び斜め上向き面に垂直の方向への相対的な変位、並びに第１及び第２の移動体１３２及び１５４の長手方向への相対的な変位を防止されている。

第１及び第２の移動体１３２及び１３４は、ロッド１７０の周りに配置された圧縮コイルばね１７２により、第１及び第２の移動体１３２及び１５４がロッド１７０の長手方向に離間するように、相対的に付勢されている。実際には、第１の移動体１３２がロッド１７０の長手方向への変位をレール１４６及びガイド１４８により防止されているから、第２の移動体１３４がばね１７２により斜め上方へ付勢されている。

ユニット支持機構２２は、また、第２の移動体１３４の最上昇位置を規制するように、第１の移動体１３２に設けられたストッパ１７４を備える。ストッパ１７４及び１９３は、第２の移動体１３４が上昇したときにガイド１５４が当接して、第２の移動体１３４の上昇を阻止するように、第１の移動体１３２の斜め下向き面及び斜め上向き面に設けられている。

上記のようなユニット支持機構２２において、第１の移動体１３２がモータ１５６の正転により被検査体１２に向けて移動されると、第２の移動体１３４も同方向に移動される。このとき、第２の移動体１３４をばね１７２の付勢力に抗して斜め下方に変位させる一対の変位発生機構１７６が、プローブユニット２０が配置された各第２の移動機構１５４にこれの長手方向に間隔をおいて設けられている。

各変位発生機構１７６は、第２の移動体１３４の被検査体１２の側の斜め下向き面に設けられたコ字状のブラケット１７８と、第２の移動体１３４の長手方向へ延びる軸線の周りに回転可能に及びストッパ１４０に当接可能にブラケット１７８に取り付けられたローラ１８０とを備える。

ユニット支持機構２２において、第１及び第２の移動体１３２及び１５４がモータ１５６により被検査体１２に向けて移動されると、ローラ１８０がストッパ１４０に当接する。

第１及び第２の移動体１３２及び１３４がモータ１５６により被検査体１２に向けてさらに移動されると、第２の移動体１３４はその前進をストッパ１４０により阻止される。これにより、第２の移動体１３４を斜め下方に変位させる変位力がレール１５２及びガイド１５４の嵌合部において発生する。

そのような変位力により、第１の移動体１３４のさらなる前進にともなって、第２の移動体１３４は下方に移動される。その結果、プローブユニット２０が下方に移動されて、ブローブブロック１１６に備えられた接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧される。

このとき、被検査体１２が押圧部材７０により強い力で挟まれていることと、パネル受け面３８に吸着されていることとが相まって、接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧されても、被検査体１２がパネル受け１８及びプローブユニット２０に対し変位することが確実に防止される。

上記状態で、モータ１５６が逆転されると、ローラ１８０がストッパ１４０に当接した状態で、第１の移動体１３２がパネル受け面３８及び第２の移動体１３４に対し後退される。この間、第２の移動体１３４はばね１７２の力により、第１の移動体１３２に対し上昇されて、プローブブロック１１６は被検査体１２から上方へ離間される。

モータ１５６がさらに逆転されると、第１の移動体１３２は後退し続ける。しかし、第２の移動体１３４は、ガイド１５４がストッパ１７４に当接することにより、上昇を停止し、その状態で第１の移動体１４２と共に、パネル受け面３８に対し退避位置に向けて後退される。

上記のように、第２の移動体１３４及びプローブブロック１１６は、パネル受け面３８及び被検査体１２に対し、モータ１５６の正転により前進及び下降されて、前進及び下降した位置に解除可能に維持され、またモータ１５６の逆転により上昇及び後退されて、退避位置に解除可能に維持される。

第２の移動体１３４、ひいてはプローブブロック１１６が退避位置に後退された状態において、パネル受け面３８に対する被検査体１２の交換が行われる。この際、被検査体１２がパネル受け面３８から浮上されていることと、プローブユニット２０がパネル受け面３８から大きく後退されていることとがあいまって、パネル受け面３８に対する被検査体１２の受け渡しが容易である。

［カメラ装置］

図５に示すように、各カメラ装置２４は、プローブユニット２０の支持ベース１１０に支持された逆Ｌ字状の支持ブロック１８２と、支持ブロック１８２にマーク部（図示せず）をその上方から撮影するカメラ１８４とを備える。

マーク部は、被検査体１２に設けられたマーク自体、特定の接触子の針先等である。カメラ１８４は、被検査体１２のマーク部近傍を撮影して、画像信号を発生するビデオカメラのようなエリアセンサであり、ＣＣＤエリアセンサを用いることができる。

各カメラ１８４の出力信号は、図示しない制御装置において、画像処理をされ、試験装置１０、特にパネル受け１８やプローブユニット２０等に対する被検査体１２の位置ずれを求めることに用いられる。求めた位置ずれは、上記したアライメント装置を駆動させる信号に用いられる。

［移動片調整装置］

図１，２，４に示すように、パネル受け１８の各移動片３４は、移動片調整装置１８６により、Ｘ方向（又はＹ方向）へ移動されて、Ｘ方向（又はＹ方向）における位置を調整される。

各移動片調整装置１８６は、例えば、第１の片部３４ａに配置された位置制御可能のモータと、このモータにより回転されるボールねじと、このボールねじに螺合されたナットと、このナット及び移動体受け１３０に結合された結合具とを含むことができる。

上記の場合、モータの正転及び逆転によりナットをＸ方向（又は、Ｙ方向）へ移動させて、移動体受け１３０を同方向へ移動させる。これにより、移動片３４は、移動体受け１３０に対するＸ方向（又は、Ｙ方向）における位置を調整されて、その位置に解除可能に維持されるから、各接触子の針先と被検査体１２の電極とを確実に接触させることができる。

［保護部材］

図５及び６を参照するに、複数の保護部材２６をプローブユニット２０が配置された各移動片３４に該移動片の長手方向に間隔をおいて配置するために、試験装置１０は、プローブユニット２０が配置された各移動片３４にレール１９０を固定している。

各レール１９０は、対応する移動片３４の第１の片部３４ａの上面にあって、第２の片部３４ｂの側を第２の片部３４ｂの長手方向に延びており、また対応する移動片３４の長手方向に間隔をおいた複数のねじ穴１９２を有する。各ねじ穴１９２は、レール１９０の上方に開放している。

各保護バーすなわち保護部材２６は、上下方向に長いＬ字状の形状を有しており、またレール１９０の長手方向に長いスロット２６ａ（図６参照）を有する基部２６ｂと、基部２６ｂから上下方向へ延びる延在部２６ｃとを備える。そのような各保護部材２６は、そのスロット２６ａを上方から下方に貫通して，レール１９０のねじ穴１９２に螺合されたボルト１９４により対応する移動片３４に取り付けられている。

レール１９０の長手方向に隣り合う保護部材２６の間隔は、レール１９０の長手方向に隣り合うねじ穴１９２の間隔より大きいが、被検査体１２の種類及び大きさに応じて決定される。各保護部材２６の延在部２６ｃの長さ寸法は、延在部の上端が退避位置にあるプローブブロック１１６及び押圧部材７０の高さ位置の上方に位置する値を有する。

［検査装置の動作］

被検査体１２のパネル受け１８に対する被検査体１２の受け渡しは、パネル受け１８の上方から搬送装置により又は手動で行われる。

未検査の被検査体１２は、他の被検査体１２がパネル受け１８に存在せず、しかも図１１（Ａ）に示すように、各押圧部材７０と各プローブブロック１１６とが退避位置に後退された状態で、パネル受け１８に渡される。

次いで、未検査の被検査体１２は、図１１（Ｂ）に示すように、各押圧部材７０が前進されることにより、アライメントをされる。この間、プッシャー機構６０，６４のそれぞれが低い流体圧力により作動されて、被検査体１２の破損が防止される。

次いで、図１１（Ｃ）に示すように、各プローブブロック１１６が前進されて、各接触子の針先が被検査体１２の電極の上方に移動される。このときから、プッシャー機構６０，６４のそれぞれは、高い流体圧力により作動されて、被検査体１２の変位を防止する。

引き続き、各プローブブロック１１６が下降されて、各接触子の針先が被検査体１２の電極に押圧される。その状態で、被検査体１２に通電されて、被検査体１２の点灯試験が行われる。点灯検査の間、プッシャー機構６０，６４のそれぞれは、高い流体圧力により作動されて、被検査体１２の変位を防止する。

上記の点灯試験は、作業者が被検査体１２を上方から目視する目視点灯試験であってもよいし、ビデオカメラのようなエリアセンサを用いかつ制御装置において画像処理をする自動点灯試験であってもよい。

電気的試験が終了すると、各押圧部材７０と各プローブブロック１１６とが図１１（Ａ）に示す位置まで後退され、検査済みの被検査体１２が浮上装置によりパネル受け面３８から浮上された後、搬送装置により又は手動でパネル受け１８から除去される。

パネル受け１８に対する被検査体１２の受け渡し時、各保護部材２６の上端が押圧部材７０及びプローブブロック１１６（接触子１１８）の高さ位置の上方に位置されているから、たとえ被検査体１２が接触子１１８又は押圧部材７０に衝突するような状態で落下しても、その被検査体１２は保護部材２６に受けられる。その結果、プローブブロック１１６（接触子１１８）及び押圧部材７０への被検査体１２の落下が防止され、接触子１１８の損傷が防止される。

また、プローブブロック１１６が退避位置に後退されていても、被検査体の受け渡し時又は搬送時に、被検査体１２が接触子１１８に衝突するように落下することがある。しかし、そのような場合においても、検査装置１０によれば、被検査体１２が保護部材２６に受け止められるから、接触子１１８の損傷が防止される。

［他の実施例］

図１３〜１６を参照するに、試験装置２００は、試験装置１０における保護部材２６の代わりに位置決め装置のプッシャー機構又は位置決め機構を、落下する被検査体から接触子１１８を保護する保護部材として用いている。図示の例では、プローブユニット２０が配置された側に位置する第１及び第２のプッシャー機構６２ａ及び６６ａを保護部材として用いている。

第１及び第２の位置決め機構６２ａ及び６６ａのそれぞれは、落下する被検査体を受ける上端を有することを除いて、上記した位置決め機構６２及び６６と同じ構造を有している。図示の例では、落下する被検査体を移動体７２の上端に受けて、接触子１１８を保護するように、移動体７２の上端が退避位置にある接触子１１８の高さ位置より高くされている。

試験装置２００によっても、落下する被検査体は位置決め機構６２又は６６の上端に受けられるから、接触子１１８は落下する被検査体から保護されて、損傷を防止される。

試験装置２００において、第１又は第２のプッシャー機構６４又は６８が、プローブユニット２０の配置側に位置するときは、そのプッシャー機構が保護部材として作用するように、移動体７２の上端が退避位置にある接触子１１８の高さ位置より高くされる。しかし、全てのプッシャー機構及び全ての位置決め機構の高さ位置を前記のような値にして、全てのプッシャー機構及び全ての位置決め機構をを保護部材として作用させてもよい。

ユニット支持機構２０、結合機構４０、移動片移動機構５２、位置決め機構６バックライトユニット３２６、プローブ移動機構１３８等、２つの部材を相対的に移動させる機構の駆動源としてのモータは、位置制御可能である限り、回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。

同様に、各プッシャー機構の駆動源も、回転力又は推進力を、位置決め機構のモータより小ささい範囲内で、２段階に変更可能の回転式のモータ及びリニアモータのいずれであってもよい。

しかし、圧縮空気の体積は圧力に応じて変化するから、プッシャー機構の駆動源として、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いると、アライメント時に、押圧部材が被検査体に衝突したときの衝撃が大きく低減される。それゆえに、圧縮空気を用いるシリンダ機構を用いることが好ましい。

パネル受け１８は、開口３６の大きさを変更不能の構造、例えば同じ大きさの被検査体専用の構造を有していてもよい。また、位置決め機構の構造も種々変更することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１０，２００ 試験装置
１２ 被検査体
１４ プラットホーム
１６ テーブルベース
１６ａ，３６ 開口
１８ パネル受け
２０ プローブユニット
２２ ユニット支持機構
２４ カメラ装置
２６ 保護部材
３２ バックライトユニット
３４ 移動片
３４ａ，３４ｂ 第１及び第２の片部
３８ パネル受け面
４０ 機構
４２，４４ 第１及び第２のスライダ
４６ 結合部材
４８，５０ レール
５２ 移動片移動機構
６０，６４ プッシャー機構
６２，６６ 位置決め機構
６２ａ，６６ａ 位置決め機構
７０ 押圧部材
７２ 移動体
７４ 駆動機構
７６ 支持板
７８ 取り付けピン
８０ レール
２６ａ スロット
２６ｂ 基部
２６ｃ 延在部
１１８ 接触子
１９２ ねじ穴
１９４ ボルト

Claims (14)

1. 平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面に対して受け渡される被検査体から前記接触子を保護する保護装置であって、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材を備える保護装置とを含み、
   複数の保護部材は、前記矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、
   各保護部材の上端は、前記接触子の高さ位置より上方に位置されている、平板状被検査体の試験装置。
2. 前記保護装置は、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含み、
   前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構及び一対の第１の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含み、
   前記プッシャー機構又は位置決め機構は前記保護部材として作用する、請求項１に記載の試験装置。
3. 前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置に位置された押圧部材と、該押圧部材を支持する支持部材であって、前記上端部を有する支持部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させるべく前記支持部材を移動させる駆動機構とを備える、請求項２に記載の試験装置。
4. 各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項３に記載の試験装置。
5. 各保護部材は、前記パネル受けに取り付けられた基部と、該基部から上方へ延びる延在部とを備える、請求項１に記載の試験装置。
6. 前記複数の保護部材は、該保護部材が離間する方向に間隔をおいた複数の箇所の適宜な箇所に選択的に取り付け可能に前記パネル受けに配置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の試験装置。
7. 前記パネル受けは、さらに、前記複数の保護部材が離間する方向に延びる長尺部材を備え、該長尺部材は、前記複数の保護部材を取り外し可能にねじ止めするねじ部材が選択的に螺合される複数のねじ穴であって、前記離間する方向に間隔をおいた複数のねじ穴を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の試験装置。
8. 前記プローブブロックは、前記辺の方向と交差する方向における前記保護部材の位置に対して前記パネル受け面の側と反対の側に前記接触子の針先が位置する箇所に後退可能に前記パネル受けに配置されている、請求項１から７のいずれか１項に記載の試験装置。
9. 前記パネル受けは、矩形の開口を共同して形成する４つの辺部材であって、前記パネル受け面を共同して形成する４つの辺部材を備え、
   各辺部材は前記矩形の１つの辺に対応されており、
   各プローブユニット及び各保護部材は同じ前記辺部材に配置されている、請求項１から８のいずれか１項に記載の試験装置。
10. さらに、テーブルベースを含み、
    各辺部材は前記開口の大きさを可変可能にＸ方向及びＹ方向へ移動可能に前記テーブルベースに配置された移動片を含み、
    該移動片は、前記テーブルベースに該テーブルベースと平行に配置された第１の片部と、該第１の片部の前記パネル受け面の側から上方に立ち上がる、前記パネル受け面の一部を形成する上面を有する第２の片部とを備え、
    前記プローブユニット及び前記保護部材は前記第１の片部に配置されている、請求項９に記載の試験装置。
11. 対向する一対の移動片及び対向する他の一対の移動片は、それぞれ、Ｙ方向及びＸ方向に間隔をおいてＸ方向及びＹ方向に平行に延びており、
    それら４つの移動片は、前記開口を共同して形成すると共に、前記パネル受け面を共同して形成し、さらに前記開口の大きさを可変可能に前記テーブルベースに配置されており、
    隣り合う移動片は、それぞれがＹ方向又はＸ方向へ独立して移動することを妨げられることなく、結合されている、請求項１０に記載の試験装置。
12. 各移動片の前記第１及び第２の片部は、その移動方向に長い板状部を含む、請求項１０及び１１のいずれか１項に記載の試験装置。
13. さらに、前記パネル受けに受けられた被検査体を前記接触子に対し共同して位置決めるアライメント装置を含み、
    前記アライメント装置は、前記矩形の各辺に対応する箇所に配置された少なくとも１つのプッシャー機構又は位置決め機構を含み、
    前記プッシャー機構及び位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受けに受けられた被検査体と同じ高さ位置にあって、前記パネル受け面の外側に位置された押圧部材と、前記押圧部材を前記被検査体に対し進退させる駆動機構とを備え、
    各保護部材の上端は、前記押圧部材の高さ位置の上方に位置されている、請求項４から１２のいずれか１項に記載の試験装置。
14. 前記アライメント装置は、前記矩形の対向する一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、対応する辺の長手方向に間隔をおいて配置された一対の第１のプッシャー機構及び一対の第１の位置決め機構と、前記矩形の対向する他の一対の辺の一方及び他方に対応する箇所に、それぞれ、配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを含み、
    各位置決め機構の前記駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項１３に記載の検査装置。

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