JP2011095249A - 漏液検出装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 225
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 394
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 147
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
【解決手段】漏液検出装置10は、製造装置から漏れた漏液を検出する第1及び第2検出部25,26と、各検出部25,26にて漏液を検出する検出結果に基づいて、製造装置を停止させるタイミングを変更する出力制御手段とを設けた。
【選択図】図3
Description
同構成によれば、漏液検出装置は、周縁部と床面に漏液が流入して凹部に溜まった空気を空気孔を介して外部に排出することができ、凹部に漏液を流入することができる。
以下、第1実施形態を図1〜図9に従って説明する。
図1に示すように、漏液検出装置10は、工場内の製造装置11を設置した床面12にボルトBにて取り付けられ、製造装置11からの漏液Wを検出している。そして、漏液検出装置10は、製造装置11からの漏液Wを検出すると、ケーブル13を介して停止信号Stを製造装置11に送信して製造装置11を停止させるようになっている。
図3に示すように、固定台21は、略テーパー形状であって、その先細った基端部(図3において右側)中央位置に垂直方向(図2において上下方向)にボルト挿通孔21aが貫通形成されている。固定台21は、貫通形成されたボルト挿通孔21aにボルトBが挿通され、その下面21bが床面12と接した状態でボルトBにて床面12と連結固定されている。
第1投光手段40aは、第1出射面28bに出射光を出射し、第1出射面28bにて出射光を透過させるとともに、環状下面20cと床面12の隙間D1に漏液Wが流入していない場合、所定の屈折角で屈折させて透過光として第1入射面28cに出射する。
第2投光手段40bは、第2出射面26bに出射光を出射し、第2出射面26bにて出射光を透過させるとともに、円形凹部20b内に漏液Wが流入していない場合、所定の屈折角で屈折させて透過光として第2入射面26cに出射する。
詳しくは、製造装置11から漏液Wがない場合、出力制御手段43は、Lレベル(非検出モード)の第1及び第2検出信号Sd1,Sd2が入力され、製造装置11を停止させないLレベル(動作モード)の停止信号Stを製造装置11に出力する。
(1)漏液検出装置10は、製造装置11からの少量の漏液Wを検出する第1検出部25と、製造装置11からの大量の漏液Wを検出する第2検出部26を設けた。そして、漏液検出装置10は、第1検出部25にて漏液Wを検出すると、仕掛かり中の作業の終了後に製造装置11を停止させ、第2検出部26にて漏液Wを検出すると、作業の仕掛かり中に拘わらず直ちに製造装置11を停止させるようにした。
(第2実施形態)
第1実施形態では、漏液検出装置10は、製造装置11からの少量の漏液Wを第1検出部25にて検出すると、製造装置11を仕掛かり中の作業終了後に停止させ、製造装置11からの大量の漏液Wを第2検出部26にて検出すると、製造装置11を即停止させていた。
(1)漏液検出装置50は、その下面20aに第1及び第3検出部25,51を備えた。そして、漏液検出装置50は、第1及び第3検出部25,51が製造装置11からの漏液Wを検出する時間差(検出時間差)C1が長いほど、製造装置11を遅く停止させ、反対に、検出時間差C1が短いほど、製造装置11を早く停止させるようにした。
(第3実施形態)
本実施形態は、基台下面の特に第1検出部の形状が上記第1実施形態とは異なる。従って、以下には上記第1実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
(1)第1検出部61の導入部62は、環状下面20cから上方に向かって凹設形成されてなり、環状下面20cには、床面12に向かって突出する案内凸部64,65が導入部62と隣り合う位置に設けられる。これにより、案内凸部64,65は、床面12との隙間が環状下面20cと床面12との隙間よりも狭くなるため、案内凸部64,65と床面12との隙間に漏液が引き寄せられる。そのため、案内凸部64,65と隣り合う導入部62に漏液を引き込み易くすることができ、その結果、漏液を安定して検出することが可能となる。
・本実施形態では、漏液検出装置10は、円柱形状に形成されていたが、多角形状に形成してもよい。
・第1実施形態では、漏液検出装置10は、第1検出部25にて漏液Wを検出すると、仕掛かり中の作業の終了後に製造装置11を停止させていた。これに限らず、漏液検出装置10は、第1検出部25にて漏液Wを検出して製造装置11を停止させるタイミングは特に制限されない。例えば、漏液検出装置10は、製造装置11から所定時間Hレベルの同期信号Ssが入力されるタイミングであれば、どのタイミングで製造装置11を停止させてもよい。
・第1実施形態では、漏液検出装置10は、第1検出部25にて漏液Wを検出すると、製造装置11から少量の漏液Wが漏れたことを検出し、同期信号Ssに同期して製造装置11を停止させていた。これに限らず、漏液検出装置10は、第1検出部25にて漏液Wを検出すると、製造装置11にて少量の漏液Wが漏れたことを知らせる警報信号を製造装置11に出力してもよい。この場合、漏液検出装置10は、製造装置11からの漏液Wが少量のとき、製造装置11から漏液Wがもれたことを製造装置11に知らせる。また、漏液検出装置10は、第2検出部26にて漏液Wを検出すると、製造装置11から大量の漏液Wが流出したことを検出して製造装置11を停止させることになる。
第1実施形態では、環状下面20cと床面12の隙間D1に流入した漏液Wを毛細管現象によって第1検出部25まで流入させていた。これに限らず、環状下面20cに第1検出部25から周方向に環状の突部を設け、環状下面20cと床面12の隙間D1に流入した漏液Wを環状の突部に案内させて第1検出部25に流入させてもよい。
・第2実施形態では、漏液検出装置50は、第1及び第3検出部25,51が製造装置11からの漏液Wを検出する時間差(検出時間差)C1に基づいて、製造装置11を停止させるタイミングを変更していた。これに限らず、漏液検出装置50は、検出時間差C1に基づいて、製造装置11の一連の動作の所要時間単位で製造装置11を停止させてもよい。
・さらにまた、漏液検出装置50は、製造装置11から同期信号Ssを入力し、検出時間差C1に基づいて、同期信号Ssに同期して停止信号Stを出力し、製造装置11を停止させてもよい。
・第3実施形態では、案内凸部64,65は2つ設けられたが、これに特に限定されるものではなく、1つのみで構成してもよい。
・第3実施形態では、案内凸部64,65は前後方向Xに隣り合う位置に設けられたが、幅方向Yに隣り合う位置に設けてもよい。
Claims (11)
- 漏液を導入する導入部と、
前記導入部に向けて光を照射する投光手段と、
前記投光手段から光を前記導入部を介して受光する受光手段と、
前記受光手段の受光量に基づいて前記漏液を検出する検出手段とを備えた漏液検知部を有し、
前記漏液検知部の前記漏液検出結果に基づいて外部へ検出信号を出力する漏液検出装置であって、
前記漏液検出装置は、床面に対して隙間を設けて設置され、
前記漏液検知部は、
前記漏液検出装置の下面の異なる位置に設けられた第1漏液検知部と第2漏液検知部とを有し、
前記漏液検出装置の下面の中心部と周縁部とを結ぶ線上において前記周縁部よりに前記第1漏液検知部が、前記中心部よりに前記第2漏液検知部がそれぞれ配置され、
前記第2漏液検知部は、前記漏液検出装置の下面の周縁部から離れた位置に凹設された凹部に設けられ、
出力制御手段は、
前記第2漏液検知部が前記漏液を検知すると前記検出信号を出力し、
前記第1漏液検知部が前記漏液を検知すると、所定時間後に前記検出信号を出力することを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項1に記載の漏液検出装置において、
外部から同期信号を入力する入力手段を有し、
前記出力制御手段は、
前記第1漏液検知部が前記漏液を検知すると、前記入力手段に入力される前記同期信号に同期して前記検出信号を出力することを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項1又は2に記載の漏液検出装置において、
前記第2漏液検知部の前記導入部は、前記凹部から前記床面に向かって突出形成されてなり、
前記第1漏液検知部は、前記漏液検出装置の下面の周縁部に設けられ、
前記第1漏液検知部の前記導入部は、前記下面から上方に向かって凹設形成されてなることを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項3に記載の漏液検出装置において、
前記凹部には空気孔が連通されてなることを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の漏液検出装置において、
前記第1漏液検知部の前記導入部の周囲の一部には、前記漏液検出装置の下面から前記床面に向かって突出する案内段部が設けられたことを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項5に記載の漏液検出装置において、
前記案内段部は、前記漏液検出装置の下面に向かうにつれて幅広となる形状をなすことを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項5又は6に記載の漏液検出装置において、
前記案内段部は、前記第1漏液検知部の前記導入部を挟むように一対設けられたことを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の漏液検出装置において、
前記漏液検出装置の下面には、前記凹部に向かって突出するガイド部が前記凹部における前記第1漏液検知部から最も離れた位置に設けられたことを特徴とする漏液検出装置。 - 漏液を導入する導入部と、
前記導入部に向けて光を照射する投光手段と、
前記投光手段から光を前記導入部を介して受光する受光手段と、
前記受光手段の受光量に基づいて前記漏液を検出する検出手段とを備えた漏液検知部を有し、
前記漏液検知部の前記漏液検出結果に基づいて外部へ検出信号を出力する漏液検出装置であって、
前記漏液検知部は、
前記導入部の前記漏液の発生量に応じた異なる箇所に、第1漏液検知部と、前記第1漏液検知部よりも前記漏液が多く発生した位置に配置された第2漏液検知部とを配置し、
前記第1漏液検知部の前記検出手段が前記漏液を検出した時間と、前記第2漏液検知部の前記検出手段が前記漏液を検出した時間の間隔を測定する時間間隔測定手段を有し、
出力制御手段は、
前記第2漏液検知部が前記漏液を検知してから前記検出信号を出力するまでの時間を、前記時間間隔測定手段で測定された時間間隔に応じて変更することを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項9に記載の漏液検出装置において、
外部から同期信号を入力する入力手段を有し、
前記出力制御手段は、
前記第1漏液検知部が前記漏液を検知すると、前記入力手段に入力される前記同期信号に同期して前記検出信号を出力することを特徴とする漏液検出装置。 - 請求項9又は10に記載の漏液検出装置において、
前記漏液検知部を、
前記第2漏液検知部よりも前記漏液が多く発生した位置に配置された第3漏液検知部を配置し、
前記出力制御手段は、
前記第3漏液検知部が漏液を検出すると直ちに前記検出信号を出力することを特徴とする漏液検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010195148A JP5666208B2 (ja) | 2009-09-30 | 2010-08-31 | 漏液検出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229082 | 2009-09-30 | ||
JP2009229082 | 2009-09-30 | ||
JP2010195148A JP5666208B2 (ja) | 2009-09-30 | 2010-08-31 | 漏液検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011095249A true JP2011095249A (ja) | 2011-05-12 |
JP5666208B2 JP5666208B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=44044113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010195148A Active JP5666208B2 (ja) | 2009-09-30 | 2010-08-31 | 漏液検出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5666208B2 (ja) |
KR (1) | KR101631138B1 (ja) |
CN (1) | CN202066657U (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2010
- 2010-08-25 KR KR1020100082459A patent/KR101631138B1/ko active IP Right Grant
- 2010-08-31 JP JP2010195148A patent/JP5666208B2/ja active Active
- 2010-09-02 CN CN2010205232591U patent/CN202066657U/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5666208B2 (ja) | 2015-02-12 |
KR101631138B1 (ko) | 2016-06-17 |
KR20110035860A (ko) | 2011-04-06 |
CN202066657U (zh) | 2011-12-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141210 |
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