JP2017500445A - 蒸発源移送ユニット、蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 蒸着チャンバー内に配置されて線形の蒸発源を移送する蒸発源移送ユニットであって、
一つの中心点で前記蒸着チャンバーを横切る仮想の第1放射方向に垂直を成す線形の第1レールと、前記中心点で前記蒸着チャンバーを横切る仮想の第2放射方向に垂直を成す線形の第2レールと、前記第1レールと前記第2レールを繋ぐ曲線の第3レールを含む下側レールと;
前記第1レールと離隔されて平行を成す線形の第4レールと、前記第2レールと離隔されて平行を成す線形の第5レールと、前記第4レールと前記第5レールを繋ぐ曲線の第6レールを含む上側レールと;
前記線形の蒸発源が前記下側レールと前記上側レールに対して垂直になるように結合され、前記下側レールと前記上側レールに沿って往復移動する移送部を含む、蒸発源移送ユニット。 - 前記移送部は、
前記下側レールと前記上側レールに沿って移動するように前記下側レールと前記上側レールに対向してそれぞれ結合される一対の第1スライダーと;
前記一対の第1スライダーにそれぞれ離隔され、前記下側レールと前記上側レールに沿って移動するように前記下側レールと前記上側レールに対向してそれぞれ結合される一対の第2スライダーを含み、
前記第1スライダーは、
前記下側レールまたは前記上側レールに沿って移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの上側に水平方向に回転できるように結合される回転ブロックを含み、
前記第2スライダーは、
前記下側レールまたは前記上側レールに沿って移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの上側に水平方向に回転できるように結合される回転ブロックと、前記回転ブロックに対してスライディングするように前記回転ブロックに結合されるスライディングバーを含むことを特徴とする、請求項1に記載の蒸発源移送ユニット。 - 前記第1スライダーと前記第2スライダーに支持されるソース支持台をさらに含み、
前記蒸発源は前記ソース支持台に結合されることを特徴とする、請求項2に記載の蒸発源移送ユニット。 - 前記下側レール及び上側レールの外側に一定間隔離隔されて前記上側レール及び前記下側レールに沿ってそれぞれ配置されるラックレールと;
前記ラックレールに歯合されるピニオンと;
前記ピニオンに回転力を与え、前記ソース支持台に結合されるモーター部をさらに含むことを特徴とする、請求項3に記載の蒸発源移送ユニット。 - 第1蒸着領域と第2蒸着領域に区画され、一つの中心点から第1放射方向に第1基板が前記第1蒸着領域に引出または引込されるし、前記中心点から第2放射方向に第2基板が前記第2蒸着領域に引出または引込される蒸着チャンバーと;
前記第1基板が前記第1放射方向にローディングされて安着される第1基板ローディング部と;
前記第2基板が前記第2放射方向にローディングされて安着される第2基板ローディング部と;
前記第1基板または前記第2基板に対向して蒸発物質を噴射する線形の蒸発源と;
前記線形の蒸発源を移送する蒸発源移送ユニットを含み、
前記蒸発源移送ユニットは、
前記第1放射方向に垂直を成す線形の第1レールと、前記第2放射方向に垂直を成す線形の第2レールと、前記第1レールと前記第2レールを繋ぐ曲線の第3レールを含む下側レールと;
前記第1レールと離隔され平行を成す線形の第4レールと、前記第2レールと離隔され平行を成す線形の第5レールと、前記第4レールと前記第5レールを繋ぐ曲線の第6レールを含む上側レールと;
前記線形の蒸発源が前記下側レールと前記上側レールに対して垂直を成すように結合され、前記下側レールと前記上側レールに沿って往復移動する移送部を含む、蒸着装置。 - 前記移送部は、
前記下側レールと前記上側レールに沿って移動するように前記下側レールと前記上側レールに対向してそれぞれ結合される一対の第1スライダーと;
前記一対の第1スライダーにそれぞれ離隔され、前記下側レールと前記上側レールに沿って移動するように前記下側レールと前記上側レールに対向してそれぞれ結合される前記一対の第2スライダーを含み、
前記第1スライダーは、
前記下側レールまたは前記上側レールに沿って移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの上側に水平方向に回転できるように結合される回転ブロックを含み、
前記第2スライダーは、
前記下側レールまたは前記上側レールに沿って移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの上側に水平方向に回転できるように結合される回転ブロックと、前記第1放射方向に垂直方向にスライディングするように前記回転ブロックに結合されるスライディングバーを含むことを特徴とする、請求項5に記載の蒸着装置。 - 前記第1スライダーと前記第2スライダーに支持されるソース支持台をさらに含み、
前記蒸発源は前記ソース支持台に結合されることを特徴とする、請求項6に記載の蒸着装置。 - 前記上側レールの外側へ一定間隔離隔されて前記上側レールに沿って配置されるラックレールと;
前記ラックレールに歯合されるピニオンと;
前記ピニオンに回転力を提供して、前記ソース支持台に結合されるモーター部をさらに含むことを特徴とする、請求項7に記載の蒸着装置。 - 請求項5による蒸着装置を利用して蒸発物質を蒸着する方法であって、
前記第1蒸着領域の前記上側レール及び前記下側レールの端部に前記移送部を移動させる段階と;
前記第1基板を前記第1放射方向にローディングして前記第1基板ローディング部に安着させる段階と;
前記移送部を前記第1レール及び前記第3レールに沿って移動させて前記第1基板に前記蒸発物質を蒸着させる段階;
前記第1基板に蒸発粒子を蒸着させる段階と、同時に前記第2基板を前記第2放射方向にローディングして前記第2基板ローディング部に安着させる段階と;
前記移送部を曲線の前記第3レール及び前記第5レールを通過させ、前記第2レール及び前記第4レールに沿って移動させて前記第2基板に蒸発粒子を蒸着させる段階を含む、蒸着方法。 - 前記第1基板に蒸発物質を蒸着させる段階の後、
蒸着が完了された前記第1基板を前記蒸着チャンバーから引出し、新しい第1基板を前記第1放射方向にローディングして前記第1基板ローディング部に安着させる段階をさらに含むことを特徴とする、請求項9に記載の蒸着方法。
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