JP2011110892A - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、圧電アクチュエータの製造方法、及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電層41の表面上に蒸着によって金属層36を形成し、さらに焼成によって個別電極35を形成する。このとき、個別電極35の接続部35bの一部及び端子形成部35cは金属層36上に重畳され、主電極部35a及び接続部35bの残りの部分は圧電層41の表面上に形成される。そして、個別電極35の端子形成部35c上に焼成によって金属層であるランド37を形成する。ランド37は、平面視で金属層36に包含されている。さらに、ランド37上に焼成によって金属端子であるバンプ38を形成する。バンプ38は、金属層36、個別電極35、及びランド37に包含されている。
【選択図】図6
Description
9 流路ユニット
21 アクチュエータユニット(圧電アクチュエータ)
35 個別電極(焼成電極層)
36 金属層(蒸着金属層)
37 ランド(焼成金属層)
38 バンプ(焼成金属端子)
41〜43 圧電層
34 共通電極(共通電極層)
108 吐出口
110 圧力室
132 個別インク流路(個別液体流路)
Claims (14)
- 圧電層と、
前記圧電層の表面上に焼成によって形成された焼成電極層と、
前記焼成電極層と電気的に接続され且つ前記圧電層との間に前記焼成電極層を挟むように焼成によって形成された、外部端子との接点となる焼成金属端子と、
前記圧電層と前記焼成金属端子との間に蒸着によって形成された蒸着金属層とを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記表面と直交する方向から見て、前記焼成金属端子が前記蒸着金属層に包含されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記表面と直交する方向から見て、前記焼成金属端子が前記焼成電極層に包含されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記焼成金属端子と前記焼成電極層との間に焼成金属層が焼成によって形成されており、
前記表面と直交する方向から見て、前記焼成金属端子が前記焼成金属層に包含されており且つ前記焼成金属層が前記蒸着金属層に包含されていることを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記蒸着金属層が、Ti、Ni、及びCrから選択されたいずれかからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電層の前記表面上に複数の前記焼成電極層が形成されており、これら複数の焼成電極層のそれぞれについて前記焼成金属端子及び前記蒸着金属層が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記複数の焼成電極層と前記圧電層を挟んで対向する共通電極層をさらに備えていることを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
- 液体を吐出する吐出口及び圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の焼成電極層が複数の前記圧力室と対向し、複数の前記焼成金属端子及び複数の前記蒸着金属層が前記流路ユニットの前記圧力室以外の部分と対向すると共に、複数の前記焼成金属端子が前記流路ユニットとは反対方向に突出するように、前記流路ユニットに取り付けられた請求項6又は7に記載の圧電アクチュエータとを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記複数の蒸着金属層が、前記複数の圧力室と対向していないことを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッド。
- 圧電層の表面上に蒸着金属層を蒸着によって形成する工程と、
前記圧電層の前記表面上に焼成電極層を焼成によって形成する工程と、
前記蒸着金属層上に、前記焼成電極層と電気的に接続され且つ前記圧電層との間に前記焼成電極層を挟むように、外部端子との接点となる焼成金属端子を焼成によって形成する工程とを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記焼成金属端子を形成する工程において、前記表面と直交する方向から見て、前記蒸着金属層に包含されるように前記焼成金属端子を形成することを特徴とする請求項10に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記焼成金属端子を形成する工程において、前記表面と直交する方向から見て、前記焼成電極層に包含されるように前記焼成金属端子を形成することを特徴とする請求項11に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記焼成電極層を形成する工程と前記焼成金属端子を形成する工程との間に、焼成金属層を焼成によって形成する工程をさらに備えており、
前記焼成金属層を形成する工程において、前記表面と直交する方向から見て、前記焼成金属端子を包含すると共に前記蒸着金属層に包含されるように前記焼成金属層を形成することを特徴とする請求項12に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 液体が吐出される吐出口及び一表面に形成された圧力室をそれぞれ含む複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に前記吐出口からの吐出エネルギーを付与する圧電アクチュエータとを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
圧電層の表面上に前記圧力室に対応する蒸着金属層を蒸着によって形成する工程、前記圧電層の前記表面上に前記圧力室に対応する焼成電極層を焼成によって形成する工程、及び前記蒸着金属層上に外部端子との接点となる凸状の焼成金属端子を焼成によって形成する工程を含む前記圧電アクチュエータを形成する工程と、
塗布された熱硬化性接着剤を介して前記焼成電極層が前記圧力室と対向し、且つ前記焼成金属端子が前記流路ユニットの前記圧力室以外の部分と対向するように前記圧電アクチュエータを前記流路ユニットの前記一表面に積層する工程と、
前記圧電アクチュエータと前記流路ユニットとを互いに近づく方向に加圧しながら加熱して、前記圧電アクチュエータを前記流路ユニットに固定する工程とを備え、
前記焼成金属端子の形成工程において、
前記焼成金属端子が前記圧電層との間に前記焼成電極層を挟むとともに、前記圧電層の前記表面と直交する方向から見たときに、前記焼成金属端子が前記蒸着金属層に包含されるように前記焼成金属端子を形成するとともに、
前記圧電アクチュエータを前記流路ユニットに固定する工程において、
凸状の前記焼成金属端子の先端に対して、前記蒸着金属層に向かう圧力を加えることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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