JP2011039035A - 熱式流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様は、被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路Sと、センサ流路Sに対するバイパス流路Bとを備える熱式流量計70において、前記熱線が設けられた測定チップ60と、測定チップ60が実装されるとともに、測定チップ60に電気的に接続される電気回路が設けられたセンサ基板78とを有し、測定チップ60の抵抗体用電極64,65,66,67,68,69とセンサ基板78の回路用電極54,55,56,57,58,59とを接合材料により接合することによってセンサ基板78に測定チップ60が実装されており、センサ基板78の回路用電極54,55,56,57,58,59に貫通孔が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図24
Description
流れる被測定流体の流量、ひいては熱式流量計の内部を流れる被測定流体の流量が検出される。このため、高速応答で計測結果を出力することができる。なお、センサ流路とバイパス流路とに分流する被測定流体の割合を変化させることによって、流量レンジを変化させることができる。具体的には、バイパス流路の断面積を変化させることによって、流量レンジを変化させることができる。
する係合突起が形成され、前記係合突起には、前記係合穴に前記係合突起を係合させると、前記カバーが前記ボディに対して係合部分で接し係合部分から離れるにしたがって前記カバーと前記ボディとの距離が漸増するように、前記カバーが斜めに配置されるようなテーパが形成されており、前記係合突起が前記係合穴に係合した状態で前記カバーが前記ボディに固定されていることが望ましい。
以下、本発明の熱式流量計を具体化した好適な実施の形態について、図面に基づき詳細に説明する。そこで、実施例1の実施の形態に係る熱式流量計の概略構成を図1に示す。図1は、熱式流量計10の分解斜視図である。図1に示すように、実施例1の実施の形態に係る熱式流量計10は、ボディ20と、カバー30と、流路ブロック40と、センサ基板50とを有している。そして、流路ブロック40がボディ20に装着された状態で、センサ基板50がボディ20とカバー30とにより狭持されてボディ20内に固定されている。これにより、熱式流量計10内にセンサ流路Sとセンサ流路Sに対するバイパス流路Bとが形成されている(図10参照)。
図5を用いて説明する。なお、図4は、第1メッシュ板41を示す平面図である。図5は、第1メッシュ板41のメッシュ部41mの拡大図である。第1メッシュ板41は、図4に示すように、略T字形をなしており、上部に位置決め部41aが形成されるとともに、両端部にメッシュ部41mが形成されている。位置決め部41aは、流路空間21内での位置決めを行う部位であり、その外周端が流路空間21の内壁に密着するようになっている。一方、メッシュ部41mは、図5に示すように、メッシュを構成する孔(直径0.2mm)の中心間距離がすべて0.27mmとなるように形成されている。すなわち、各孔の中心が正三角形の各頂点となるように孔が形成されている。このメッシュ部41mは、被測定流体の流れを整える整流機構をなすものである。なお、第1メッシュ板41の厚さは、0.1mmである。
により、センサ基板50のうち被測定流体が流れる領域付近をボディ20に押しつけることができる。その結果、センサ基板50とボディ20に装着されたセンサガスケット51との密着性を高めることができる。また、センサ基板50のうちセンサガスケット51が接触する部分はパターン配線が設けられていないためフラットになっているので、センサ基板50とセンサガスケット51との密着性をより高めることができる。その結果として、被測定流体の外部漏れを効果的に防止することができる。
さらに、ネジ止めされる部分が流路ブロック40の配置位置近傍であるため、センサ基板50とセンサガスケット51との密着性を一層高めることができる。これにより、被測定流体の外部漏れを確実に防止することができる。
センサ流路Sへ流れ込むものと、バイパス流路Bへ流れ込むものとに分流される。そして、センサ流路S及びバイパス流路Bから流れ出した被測定流体は、合流して、流体入口11を介して配管ブロック90に流れ出す。
3流量調整板48には、メッシュ部41mや44mと同一形状の開口部48oが形成されている。なお、第3流量調整板48の厚さは、0.3mmである。
とカバー30とで形成される空間内にセンサ基板50が鉛直に配置されている。また、被測定流体の出入口11,12が、ボディ20の同一面にボディ20の奥行き方向の中心線Cからずらされて配置されている。そして、センサ基板50に実装された測定チップ60が、測定流体の出入口11,12とは中心線Cに対して反対側に配置されるように、センサ基板50がボディ20とカバー30とに狭持されて固定されている。これらのことにより、流路ブロック40を限られたスペースに効率的に配置することができるとともに、センサ基板50の大きさに制限されることなく、熱式流量計10の奥行き方向における小型化、つまり薄型化を図ることができる。また、この小型化及びセンサ基板50の固定部品が不要となることから、熱式流量計10の軽量化も図ることができる。
次に、実施例2の実施の形態に係る熱式流量計70の概略構成を図24に示す。図24は、実施例2の実施の形態に係る熱式流量計70の分解斜視図である。図24に示すように、実施例2の実施の形態に係る熱式流量計70は、ボディ72と、カバー74と、流路ブロック76と、センサ基板78とを有している。そして、流路ブロック76がボディ72に装着され、センサ基板78がボディ72に収容された状態でボディ72に固定されている。そして、カバー74をボディ72に取り付けている。これにより、実施例1と同様に、熱式流量計70内にセンサ流路Sとセンサ流路Sに対するバイパス流路Bとが形成されている。以下の説明では、実施例1と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。
11 流体入口
12 流体出口
15 連絡流路
16 連絡流路
20 ボディ
21 流路空間
25a,25b,25c,25d,25e 係合穴
26 ネジ孔
30 カバー
31a,31b,31c,31d,31e係合突起
32a,32b,32c テーパ部
33a,33b,33c,33d,33e リブ
34 ネジ挿通孔
35 ネジ
40 流路ブロック
41 第1メッシュ板
42 第1スペーサ
43 第2スペーサ
44 第2メッシュ板
45 中央開口板
46 第1流量調整板
47 第2流量調整板
48 第3流量調整板
49 第4流量調整板
50 センサ基板
50a,50b,50c,50d,50e リブ受け面
51 センサガスケット
53 溝
54〜59 回路用電極
60 測定チップ
63 溝
64〜69 抵抗体用電極
70 熱式流量計
72 ボディ
74 カバー
76 流路ブロック
78 センサ基板
84 スルーホール
86 センサガスケット
88 ネジ挿通孔
89 ネジ
B バイパス流路
S センサ流路
Claims (7)
- 被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路と、前記センサ流路に対するバイパス流路とを備える熱式流量計において、
前記熱線が設けられた測定チップと、
前記測定チップが実装されるとともに、前記測定チップに電気的に接続される電気回路が設けられた基板とを有し、
前記測定チップの電極と前記基板の電極とを接合材料により接合することによって前記基板に前記測定チップが実装されており、
前記基板の電極に貫通孔が設けられている
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項1に記載する熱式流量計において、
前記基板は、当該基板を収容するボディに締結手段により固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項2に記載する熱式流量計において、
前記センサ流路と前記バイパス流路とを分岐させる流路ブロックを有し、
前記ボディは前記流路ブロックを収容し、
前記ボディと前記ボディの開口部を塞ぐカバーとで形成される空間内に前記基板が鉛直に配置され、
被測定流体の出入口が前記ボディの同一面に配置されている
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項3に記載する熱式流量計において、
前記流路ブロックには、前記センサ流路に流れ込む被測定流体の流れを整える整流機構が設けられている
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項3又は請求項4に記載する熱式流量計において、
前記出入口が前記ボディの奥行き方向中心からずらされてボディ端部に配置され、
前記測定チップが前記出入口とは前記ボディの奥行き方向中心に対して反対側に配置されており、
前記流路ブロックが前記出入口と前記基板との間に位置している
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項3から請求項5に記載するいずれか1つの熱式流量計において、
前記基板は、前記ボディに装着されたガスケットに密着した状態で固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。 - 請求項3から請求項6に記載するいずれか1つの熱式流量計において、
前記カバーには、前記ボディに形成された係合穴に係合する係合突起が形成され、
前記係合突起には、前記係合穴に前記係合突起を係合させると、前記カバーが前記ボディに対して係合部分で接し係合部分から離れるにしたがって前記カバーと前記ボディとの距離が漸増するように、前記カバーが斜めに配置されるようなテーパが形成されており、
前記係合突起が前記係合穴に係合した状態で前記カバーが前記ボディに固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
JP2002237673A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 回路基板装置 |
JP2004325335A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP3597527B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-08 | シーケーディ株式会社 | 熱式流量計 |
JP2006177984A (ja) * | 2002-05-29 | 2006-07-06 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2007234303A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Minebea Co Ltd | 面状照明装置 |
JP2008281367A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002237673A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Murata Mfg Co Ltd | 回路基板装置 |
JP2006177984A (ja) * | 2002-05-29 | 2006-07-06 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP2004325335A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
JP3597527B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-08 | シーケーディ株式会社 | 熱式流量計 |
JP2007234303A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Minebea Co Ltd | 面状照明装置 |
JP2008281367A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Ckd Corp | 熱式流量計 |
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