JP4163477B2 - 被検査基板の支持装置 - Google Patents
被検査基板の支持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4163477B2 JP4163477B2 JP2002277143A JP2002277143A JP4163477B2 JP 4163477 B2 JP4163477 B2 JP 4163477B2 JP 2002277143 A JP2002277143 A JP 2002277143A JP 2002277143 A JP2002277143 A JP 2002277143A JP 4163477 B2 JP4163477 B2 JP 4163477B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- inspected
- movable body
- support device
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルや有機ELのような平板状の被検査基板の検査装置に被検査基板の支持装置として用いられる支持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示パネルのような矩形の被検査基板の点灯検査装置においては、被検査基板の支持装置として作用するチャックトップを備えた検査ステージが用いられている。
【0003】
この種の支持装置の1つとして、被検査基板の受け渡しを搬送ロボットのような受け渡し装置により行うものがある(例えば、特開平11−2789号、特開平11−227942号、特開2002−62822号、特開2000−216230号)。このことから、従来の支持装置においては、被検査基板の受け渡し時に、被検査基板を受け渡し装置の受け渡しアームに対して昇降させる複数の昇降ピンを備えている。
【0004】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の支持装置は、昇降ピンの配置位置が特定の大きさの被検査基板に合わせられているため、大きさの異なる被検査基板の検査に適用することができない。
【0005】
本発明の目的は、大きさの異なる被検査基板の検査に用いることができるようにすることにある。
【0006】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る支持装置は、下ベースと、相寄り相離れる方向へ移動可能に前記下ベースに配置された一対の可動体と、該可動体を相寄り相離れる方向へ移動させる移動機構と、前記可動体より上方の位置にあって前記下ベースに取り外し可能に配置された上ベースと、被検査基板を受けるべく前記上ベースに上下動可能に配置された複数の昇降部材と、該昇降部材を昇降させるべく前記可動体に配置された1以上の上下動機構とを含む。
【0007】
未検査の被検査基板を搬送装置の受け渡しアームから受けるとき、昇降部材が下げられた状態で受け渡しアームが支持装置の上方に移動され、その状態で昇降部材が上昇されて被検査基板を受け取り、次いで受け渡しアームが支持装置から後退され、その後昇降部材が下降されて被検査基板を上ベースに渡す。
【0008】
検査済みの被検査基板を受け渡しアームに渡すとき、昇降部材が上げられて被検査基板を上昇させた状態で受け渡しアームが被検査秋板と上ベースとの間に移動され、その状態で昇降部材が下降されて被検査基板を受け渡しアームに渡し、その後受け渡しアームが支持装置から後退される。
【0009】
大きさの異なる被検査基板の検査に用いるとき、可動体が新たな被検査基板の大きさに応じて移動機構により相寄る方向又は相離れる方向に移動される。これにより、昇降部材及びその上下動機構が可動体と共に移動される。
【0010】
その後、下ベースに対する上ベースの交換が行われる。このとき、昇降部材及びその上下動機構が可動体と共に移動されていから、昇降部材は新たな被検査基板の所定の位置に当接する。このため、被検査基板に損傷を与えることなく、大きさの異なる被検査基板の検査に用いることができる。
【0011】
前記上下動機構は、前記昇降部材を昇降させるべく各可動体に上下動可能に配置された1以上の突き上げ部材と、該突き上げ部材を昇降させる駆動機構と、前記昇降部材を下降させる圧縮コイルばねとを含むことができる。そのようにすれば、圧縮コイルばねが昇降部材を常時下方に付勢しているから、昇降部材を圧縮コイルばねにより確実に下降させることができる。
【0012】
前記駆動機構は、前記可動体の移動方向と交差する方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に前記可動体に支持されたねじ棒と、該ねじ棒に螺合されたナットと、前記ねじ棒を回転させる駆動源と、前記突き上げ部材が取り付けられた昇降ベースとを含み、前記ナット及び昇降ベースのいずれか一方は係合部材を有し、前記ナット及び昇降ベースの他方は前記係合部材が係合された、傾斜されたガイド溝を有することができる。そのようにすれば、昇降部材を確実に昇降させることができる。
【0013】
前記下ベースは、板状の下部基板と、前記可動体と平行に伸びるように前記可動体の移動方向に間隔をおいて前記下部基板に配置された支持部材であって前記上ベースが取り外し可能に取り付けられた支持部材と、該支持部材に対する前記上ベースの位置決めをすべく前記支持部材から上方へ突出する位置決めピンとを含むことができる。そのようにすれば、上下のベースの位置決めが位置決めピンにより行われるから、下ベースに対する上ベースの着脱が容易になり、保守点検作業が容易になる。
【0014】
前記上ベースは、矩形の開口を有する板状部であって前記突き上げ部材が厚さ方向に貫通する板状部と、被検査基板を受けるべく前記開口の周りを伸びるフレーム部とを含むことができる。
【0015】
支持装置は、さらに、被検査基板が当接可能に矩形の隣り合う辺に対応する箇所に配置された複数のストッパと、被検査基板を前記ストッパに向けて押圧する複数のプッシャーとを含むことができる。そのようにすれば、支持装置に対する被検査基板の位置決めがストッパとプッシャーとにより行われるから、支持装置に対する被検査基板の位置決めが正確になる。
【0016】
前記可動体は、該可動体の移動方向と交差する方向に伸びていてもよい。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1から図9を参照するに、支持装置10は、長方形の液晶表示パネルを被検査基板12とし、かつ搬送装置の受け渡しアーム14に対し被検査基板12の受け渡しをする目視点灯検査装置又は自動点灯検査装置の検査ステージの一部として用いられる。
【0018】
以下の説明においては、図2から図4において左右方向を支持装置10における左右方向といい、図3及び図4において上下方向を支持装置10における前後方向といい、図2において上下方向を支持装置10における上下方向という。
【0019】
支持装置10は、点灯検査装置に取り付けられる下ベース16と、相寄り相離れる方向へ移動可能に下ベース16に配置された一対の可動体18と、可動体18に個々に対応されて対応する可動体18を相寄り相離れる方向へ移動させる一対の移動機構20と、下ベース16に取り外し可能に配置された上ベース22と、上ベース22に上下動可能に配置された複数の昇降部材24と、昇降部材24を昇降させる一対の上下動機構26とを含む。
【0020】
下ベース16、可動体18、移動機構20、上下動機構26及びバックライトユニット(図示せず)は、最大寸法を有する被検査基板12を検査可能の大きさを有している。
【0021】
下ベース16は、角柱状の一対の支持部材28を、バックライトユニットが設置される長方形の下部基板30に、可動体18の移動方向に間隔をおいて取り付け、位置決めピン32を各支持部材28に取り付けている。
【0022】
各位置決めピン32は、これが支持部材28の上面から上方に突出する状態に、支持部材28の長手方向中央に取り付けられている。バックライトユニットは、支持部材28、下部基板30、下部基板30に取り付けられた複数の支柱34により形成される内側空間に配置される。
【0023】
各支持部材28は、下部基板30に配置されるバックライトユニットの高さ位置より上方に位置されており、また下部基板30の幅方向の端部を下部基板30から上方に間隔をおいて可動体18と平行に左右方向(下部基板30の長手方向)へ伸びるように、複数の支柱34により下部基板30に組み付けられている。
【0024】
可動体18と移動機構20とは、一対一の関係に対応されている。各可動体18は、下部基板30に配置されるバックライトユニットの高さ位置より上方を可動体18の移動方向(前後方向)と直行する左右方向(左右方向)へ伸びるように、共通の一対の取り付け装置36により下ベース16に装着されている。
【0025】
各取り付け装置36は、図2に示すように、前後方向へ伸びる取り付け部材38を左右方向の端部において支持部材28の下側に取り付け、ガイドレール40を取り付け部材38の上に前後方向へ伸びる状態に取り付け、リニアガイド42をガイドレール40に移動可能に結合させている。各可動体18は、その両端部においてリニアガイド42に取り付けられている。
【0026】
各移動機構20は、図2から図4に示すように、一対のブラケット44により取り付け部材38上に前後方向へ伸びる状態に及び回転可能に取り付けられたリードスクリュー46と、リードスクリュー46に螺合されたリードナット48と、リードスクリュー46を回転させる駆動源50とを備えている。
【0027】
リードスクリュー46は、駆動源50により選択的に正転及び逆転される。リードナット48は、可動体18の一端部に連結されてリードスクリュー46の回転にともなって前後方向に移動される。駆動源50として、電動機やソレノイド機構等、電動式のアクチュエータを用いることができる。
【0028】
両移動機構20の駆動源50は、同期して駆動される。両駆動源50が正転されると、リードスクリュー46が正転されて、リードナット48が可動体18を離す方向に移動される。これに対し、両駆動源50が逆転されると、リードスクリュー46が逆転されて、リードナット48が可動体18を接近させる方向に移動される。
【0029】
可動体18毎に移動機構を用いる代わりに、両可動体18を共通の移動機構により逆方向へ移動させるようにしてもよい。
【0030】
上ベース22は、板状部52にこれの下方に位置するバックライトユニットからの光の通過を許す長方形の開口のような光通過領域54を形成し、光通過領域54の周りを伸びる長方形のフレーム部56を板状部52上に形成しており、複数のボルトにより両支持部材28の上に結合されている。下ベース16に対する上ベース22の位置は、位置決めピン32により決められる。
【0031】
フレーム部56は、これに受けられる被検査基板12を吸着する複数の吸着溝(図示せず)を上面に有している。吸着溝は、長方形の辺の方向に伸びている。
【0032】
図6及び図7に示すように、各昇降部材24は、上部が被検査基板12を受ける受け部とされ、中央部が下部より小径の径小部とされ、下部がフランジ状の大径部とされたリフターピンとされており、板状部52及びフレーム部56を貫通する貫通穴に小径部及び大径部を上下動可能に受け入れられている。
【0033】
各昇降部材24の受け部は、フレーム部56から上方へ突出可能とされている。受け部は径小部の上端から被検査基板12の幅方向(前後方向)中央側へ伸びており、したがってフレーム部56は受け部を収容する複数の切欠部を有している。
【0034】
各昇降部材24の下面は、円錐形の凹面とされている。図示の例では、左右方向に間隔をおいた一対の昇降部材24が可動体18毎に配置されている。
【0035】
各上下動機構26は、図5に示すように、昇降部材24を昇降させるように各可動体18に上下動可能に配置された複数の突き上げ部材60と、突き上げ部材60を昇降させる駆動機構62と、昇降部材24の中央の径小部の周りに配置された複数の圧縮コイルばね64(図6及び図7を参照)とを含む。
【0036】
各突き上げ部材60は、図示の例では突き上げピンであるが、ピン以外のものであってもよい。各突き上げ部材60は昇降部材24に個々に対応されている。このため、可動体18を上下方向に貫通して可動体18から上方へ突出した一対の突き上げ部材60が可動体18毎に左右方向に間隔をおいて設けられている。
【0037】
各突き上げ部材60の上面は、昇降部材24の下面の凹面と相似の円錐形の凸面とされており、また昇降部材24の凹面を凸面に受けている。これにより、昇降部材24と突き上げ部材60とが水平方向へ相対的に変位することを防止されている。
【0038】
圧縮コイルばね64は、昇降部材24及び突き上げ部材60を下方へ押すように、昇降部材24の中央の径小部の周りに配置されている。
【0039】
駆動機構62は、左右方向へ伸びるように可動体18の下側に一対のブラケット66により回転可能に取り付けられたリードスクリュー68と、リードスクリュー68に螺合されたリードナット70と、リードスクリュー68を回転させる駆動源72と、リードスクリュー68と平行に前後方向へ伸びる昇降ベース74と、リードナット70に取り付けられたガイドベース76と、昇降ベース74に取り付けられた係合部材78と、係合部材78と係合する係合溝を形成する一対のガイドレール80とを含む。
【0040】
リードスクリュー68は、ねじ棒として作用し、また駆動源72により選択的に正転及び逆転される。駆動源72として、電動機やソレノイド機構等、電動式の逆転可能のアクチュエータを用いることができる。
【0041】
ガイドレール80は、前方から見て、左下がりに斜めに伸びる状態に、右下がりの方向に間隔をおいてリードナット70に取り付けられている。これにより、係合部材78が係合するように左下がりに斜めに伸びるガイド溝が両ガイドレール80間に形成されている。
【0042】
係合部材78は、図示の例では、カムフォロアの機能を有しているが、単なる係合ピンであってもよい。ガイドベース76及びガイドレール80をリードナット70に取り付け、係合部材78を昇降ベースに取り付ける代わりに、ガイドベース76及びガイドレール80を昇降ベース74に取り付け、係合部材78をリードナット70に取り付けてもよい。
【0043】
各上下動機構26において、駆動源72が正転又は逆転により回転されると、リードスクリュー68が正転又は逆転されるから、リードナット70が左方又は右方へ移動されて、ガイドベース76及びガイドレール80が左方又は右方へ移動される。これにより、ガイドレール80と係合している係合部材78が下方又は上方へ移動され、係合部材78を取り付けている昇降ベース74が下降又は上昇されて、突き上げ部材60が可動体18に対し下降又は上昇される。
【0044】
図示の例では、上ベース22の板状部52には、長方形の隣り合う1組の長辺及び短辺に対応する各箇所に2つのストッパ82が、被検査基板12の対応する縁部が当接するように、長辺及び短辺の方向に間隔をおいて設けられている。
【0045】
上ベース22の板状部52には、また、他の長辺に対応する箇所に2つのプッシャー84が長辺の方向に間隔をおいて設けられており、他の短辺に対応する箇所に1つのプッシャー84が他の短辺の中央付近に設けられている。
【0046】
各プッシャー84は、エアーシリンダやソレノイドのような駆動機構86のロッドのような可動子に押圧部材88を取り付けており、駆動機構86の伸張により押圧部材88を前進させて被検査基板12を押圧部材88でストッパ82に押し、駆動機構86の収縮により押圧部材88を後退させるように、駆動機構86において上ベース22に取り付けられている。
【0047】
フレーム部56は、被検査基板12の吸着領域を残して外側に開放する複数の切欠部を押圧部材88の配置位置に有している。
【0048】
支持装置10において、各突き上げ部材60及び対応する昇降部材24は、通常、図6に示すように、駆動機構62及び圧縮コイルばね64により最下降位置に下げられている。このため、各昇降部材24は上ベース22の上面から突出していない。
【0049】
しかし、各突き上げ部材60は、図2及び図7に示すように、駆動機構62により圧縮コイルばね64の力に抗して最上昇位置に上昇されると、各昇降部材24は、受け渡しアーム14の高さ位置より上方に突出される。
【0050】
昇降部材24の最上昇位置は受け部が受け渡しアーム14の高さ位置より上方となる位置であり、昇降部材24の最下降位置は受け部が上ベース22のフレーム部56の上面の高さ位置以下となる位置である。
【0051】
未検査の被検査基板12を受け渡しアーム14から受ける作業は、以下のように行われる。
【0052】
先ず、昇降部材24が最下降位置に下げられかつプッシャー84が押圧部材88を後退させた状態で、未検査の被検査基板12をその長手方向を左右方向とした状態に受けた受け渡しアーム14が支持装置10の上方に移動される。
【0053】
上記状態で、突き上げ部材60が最上昇位置に上げられ、それにより昇降部材24が最上昇位置に上げられて被検査基板12を受け取る。
【0054】
次いで、受け渡しアーム14が支持装置10から後退される。
【0055】
次いで、突き上げ部材60が最下降位置に下げられる。それにより、昇降部材24が圧縮コイルばね64により下げられて、被検査基板12を上ベース22のフレーム部56に渡す。
【0056】
次いで、プッシャー84が押圧部材88により被検査基板12をストッパ82に押す。これにより、支持装置10に対する被検査基板12の位置決めが行われる。
【0057】
その後、被検査基板12が上ベース22のフレーム部56に設けられた吸着溝に真空的に吸着され、その状態で点灯検査が行われる。
【0058】
検査が終了すると、プッシャー84によるストッパ82への被検査基板12の押圧及び吸着溝への被検査基板12の吸着の解除をされた後、被検査基板12が受け渡しアーム14に渡される。このときの受け渡しは、以下のように行われる。
【0059】
先ず、突き上げ部材60が最上昇位置に上げられる。これにより、昇降部材24も最上昇位置に上げられる。
【0060】
次いで、被検査基板12が上昇されている状態で、受け渡しアーム14が被検査基板12と上ベース22との間に移動される。
【0061】
上記状態で、突き上げ部材60が最下降位置に下げられて、昇降部材24が最下降位置に下げられる。これにより、被検査基板12が受け渡しアーム14に渡される。
【0062】
その後、受け渡しアーム14が支持装置10から後退される。
【0063】
大きさの異なる被検査基板の検査に用いるとき、支持装置10は、以下のように作動する。
【0064】
先ず、上ベース22が昇降部材24及びプッシャー84と共に取り外される。
【0065】
次いで、可動体18が新たな被検査基板12の大きさに応じて移動機構20により相寄る方向又は相離れる方向に移動される。これにより、昇降部材24及びその上下動機構26が、可動体18と共に、新たな被検査基板12の大きさに応じて移動される。
【0066】
次いで、新たな被検査基板12の大きさに応じた上ベース22が、昇降部材24及びプッシャー84と共に、下ベース16及び可動体18に装着される。その後、前回までと異なる大きさの被検査基板の受け渡しが行われる。
【0067】
新たな被検査基板12を新たな上ベース22に受けるとき、昇降部材24及びその上下動機構26が可動体18と共に移動されているから、昇降部材24は新たな被検査基板12の所定の位置に当接する。このため、被検査基板12に損傷を与えることなく、大きさの異なる被検査基板の検査に用いることができる。
【0068】
本発明は、被検査基板12を水平の状態で検査する装置のみならず、被検査基板12を傾斜させた状態で検査する装置にも適用することができる。その場合、上下方向とは、支持装置に支持された被検査基板に垂直の方向をいう。
【0069】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る支持装置の一実施例を被検査基板及び受け渡しアームと共に示す分解斜視図である。
【図2】図1に示す支持装置の正面図であって一方の上下動機構を除去して示す。
【図3】図1に示す支持装置の平面図であって上ベースを除去して可動体の間隔を広げた状態を示す。
【図4】図1に示す支持装置の平面図であって上ベースを除去して可動体の間隔を狭めた状態を示す。
【図5】上下移動機構の一実施例を示す斜視図である。
【図6】昇降部材を下降させた状態における昇降部材及び上下動機構近傍を示す図である。
【図7】昇降部材を上昇させた状態における昇降部材及び上下動機構近傍を示す図である。
【図8】上ベースを除去して可動体の間隔を広げた状態を示す斜視図である。
【図9】上ベースを除去して可動体の間隔を狭めた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 支持装置
12 被検査基板
14 受け渡しアーム
16 下ベース
18 可動体
20 可動体用の移動機構
22 上ベース
24 昇降部材
26 昇降部材用の上下動機構
28 支持部材
30 下部基板
32 位置決めピン
36 取り付け装置
38 取り付け部材
40 ガイドレール
42 リニアガイド
52 板状部
54 開口
56 フレーム部
60 突き上げ部材
62 駆動機構
64 圧縮コイルばね
68 リードスクリュー(ねじ棒)
70 リードナット
72 駆動源
74 昇降ベース
76 ガイドベース
78 係合部材
80 ガイドレール
82 ストッパ
84 プッシャー
Claims (7)
- 下ベースと、
相寄り相離れる方向へ移動可能に前記下ベースに配置された一対の可動体と、
該可動体を相寄り相離れる方向へ移動させる移動機構と、
前記可動体より上方の位置にあって前記下ベースに取り外し可能に配置された上ベースと、
被検査基板を受けるべく前記上ベースに上下動可能に配置された複数の昇降部材と、
該昇降部材を昇降させるべく前記可動体に配置された1以上の上下動機構とを含む、被検査基板の支持装置。 - 前記上下動機構は、前記昇降部材を昇降させるべく各可動体に上下動可能に配置された1以上の突き上げ部材と、該突き上げ部材を昇降させる駆動機構と、前記昇降部材を下降させる圧縮コイルばねとを含む、請求項1に記載の支持装置。
- 前記駆動機構は、前記可動体の移動方向と交差する方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に前記可動体に支持されたねじ棒と、該ねじ棒に螺合されたナットと、前記ねじ棒を回転させる駆動源と、前記突き上げ部材が取り付けられた昇降ベースとを含み、前記ナット及び昇降ベースのいずれか一方は係合部材を有し、前記ナット及び昇降ベースの他方は前記係合部材が係合された、傾斜されたガイド溝を有する、請求項2に記載の支持装置。
- 前記上ベースは、矩形の開口を有する板状部であって前記突き上げ部材が厚さ方向に貫通する板状部と、被検査基板を受けるべく前記開口の周りを伸びるフレーム部とを含む、請求項2から3のいずれか1項に記載の支持装置。
- 前記下ベースは、下部基板と、前記可動体と平行に伸びるように前記可動体の移動方向に間隔をおいて前記下部基板に配置された支持部材であって前記上ベースが取り外し可能に取り付けられた支持部材と、該支持部材に対する前記上ベースの位置決めをすべく前記支持部材から上方へ突出する位置決めピンとを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の支持装置。
- さらに、被検査基板が当接可能に矩形の隣り合う辺に対応する箇所に配置された複数のストッパと、被検査基板を前記ストッパに向けて押圧する複数のプッシャーとを含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の支持装置。
- 前記可動体は、該可動体の移動方向と交差する方向に伸びている、請求項1から6のいずれか1項に記載の支持装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002277143A JP4163477B2 (ja) | 2002-09-24 | 2002-09-24 | 被検査基板の支持装置 |
TW91132466A TW565489B (en) | 2002-09-24 | 2002-11-04 | Device for supporting substrate to be inspected |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002277143A JP4163477B2 (ja) | 2002-09-24 | 2002-09-24 | 被検査基板の支持装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004117023A JP2004117023A (ja) | 2004-04-15 |
JP2004117023A5 JP2004117023A5 (ja) | 2008-03-06 |
JP4163477B2 true JP4163477B2 (ja) | 2008-10-08 |
Family
ID=32272824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002277143A Expired - Fee Related JP4163477B2 (ja) | 2002-09-24 | 2002-09-24 | 被検査基板の支持装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4163477B2 (ja) |
TW (1) | TW565489B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101341015B1 (ko) | 2008-12-17 | 2013-12-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 흡착기 및 이를 가지는 액정표시패널의 제조장치 |
KR101742588B1 (ko) * | 2015-07-30 | 2017-06-01 | 엘에스산전 주식회사 | 시료 취부 장치 |
CN113218358B (zh) * | 2021-03-29 | 2023-05-23 | 江苏立讯机器人有限公司 | 开合治具及检测装置 |
-
2002
- 2002-09-24 JP JP2002277143A patent/JP4163477B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-04 TW TW91132466A patent/TW565489B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200404650A (en) | 2004-04-01 |
JP2004117023A (ja) | 2004-04-15 |
TW565489B (en) | 2003-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100707686B1 (ko) | 패널의 검사장치 | |
KR100784274B1 (ko) | 표시용 패널의 검사장치 | |
KR100244688B1 (ko) | 웨이퍼 반송장치 | |
KR20180109303A (ko) | 슬라이드 수직형 테스트 소켓 | |
JP5129681B2 (ja) | 基板固定機構およびこれによる基板固定方法 | |
JP4163477B2 (ja) | 被検査基板の支持装置 | |
JP3414491B2 (ja) | 基板保持部材及びこれを用いた基板外観検査装置 | |
JP2007040747A (ja) | 表示パネルの電気検査装置 | |
KR100748072B1 (ko) | 표시패널의 전기검사장치 | |
KR20200109402A (ko) | 웨이퍼 검사 장치 | |
TWI436079B (zh) | And a plate-like inspection apparatus | |
JP4163435B2 (ja) | 被検査基板の検査装置 | |
JP4745536B2 (ja) | 表示用基板の搬送装置 | |
KR100354103B1 (ko) | 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치 | |
KR100801604B1 (ko) | 검사대상물 클램핑장치 | |
JPH07214440A (ja) | ブレード等弾性特性加工品のチャッキング装置 | |
JP3288555B2 (ja) | トランスファ装置 | |
KR100358704B1 (ko) | 액정디스플레이패널 검사장치의 패널공급장치 | |
KR100718705B1 (ko) | 평판 디스플레이용 이송로봇 | |
JP2020066514A (ja) | ワーク分離機構、ワーク供給装置およびワーク分離方法 | |
JPH0430553A (ja) | 基板の位置合わせ支持装置 | |
CN107932553B (zh) | 固定装置及测试设备 | |
JPH06298355A (ja) | 部品保持装置 | |
KR200447416Y1 (ko) | 카운터 싱킹 장치 | |
JP2010118478A (ja) | 基板浮上装置、及び、基板検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080603 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080708 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080724 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |