JP2011058860A - 角速度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動体からの変位信号を同期検波する同期検波手段と、その出力が常に最大値となるように共振周波数調整電極に与える電圧値を変化させる手段と、その出力を検出軸方向の共振周波数調整電極に帰還させる手段とで構成される。
【効果】温度や圧力の変動や経時劣化等に影響されずセンサの検出感度を一定に保つことができる。
【選択図】 図1
Description
2,3,5,6 固定電極
4 振動子
7 容量検出器
8 AD変換器
9 同期検波
10,40 乗算器
11 積分
12 係数器
13,23,24,35,37 加算器
15,33,36 遅延回路
18 ローパスフィルタ
22 反転器
25,26,38 DA変換器
27 角速度振動制御部
31 fy調整電極
32 fy調整制御
34 比較器
43 駆動信号発生器
44 レジスタ
45 駆動電極
Claims (6)
- 互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体を有し、振動体を第1の方向に振動させた状態において、角速度の発生により、振動体が第2の方向に変位したときの変位量を検出する角速度検出装置において、
角速度の発生に関わらず前記第2の方向に恒常的に生じる変位を検出する手段と、
その出力に応じて前記第2の方向の共振周波数を調整する手段を有することを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1において、
角速度の発生に関わらず第2の方向に恒常的に生じる変位は、振動体を第1の方向に振動させた状態において生じる第2の方向への漏れ振動であることを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1において、
第2の方向の共振周波数を調整する手段は、検出した変位量が常に最大の値を維持するよう振動体へ印加する電圧を調整することを特徴とする角速度検出装置。 - 互いに直交する第1の方向および第2の方向に変位可能な振動体を有し、振動体を第1の方向に振動させた状態において、角速度の発生による振動体の第2の方向への変位を抑制するように働くサーボ機能を有する角速度検出装置において、
前記第2の方向への変位を抑制するため前記振動体に設けたサーボ電極に、前記振動体を前記第2の方向に振動させる信号を入力する手段と、
前記第2の方向に生じる変位を検出する手段と、
その出力に応じて前記第2の方向の共振周波数を調整する手段を有することを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項1または4において、
前記振動体を前記第2の方向に振動させる信号は、前記第1の方向の共振周波数と等しいかまたは一定の周波数差となる周波数の信号であることを特徴とする角速度検出装置。 - 請求項4において、
前記第2の方向の共振周波数を調整する手段は、検出した変位量が常に最大の値を維持するよう振動体へ印加する電圧を調整することを特徴とする角速度検出装置。
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