JP2011068980A - 有機物蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機物蒸着装置は、内部が第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、前記第1又は第2基板蒸着領域内のから第1方向に移動して第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第2方向に回転移動させる第2移動手段とを含んで構成される。
【選択図】図1
Description
110 第1基板
200 アライン部
110’ 第2基板
210 アライン部
300 有機物蒸着源
400 蒸着源収納部
500 移動手段
Claims (20)
- 内部が第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1又は第2基板蒸着領域内で移動して第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第1方向に回転移動させる第1移動手段と、を含むことを特徴とする有機物蒸着装置。 - 前記有機物蒸着源を前記第1又は第2基板蒸着領域内でそれぞれ第2方向に往復移動させる第2移動手段を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記第1基板蒸着領域に位置して外部から移送された第1基板をアラインする第1基板アライン部と、
前記第2基板蒸着領域に位置して外部から移送された第2基板をアラインする第2基板アライン部と、を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。 - 前記第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域は、前記第1方向と交差する第2方向に隣接して配列されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記有機物蒸着源は、線形蒸着源で実現されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記チャンバの本体は、前記第1移動手段に隣接した第1面の長さが前記第1面に対応する第2面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記チャンバ本体の第2面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項6に記載の有機物蒸着装置。
- 第1基板がチャンバ内の第1基板蒸着領域に移送され、前記移送された第1基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第1基板に対するアラインが完了した後に、前記第1基板蒸着領域内で蒸着源が移動して第1基板の蒸着工程が行われる段階と、
前記第1基板の蒸着工程が行われると同時に、第2基板が前記チャンバ内の第2基板蒸着領域に移送され、前記移送された第2基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第1基板に対する蒸着及び第2基板に対するアラインが完了した後に、前記蒸着源が第1方向に回転移動して第2基板蒸着領域に位置する段階と、
前記第2基板蒸着領域内で前記蒸着源が移動して第2基板の蒸着工程が行われる段階と、
が含まれることを特徴とする有機物蒸着方法。 - 前記第2基板に対する蒸着工程が行われると同時に、他の第1基板がチャンバ内の第1基板蒸着領域に移送され、アライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の有機物蒸着方法。
- 内部が第1基板蒸着領域、待機領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1基板蒸着領域に位置して外部から移送された第1基板をアラインする第1基板アライン部と、
前記第2基板蒸着領域に位置して外部から移送された第2基板をアラインする第2基板アライン部と、
前記第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも1つの有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源を第1方向に移動させる移送手段と、
を含んで構成されることを特徴とする有機物蒸着装置。 - 前記有機物蒸着源を収納する蒸着源収納部を更に含み、前記蒸着源収納部の上部外側壁には角度制限板が形成されていることを特徴とする請求項10に記載の有機物蒸着装置。
- 前記第1基板蒸着領域、待機領域及び第2基板蒸着領域は、前記第1方向に一列に配列されることを特徴とする請求項10に記載の有機物蒸着装置。
- 第1基板又は第2基板がチャンバ内に移送された後、アライン工程が完了する前に有機物蒸着源が前記チャンバの待機領域上に位置する段階と、
前記第1基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第1基板が位置する第1基板蒸着領域に移動して第1基板に対する蒸着が行われる段階と、
前記第1基板に対する蒸着工程が完了した後、前記有機物蒸着源が再びチャンバの待機領域に移動される段階と、
前記第2基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第2基板が位置する第2基板蒸着領域に移動して第2基板に対する蒸着が行われる段階と、
を含むことを特徴とする有機物蒸着方法。 - 前記第1基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第2基板に対するアライン工程が行われる段階、又は、前記第2基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第1基板に対するアライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項13に記載の有機物蒸着方法。
- 前記蒸着が完了した第1基板又は第2基板は外部に搬送され、他の第1基板又は第2基板がチャンバ内に移送される段階を更に含むことを特徴とする請求項13に記載の有機物蒸着方法。
- 複数の有機物蒸着装置と、
前記複数の有機物蒸着装置を共通して連結するトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを通じて前記有機物蒸着装置の内部に投入される基板のローディング及び/又はアンローディングを行うロードラックチャンバと、含み、
前記複数の有機物蒸着装置は、少なくとも2つの基板に対する蒸着を行い、前記少なくとも2つの基板のうちいずれか一方の基板に対する蒸着を行うと同時に、残りの基板の移送及びアラインを行う第1有機物蒸着装置を含むことを特徴とする有機物蒸着システム。 - 前記複数の有機物蒸着装置は、1つの基板に対して移送、アライン及び蒸着工程を順次行う第2有機物蒸着装置を含むことを特徴とする請求項16に記載の有機物蒸着システム。
- 前記第1有機物蒸着装置は、
内部が第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1又は第2基板蒸着領域内で移動して第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第1方向に回転移動させる第1移動手段と、
を含むことを特徴とする請求項16に記載の有機物蒸着システム。 - 前記チャンバの本体は、前記第1移動手段に隣接した第1面の長さが前記第1面に対向する第2面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項18に記載の有機物蒸着システム。
- 前記チャンバ本体の第2面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項19に記載の有機物蒸着システム。
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013104131A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Snu Precision Co Ltd | 平板パネル製造装置 |
CN103290364A (zh) * | 2013-05-23 | 2013-09-11 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 | 连续式真空蒸发镀膜装置 |
JP2013204152A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Snu Precision Co Ltd | 有機物蒸着システム |
KR101561218B1 (ko) | 2013-12-26 | 2015-10-19 | 주식회사 에스에프에이 | Oled 제조용 박막 증착장치 |
JP2016117915A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
JP2016196684A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
KR20170001626A (ko) | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 증착 장치 |
JP2017500445A (ja) * | 2013-12-13 | 2017-01-05 | ソニック システム リミテッド | 蒸発源移送ユニット、蒸着装置及び蒸着方法 |
JP2017500446A (ja) * | 2013-12-10 | 2017-01-05 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する装置、有機材料用の蒸発源を含む蒸発堆積装置を有するシステム、及び有機材料用の蒸発源を操作するための方法 |
JP2017115246A (ja) * | 2017-01-10 | 2017-06-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法 |
JP2018154926A (ja) * | 2018-05-17 | 2018-10-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法 |
KR20200010707A (ko) * | 2018-07-20 | 2020-01-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
JP2020063465A (ja) * | 2018-10-15 | 2020-04-23 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、製造システム、有機elパネルの製造システム、及び成膜方法 |
JP2020515026A (ja) * | 2018-03-09 | 2020-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空処理システムおよび真空処理システムを動作させる方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000306666A (ja) * | 1994-10-07 | 2000-11-02 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及びその装置 |
JP2004043965A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蒸着源ホルダ、蒸着装置、蒸着方法、及び発光装置の作製方法 |
JP2004238663A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Sony Corp | 蒸着装置 |
JP2005325425A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Ulvac Japan Ltd | 有機蒸着方法及び有機蒸着装置 |
JP2006002226A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Kyocera Corp | 蒸着装置 |
-
2010
- 2010-04-15 JP JP2010094073A patent/JP5694679B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000306666A (ja) * | 1994-10-07 | 2000-11-02 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及びその装置 |
JP2004043965A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蒸着源ホルダ、蒸着装置、蒸着方法、及び発光装置の作製方法 |
JP2004238663A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Sony Corp | 蒸着装置 |
JP2005325425A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Ulvac Japan Ltd | 有機蒸着方法及び有機蒸着装置 |
JP2006002226A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Kyocera Corp | 蒸着装置 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013104131A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Snu Precision Co Ltd | 平板パネル製造装置 |
JP2013204152A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Snu Precision Co Ltd | 有機物蒸着システム |
KR101346071B1 (ko) | 2012-03-27 | 2013-12-31 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 유기물 증착 시스템 |
CN103290364A (zh) * | 2013-05-23 | 2013-09-11 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 | 连续式真空蒸发镀膜装置 |
KR101920333B1 (ko) | 2013-12-10 | 2018-11-20 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유기 재료를 위한 증발 소스, 진공 챔버에서 유기 재료를 증착하기 위한 증착 장치, 및 유기 재료를 증발시키기 위한 방법 |
JP2017500446A (ja) * | 2013-12-10 | 2017-01-05 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する装置、有機材料用の蒸発源を含む蒸発堆積装置を有するシステム、及び有機材料用の蒸発源を操作するための方法 |
JP2017500445A (ja) * | 2013-12-13 | 2017-01-05 | ソニック システム リミテッド | 蒸発源移送ユニット、蒸着装置及び蒸着方法 |
KR101561218B1 (ko) | 2013-12-26 | 2015-10-19 | 주식회사 에스에프에이 | Oled 제조용 박막 증착장치 |
JP2016117915A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
JP2016196684A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | キヤノントッキ株式会社 | 蒸着装置並びに蒸着方法 |
KR20170001626A (ko) | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 증착 장치 |
JP2017115246A (ja) * | 2017-01-10 | 2017-06-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法 |
JP2020515026A (ja) * | 2018-03-09 | 2020-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空処理システムおよび真空処理システムを動作させる方法 |
JP2018154926A (ja) * | 2018-05-17 | 2018-10-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法 |
KR20200010707A (ko) * | 2018-07-20 | 2020-01-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
KR102641512B1 (ko) * | 2018-07-20 | 2024-02-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
JP2020063465A (ja) * | 2018-10-15 | 2020-04-23 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、製造システム、有機elパネルの製造システム、及び成膜方法 |
KR20200042384A (ko) | 2018-10-15 | 2020-04-23 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 제조 시스템, 유기 el패널의 제조 시스템 및 성막 방법 |
JP7188973B2 (ja) | 2018-10-15 | 2022-12-13 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、製造システム、有機elパネルの製造システム、成膜方法、及び有機el素子の製造方法 |
Also Published As
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