JP2011037262A - 液体吐出ヘッド用基板及びその製造方法及び、液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101の第一の面102と、基板101の第三の面104との間に設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子201と電気的に接続する複数の電極205と電気的に接続する電極層202が領域105の内側に設けられている。さらに、領域105には電極層202を被覆する樹脂からなる部材402が設けられている。
【選択図】図4
Description
次に、図4(b)に示す隣接する2つの供給口列の間に設けられた一方の素子列と接続する電極層と他方の素子列に接続する電極層を共通とする構成について具体的に説明する。
以下液体吐出ヘッド用基板の製造方法について説明する。
次に、他の支持基板401を用いた液体吐出ヘッドの一例について説明する。液体吐出ヘッド用基板82については、第一の実施形態と同様な製造方法を用いて設ける。
本実施形態においては、第二の実施形態に示す液体吐出ヘッドの支持基板の他の製造方法を示す。ヘッド用基板に関しては第一の実施形態と同様に設けたものを用いている。
83 液体吐出ヘッド
101 基板
102 第一の面
103 第二の面
104 第三の面
105 領域
201 素子
202、203 電極層
205 電極
303 供給口
401 支持基板
402 部材
Claims (18)
- 液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生する素子が複数設けられた第一の面と、凹部が設けられた、前記第一の面の反対側の第二の面と、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通した液体の供給口と、を有する基板と、
複数の前記素子とそれぞれ電気的に接続され、前記基板の、前記第一の面と前記凹部の内側との間を貫通して設けられた複数の電極と、
前記複数の電極に共通に電気的に接続され、前記内側に設けられた電極層と、
前記電極層を被覆する様に前記凹部に設けられた、樹脂からなる部材と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。 - 前記基板は前記供給口を複数有しており、複数の前記供給口を配列することで供給口列が構成していることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 複数の前記素子が配列されることで構成される素子列が前記供給口列を挟むように設けられていることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記供給口列は複数設けられており、隣接する第一の供給口列と第二の供給口列の間の領域に位置する、前記第一の供給口列に対応する第一の素子列に属する素子と第二の供給口列に対応する第二の素子列に属する素子と、が前記電極層に共通に電気的に接続されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記基板は、前記第二の面と連続し、前記第二の面から前記第二の面に対して斜め方向に前記第一の面と前記第二の面との間の位置まで設けられた斜面を有し、前記部材は前記斜面と接していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 前記第二の面に、液体吐出ヘッド用基板に電力を供給するための接続端子と電気的に接続することが可能な接続端子が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド用基板と、前記液体吐出ヘッド用基板を支持する支持基板とを有し、前記液体吐出ヘッド用基板の前記第二の面と、前記支持基板と、が接合されている液体吐出ヘッド。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板と、
前記液体吐出ヘッド用基板を前記第二の面の側から支持し、前記凹部の内側に設けられた凸部と、該凸部に設けられ前記電極層と電気的に接続された接続部材と、前記供給口と連通し、前記供給口に液体を供給するための開口と、が設けられた支持基板と、
を有し、
前記部材は、前記凹部の内側から前記第二の面までの前記液体吐出ヘッド用基板と前記支持基板との間に、前記電極層と前記接続部材とを被覆するように設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記凹部は、前記第二の面と連続し、前記第二の面から前記第一の面と前記第二の面との間の位置まで設けられた第一の斜面を有し、
前記凸部は、前記第一の斜面とほぼ平行な第二の斜面を有し、
前記第一の斜面と前記第二の斜面との間に、前記樹脂からなる部材が設けられていることを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッド。 - 液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生する素子を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
前記素子が複数設けられた第一の面と、凹部が設けられた、前記第一の面の反対側の第二の面と、前記第一の面と前記凹部の内側との間を貫通した複数の貫通孔と、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通した液体の供給口と、を有する基板を用意する工程と、
前記複数の貫通孔に導電性材料を供給し、複数の前記素子とそれぞれ電気的に接続する複数の電極を前記第一の面と前記凹部の内側との間に設ける工程と、
前記複数の電極に共通に電気的に接続する電極層を前記内側に設ける工程と、
樹脂からなる部材を前記電極層を被覆する様に前記凹部に設ける工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記基板に前記凹部を一括して複数設け、複数の前記凹部に対応した前記貫通孔を複数設け、一方の凹部に対応して設けられた前記貫通孔に前記導電性材料を提供することで前記電極を形成し、前記一方の凹部に隣接して設けられた他方の凹部を、前記基板を貫通して設けられ前記素子に液体を供給するための供給口の一部となる第一の供給口部とし、前記他方の凹部に対応して設けられた前記貫通孔を前記供給口の他の部となる第二の供給口部とすることを特徴とする請求項10に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記基板はシリコンからなり、前記凹部は結晶異方性エッチングによって設けられることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記基板はシリコンからなり、複数の前記貫通孔は、異方性エッチングにより設けられることを特徴とする請求項10乃至請求項12のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記電極層は、めっき法により形成されることを特徴とする請求項10乃至請求項13のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生する素子が複数設けられた第一の面と、凹部が設けられた、前記第一の面の反対の面である第二の面と、前記第一の面と前記第二の面との間を貫通した液体の供給口と、を備える第一の基板と、複数の前記素子と電気的に接続され、前記基板の前記第一の面と前記凹部の内側との間を貫通して設けられた複数の電極と、前記複数の電極に共通に電気的に接続され、前記内側に設けられた電極層と、を備えた液体吐出ヘッド用基板を提供する工程と、
前記電極層と電気的に接続できる接続部材が設けられた凸部と、前記供給口に液体を供給するための開口と、を有する支持基板を、前記凸部が前記液体吐出ヘッド用基板の前記内側の位置となり、前記開口と前記供給口とが連通するように、前記支持基板を提供する工程と、
前記電極層と前記接続部材とを電気的に接続させる工程と、
前記凹部の内側から前記第二の面までの前記液体吐出ヘッド用基板と前記支持基板との間に、前記電極層と前記接続部材とを被覆するように、樹脂からなる部材を設ける工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記支持基板を提供する工程は、
前記開口を有する第二の基板を提供する工程と、
前記凸部を形成するための凸部用部材と前記第二の基板とを接着する工程と、
前記凸部に前記接続部材を設ける工程と、
を有することを特徴とする請求項15に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第一の基板は、シリコンにより形成され、前記凹部は、前記第一の基板の一部を結晶異方性エッチングによって除去することによって得られ、前記凸部用部材は、シリコンの第三の基板を結晶異方性エッチングして前記凸部用部材となる部分以外の部分を除去することによって得られることを特徴とする請求項16に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持基板を提供する工程は、
前記開口と前記凸部とを有する樹脂からなる部材を射出成型により形成する工程と、
前記凸部に前記接続部材を設ける工程と、
を含むことを特徴とする請求項15に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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