JP5694679B2 - 有機物蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Description
110 第1基板
200 アライン部
110’ 第2基板
210 アライン部
300 有機物蒸着源
400 蒸着源収納部
500 移動手段
Claims (17)
- 内部が第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1又は第2基板蒸着領域内で移動して第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように、これら第1又は第2基板蒸着領域間の第1方向に沿い前記有機物蒸着源を回転移動させる第1移動手段と、を含み、
前記第1基板蒸着領域には外部から移送された第1基板をアラインする第1基板アライン部が設けられ、前記第2基板蒸着領域には外部から移送された第2基板をアラインする第2基板アライン部が設けられるとともに、これら各第1、第2基板アライン部は、放射状に配置された第2方向に沿うように設けられ、
これら第1又は第2基板蒸着領域内にて前記有機物蒸着源をそれぞれ第2方向に往復移動させる第2移動手段が設けられることを特徴とする有機物蒸着装置。 - 前記第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域は、前記第1方向と交差する第2方向に隣接して配列されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記有機物蒸着源は、線形蒸着源で実現されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記チャンバの本体は、前記第1移動手段に隣接した第1面の長さが前記第1面に対応する第2面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項1に記載の有機物蒸着装置。
- 前記チャンバ本体の第2面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項4に記載の有機物蒸着装置。
- 第1基板がチャンバ内の第1基板蒸着領域に移送され、前記移送された第1基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第1基板に対するアラインが完了した後に、前記第1基板蒸着領域内で蒸着源が移動して第1基板の蒸着工程が行われる段階と、
前記第1基板の蒸着工程が行われると同時に、第2基板が前記チャンバ内の第2基板蒸着領域に移送され、前記移送された第2基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第1基板に対する蒸着及び第2基板に対するアラインが完了した後に、前記蒸着源が第1方向に回転移動して第2基板蒸着領域に位置する段階と、
前記第2基板蒸着領域内で前記蒸着源が移動して第2基板の蒸着工程が行われる段階と、が含まれ、
前記各第1、第2基板蒸着領域でのアライン工程及び蒸着工程は、放射状に配置された第2方向に沿うようにそれぞれ往復移動して行われることを特徴とする有機物蒸着方法。 - 前記第2基板に対する蒸着工程が行われると同時に、他の第1基板がチャンバ内の第1基板蒸着領域に移送され、アライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項6に記載の有機物蒸着方法。
- 内部が第1基板蒸着領域、待機領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1基板蒸着領域に位置して外部から移送された第1基板をアラインする第1基板アライン部と、
前記第2基板蒸着領域に位置して外部から移送された第2基板をアラインする第2基板アライン部と、
前記第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも1つの有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源を移動させる移送手段と、を含み、
前記各第1、第2基板アライン部は、放射状に配置された第2方向に沿うように設けられ、
前記移送手段は、前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように、これら第1又は第2基板蒸着領域間の第1方向に沿い前記有機物蒸着源を回転移動させる第1移動手段と、前記第1又は第2基板蒸着領域内にて前記有機物蒸着源をそれぞれ第2方向に往復移動させる第2移動手段とから構成されることを特徴とする有機物蒸着装置。 - 前記有機物蒸着源を収納する蒸着源収納部を更に含み、前記蒸着源収納部の上部外側壁には角度制限板が形成されていることを特徴とする請求項8に記載の有機物蒸着装置。
- 前記第1基板蒸着領域、待機領域及び第2基板蒸着領域は、前記第1方向に一列に配列されることを特徴とする請求項8に記載の有機物蒸着装置。
- 第1基板又は第2基板がチャンバ内に移送された後、アライン工程が完了する前に有機物蒸着源が前記チャンバの待機領域上に位置する段階と、
前記第1基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第1基板が位置する第1基板蒸着領域側の第1方向に回転移動して該第1基板に対する蒸着が行われる段階と、
前記第1基板に対する蒸着工程が完了した後、前記有機物蒸着源が再びチャンバの待機領域に移動される段階と、
前記第2基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第2基板が位置する第2基板蒸着領域側の第1方向に回転移動して該第2基板に対する蒸着が行われる段階と、を含み、
前記各第1、第2基板蒸着領域でのアライン工程及び蒸着工程は、放射状に配置された第2方向に沿うようにそれぞれ往復移動して行われることを特徴とする有機物蒸着方法。 - 前記第1基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第2基板に対するアライン工程が行われる段階、又は、前記第2基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第1基板に対するアライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項11に記載の有機物蒸着方法。
- 前記蒸着が完了した第1基板又は第2基板は外部に搬送され、他の第1基板又は第2基板がチャンバ内に移送される段階を更に含むことを特徴とする請求項11に記載の有機物蒸着方法。
- 複数の有機物蒸着装置と、
前記複数の有機物蒸着装置を共通して連結するトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを通じて前記有機物蒸着装置の内部に投入される基板のローディング及び/又はアンローディングを行うロードラックチャンバと、含み、
前記複数の有機物蒸着装置は、少なくとも2つの基板に対する蒸着を行い、前記少なくとも2つの基板のうちいずれか一方の基板に対する蒸着を行うと同時に、残りの基板の移送及びアラインを行う第1有機物蒸着装置を含み、
前記第1有機物蒸着装置は、
内部が第1基板蒸着領域及び第2基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第1又は第2基板蒸着領域内で移動して第1基板又は第2基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第1又は第2基板蒸着領域に位置するように、これら第1又は第2基板蒸着領域間の第1方向に沿い前記有機物蒸着源を回転移動させる第1移動手段と、を含み、
前記第1基板蒸着領域には外部から移送された第1基板をアラインする第1基板アライン部が設けられ、前記第2基板蒸着領域には外部から移送された第2基板をアラインする第2基板アライン部が設けられるとともに、これら各第1、第2基板アライン部は、放射状に配置された第2方向に沿うように設けられ、
これら第1又は第2基板蒸着領域内にて前記有機物蒸着源をそれぞれ第2方向に往復移動させる第2移動手段が設けられることを特徴とする有機物蒸着システム。 - 前記複数の有機物蒸着装置は、1つの基板に対して移送、アライン及び蒸着工程を順次行う第2有機物蒸着装置を含むことを特徴とする請求項14に記載の有機物蒸着システム。
- 前記チャンバの本体は、前記第1移動手段に隣接した第1面の長さが前記第1面に対向する第2面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項14に記載の有機物蒸着システム。
- 前記チャンバ本体の第2面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項16に記載の有機物蒸着システム。
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