JP2011018734A - ダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【課題】高速化を図ることができるダイボンダを提供する。
【解決手段】チップ4ピックアップ後において、突き上げピン31の下降を開始すると同時に(S3)、突き上げユニット22の移動と(SC1)、ウエハホルダ11の移動と(SD1)、吸着式移動ステージ51の移動と(SF1)を同期して開始する。突き上げピン31の下降が完了したら(S4)、ウエハシート3の吸着を開放し(S5)、ウエハシート開放遅延時間待機する(S6)。次チップ4のピックアップポイント13への移動を完了したら、ウエハテーブル静止遅延時間待機した後(SD2)、ピックアップポイント13上のチップ4画像を取得して(SD3)、チップ4の位置補正を行って(SC3,SD4,SF2)、ピックアップに備える。
【選択図】図6
【解決手段】チップ4ピックアップ後において、突き上げピン31の下降を開始すると同時に(S3)、突き上げユニット22の移動と(SC1)、ウエハホルダ11の移動と(SD1)、吸着式移動ステージ51の移動と(SF1)を同期して開始する。突き上げピン31の下降が完了したら(S4)、ウエハシート3の吸着を開放し(S5)、ウエハシート開放遅延時間待機する(S6)。次チップ4のピックアップポイント13への移動を完了したら、ウエハテーブル静止遅延時間待機した後(SD2)、ピックアップポイント13上のチップ4画像を取得して(SD3)、チップ4の位置補正を行って(SC3,SD4,SF2)、ピックアップに備える。
【選択図】図6
Description
本発明は、チップをボンディングするダイボンダに関する。
従来、図11に示すように、チップをワークにボンディングする際には、ダイボンダ801が用いられている。
このダイボンダ801は、チップが貼着されたウエハリングがセットされるウエハホルダ811を備えており、該ウエハホルダ811は、ウエハホルダ駆動機構812によってXY方向に駆動されるように構成されている。
前記ウエハホルダ811内には、突き上げユニット821が配設されており、該突き上げユニット821を構成する突き上げヘッド822内には、突き上げピン823が設けられている。該突き上げピン823は、ボンドヘッド824によるピックアップ位置に配置されており、当該突き上げピン823は、昇降機構825によって昇降されるように構成されている。
図12は、このダイボンダ801の動作を示すフローチャートであり、当該ダイボンダ801の動作を図13に示した図を用いて説明する。
すなわち、原点位置に設置された前記突き上げユニット821において、前記昇降機構825によって前記突き上げピン823による突き上げを開始し(SB1)、突き上げ上死点到達待ちを行うことによって(SB2)、前記ウエハリングのウエハシート831に貼着された対象チップ832を前記突き上げピン823で上昇して前記ウエハシート831から剥離する。
この状態で、前記ウエハシート831から剥離されたチップ832を前記ボンドヘッド824で吸着してピックアップした後、前記突き上げピン823の下降を開始して(SB3)、該突き上げピン823の下降完了待ちを行う(SB4)。
前記突き上げピン823の下降を完了したした際には、前記突き上げユニット821による前記ウエハシート831の吸着を開放し(SB5)、ウエハシート開放遅延時間待機する(SB6)。
そして、前記ウエハホルダ811を移動して次にピックアップする次チップ832をピックアップポイント841へ移動するとともに(SB7)、ウエハテーブル静止遅延時間待機した後(SB8)、前記ピックアップポイント841に移動されたチップ832の画像をカメラで撮像し(SB9)、前記ボンドヘッド824をチップ位置に合わせてXY方向へ移動することによって位置補正を行う。
このとき、前記ウエハホルダ811は、前記突き上げユニット821と比較して、かなり大型のため、前記ウエハテーブル静止遅延時間として十分な待ち時間をおいてから、前記カメラによるチップ832の撮像を行う必要がある。そして、このチップ位置の微調整を行うことによって、前記ボンドヘッド824によるピックアップ準備を完了する。
このように、前記ウエハシート831に貼着された前記チップ832の前記突き上げピン823による突き上げと、突き上げられたチップ832の前記ボンドヘッド824によるピックアップと、ピックアップされたチップ832のボンディングポイントへの移送とを繰り返すことによって、前記チップ832をワークに順次ボンディングできるように構成されている。
しかしながら、このような従来のダイボンダ801にあっては、生産性の向上に伴って高速化が求められており、ボンドヘッド824によるピックアップの高速化が進められている。
このため、ボンドヘッド824でチップ832をピックアップした後、次チップ832をピックアップするまでのサイクルタイムは短くなっているが、ウエハホルダ811を作動して次チップ832をピックアップポイント841へ移動してから、チップ位置が安定するまで待機した後、当該チップ位置を微調整して、ピックアップが行えるようになるまでの準備時間が長く、高速化されたボンドヘッド824の動作に追いつかないという問題が生じている。
これにより、このピックアップ準備工程がボトルネックとなり、高速化の阻害要因となっていた。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、高速化を図ることができるダイボンダを提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために本発明の請求項1のダイボンダにあっては、ウエハホルダに保持されたウエハシート上のチップをピックアップポイントへ移動し、該ピックアップポイントに移動された前記チップを、前記ウエハシートの裏側に設けられた突き上げユニットの突き上げピンで突き上げるとともに、ボンドヘッドでピックアップして移送するダイボンダにおいて、前記ボンドヘッドによる前記チップのピックアップ後に、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動して次チップを前記ピックアップポイントへ移動する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動した後、当該突き上げユニットを前記ピックアップポイントに移動する。
すなわち、突き上げピンによって突き上げられたチップをボンドヘッドでピックアップした後には、ウエハホルダによるウエハシートの移動が開始され、次チップがピックアップポイントへ移動される。この際、突き上げユニットは、前記ウエハシートと共に移動された後、前記ピックアップポイントに戻される。
このように、ウエハシートに刺された突き上げピンを有する前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート上の次チップは、すぐに前記ピックアップポイントへ移動され、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す間に、大型の前記ウエハホルダによって移動されたウエハシート上のチップ位置が安定するまでの待機時間が確保される。
また、請求項2のダイボンダにおいては、突き上げた前記突き上げピンを下降する際に前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する。
すなわち、前記ボンドヘッドによるピックアップ後において、突き上げた突き上げピンを下降する際に、前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動することができる。これにより、前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する間に、前記突き上げピンが下降される。
このため、突き上げユニットを移動してから前記突き上げピンを下降する場合と比較して、突き上げピンの下降時間を別途設けること無く、前記突き上げユニットの移動と共に前記突き上げピンの下降が同時に行われる。
さらに、請求項3のダイボンダでは、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動する際に前記突き上げユニットに対応する前記ウエハシートの対応部位の外周部を保持し前記ウエハシートと共に移動するステージを備えている。
すなわち、前記ウエハシートは、突き上げユニットに対応した対応部位の外周部がステージにより保持された状態で移動される。
このため、ウエハホルダ移動時の振動や、突き上げユニット引き摺り時の摩擦がウエハシートに生じた場合であっても、前記ステージで包囲された前記対応部位での不用意な変形が防止される。
加えて、請求項4のダイボンダにあっては、前記ピックアップポイントに移動された前記チップの位置と前記ボンドヘッドの位置との誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動して当該チップの位置を補正する位置補正制御を行う。
すなわち、ピックアップポイントに移動されたチップとボンドヘッドとに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットが移動され、その位置ズレが補正される。
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動されるボンドヘッド側に当該ボンドヘッドの位置調整を行う補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド側の機構の簡素化が図られる。
以上説明したように本発明の請求項1のダイボンダにあっては、ウエハシートに刺された突き上げピンを有する突き上げユニットをウエハシートと共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート上の次チップを、すぐにピックアップポイントへ移動することができる。
このため、高速化されたボンドヘッドがピックアップポイントにセットされる前に、次チップの前記ピックアップポイントへの移動を完了することができる。
そして、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す間において、大型のウエハホルダによって移動された前記ウエハシート上のチップ位置が安定するまでの待機時間を確保することができる。
このため、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す時間を前記待機時間として有効に利用することができる。
したがって、ボトルネックであったピックアップの準備時間を短縮することができ、高速化を図ることができる。
また、請求項2のダイボンダにおいては、前記ボンドヘッドによるピックアップ後において、突き上げた突き上げピンを下降する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動できるので、前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する間に前記突き上げピンを下降することができる。
このため、突き上げピンが完全に降下してからウエハの移動を行う場合と比較して、突き上げピンの下降時間を別途設けること無く、前記突き上げピンの下降を前記突き上げユニットの移動と同時に行うことができ、さらなる時短化を図ることができる。
さらに、請求項3のダイボンダでは、突き上げユニットに対応した対応部位の外周部をステージにより保持した状態で当該ウエハシートを移動することができるので、ウエハホルダ移動時の振動や、突き上げユニット引き摺り時の摩擦がウエハシートに生じた場合であっても、前記ステージで包囲された前記対応部位での不用意な変形を防止することができる。
これにより、前記対応部位内のチップ位置の安定化を図ることができるため、チップ位置が安定するまで待機する等の無駄な時間を削減することができ、高速化を促進することができる。
また、前記対応部位でのチップの位置ズレを防止することができるので、小型化傾向にあるチップの位置決め精度を高めることができ、位置ズレの補正に要する補正時間の短縮化やピックアップミス等を未然に防止することができる。
加えて、請求項4のダイボンダにあっては、ピックアップポイントに移動されたチップとボンドヘッドとに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動することで、その位置ズレを補正することができる。
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動されるボンドヘッド側に当該ボンドヘッドの位置調整を行う補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド側の機構を簡素化することができ、ボンドヘッド側の小型化及び軽量化を図り、かつ高速動作を可能とすることができる。
また、前記チップの位置ズレを補正することによって、小型化傾向にあるチップに対するピックアップ精度を向上することができる。
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
図1及び図2は、本実施の形態にかかるダイボンダ1を示す図であり、該ダイボンダ1は、図3にも示すように、ウエハリング2に張設されたウエハシート3上のチップ4,・・・をワークにボンディングする装置である。
このダイボンダ1は、図1から図3に示したように、前記ウエハリング2が交換可能にセットされるウエハホルダ11を備えており、該ウエハホルダ11は、図1に示したように、ホルダ駆動機構12によってXY方向に駆動されるように構成されている。
これにより、このホルダ駆動機構12で前記ウエハホルダ11をXY方向へ移動することによって、当該ウエハホルダ11に保持された前記ウエハシート3上のピックアップ対象となるチップ4を予め定められたピックアップポイント13へ移動できるように構成されている。
前記ウエハホルダ11の中央穴21には、突き上げユニット22が配設されており、該突き上げユニット22の外側部は、図2に示したように、突き上げヘッド23で構成されている。該突き上げヘッド23は、円筒状に形成されており、その天面には、前記ウエハシート3に摺接されるステージ面24が形成されている。該ステージ面24には、図外のバキューム穴が複数設けられており、該バキューム穴に供給された負圧によって前記ウエハシート3を前記ステージ面24に吸着できるように構成されている。
この突き上げヘッド23内には、突き上げピン31が設けられており、該突き上げピン31は、図外の昇降機構32によって昇降されるように構成されている。これにより、この昇降機構によって前記突き上げピン31を下降した際には、該突き上げピン31の先端をステージ面24より下側へ後退できるように構成されており、上昇時には、前記突き上げピン31の先端部を前記ステージ面24より突出させ、該ステージ面24に吸着された前記ウエハシート3上のチップ4を突き上げることによって、当該チップ4を前記ウエハシート3から剥離できるように構成されている。
前記突き上げユニット22は、前記昇降機構を内蔵したユニット駆動機構41に支持されており、該ユニット駆動機構41によって前記突き上げユニット22をXY方向へ移動できるように構成されている。
これにより、前記ユニット駆動機構41で前記突き上げユニット22を前記ウエハホルダ2に同期してXY方向へ移動することにより、前記突き上げユニット22の突き上げヘッド23を前記ウエハホルダ2に支持された前記ウエハシート3と共にXY方向へ移動できるように構成されている。
また、前記ピックアップポイント13に送られたチップ4の位置を図外のカメラで取得してチップ位置を検出して画像処理することで、前記ピックアップポイント13に移動された前記チップ4の位置と前記ボンドヘッド81の位置との座標軸等で示される誤差情報を演算した後、この誤差情報を用いて、図4に示すように、前記ホルダ駆動機構12で前記ウエハホルダ11を移動するとともに、前記ユニット駆動機構41で前記突き上げユニット22を移動することにより、当該チップ4の位置が前記ボンドヘッド81の位置と一致するように補正できるように構成されている。
前記突き上げユニット22の上端部近傍には、図2に示したように、円形リング状の吸着式移動ステージ51が前記突き上げユニット22を包囲するように設けられており、該突き上げユニット22と前記吸着式移動ステージ51との間には、図3にも示したように、当該吸着式移動ステージ51内を前記突き上げユニット22が移動可能な移動領域52が確保されている。
この吸着式移動ステージ51は、天面が吸着面61を構成しており、例えば当該吸着式移動ステージ51に加えられた負圧を前記吸着面61に供給することによって、当該吸着式移動ステージ51上の前記ウエハシート3を前記吸着面61に吸着して保持できるように構成されている。
この吸着式移動ステージ51は、図2に示したように、ステージ駆動機構71に支持されており、該ステージ駆動機構71によって前記吸着式移動ステージ51をXYZ方向へ移動できるように構成されている。
これにより、ボンドヘッド81によるピックアップポイント13に次にピックアップするチップ4を移動する際には、図5に示したように、前記ステージ駆動機構71によって前記吸着式移動ステージ51を上昇するとともに前記吸着面61に負圧を供給して前記ウエハシート3を前記吸着面61に吸着して保持する保持段階101と、前記ホルダ駆動機構12で前記ウエハホルダ11を移動して該ウエハホルダ11に保持されたウエハシート3上の次チップ4を前記ピックアップポイント13へ移動すると同時に前記ウエハシート3を保持した前記吸着式移動ステージ51を前記ステージ駆動機構71によって移動する移動段階102と、前記吸着面61への負圧の供給を遮断して該吸着面61に吸着した前記ウエハシート3の保持状態を解放するとともに前記ステージ駆動機構71で前記吸着式移動ステージ51を下降するシート開放段階103と、前記ステージ駆動機構71で前記吸着式移動ステージ51を元位置に戻す復帰段階104とを順次行えるように構成されている。
また、前記ダイボンダ1は、図1に示したように、前記ウエハシート3からピックアップしたチップ4を移送してワークにボンディングする為のボンドヘッドユニット111を備えており、該ボンドヘッドユニット111には、前記ボンドヘッド81,・・・が複数設けられている。
このボンドヘッドユニット111は、ピックアップ時にいずれかのボンドヘッド81を前記ピックアップポイント13へ移動できるように構成されており、当該ボンドヘッドユニット111は、各ボンドヘッド81,・・・を順次前記ピックアップポイント13にセットできるうように構成されている。前記各ボンドヘッド81の先端には、バキューム穴が設けられており、該バキューム穴に供給される負圧によって、前記突き上げピン31で突き上げられた前記チップ4を吸着してピックアップできるように構成されている。
これにより、当該ダイボンダ1は、前記ピックアップポイント13に配置されたチップ4をいずれかのボンドヘッド81でピックアップしてワークで移送できるように構成されており、各ボンドヘッド81,・・・でピックアップしたチップ4を前記ワークにボンディングできるように構成されている。
そして、前記ボンドヘッドユニット111を駆動する駆動機構と、前記ホルダ駆動機構12と、前記ユニット駆動機構41と、前記昇降機構と、前記カメラとは、図外の制御装置に接続されており、該制御装置からの制御信号に従って動作するように構成されている。この制御装置は、例えばパソコンで構成されており、ハードディスク等の記憶装置に記憶されたプログラムに従って動作することにより、一連のボンディング動作を行えるように構成されている。
以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図6に示すフローチャートに従うとともに、図7のタイミングチャート及び図8の説明図を用いて説明する。
すなわち、前記制御装置が前記プログラムに従って動作を開始すると、突き上げユニットの突き上げユニット22をピックアップポイント13である原点位置に配置した状態で、昇降機構を作動して前記突き上げヘッド23内の突き上げピン31の上昇を開始し(S1)、突き上げ上死点到達待ちを行うことで(S2)、前記突き上げヘッド23のステージ面24にウエハシート3を吸着した状態で前記突き上げピン31を突出させ、該突き上げピン31で前記ウエハシート3上のチップ4を突き上げるとともに、当該チップ4を前記ウエハシート3から剥離する(図8参照)。
この突き上げ状態において、突き上げられた前記チップ4をボンドヘッド81で吸着してピックアップし、ワークのボンディングポイントへ移送してボンディングを行う。
そして、前記昇降機構による前記突き上げピン31の下降を開始すると同時に(S3)、前記ユニット駆動機構41による前記突き上げユニット22の移動と(SC1)、前記ホルダ駆動機構12による前記ウエハホルダ11の同方向への移動と(SD1)、前記ステージ駆動機構71による前記吸着式移動ステージ51の同方向への移動と(SF1)を同期して開始する。
これにより、前記ウエハシート3上に貼着された次にピックアップする次チップ4をピックアップポイント13へ移動するとともに、前記ウエハシート3に前記突き上げピン31が刺さった状態の前記突き上げユニット22を、前記ウエハシート3と共に移動する。このとき、前記突き上げヘッド23のステージ面24が接した前記ウエハシート3の対応部位は、その外周部が前記吸着式移動ステージ51で吸着され保持されており、この保持状態で前記ウエハシートと共に移動される。
この移動中において、前記突き上げピン31の下降が完了した際には(S4)、前記突き上げヘッド23への負圧の供給を遮断することで、前記ステージ面24への前記ウエハシート3の吸着を解放するとともに(S5)、解放後において、予め定められたウエハシート開放遅延時間待機する(S6)。
このとき、前記突き上げユニット22では、前記突き上げピン31の下降完了後において、前記ユニット駆動機構41で前記突き上げユニット22を駆動することにより、前記突き上げピン31が前記ピックアップポイント13上に位置するように当該突き上げユニット22を戻して(SC2)、次チップ4のピックアップに備える。
そして、前記ウエハホルダ11において、次チップ4のピックアップポイント13への移動を完了した際には、予め定められたウエハホルダ静止遅延時間待機した後(SD2)、ウエハホルダ11が安定してチップ位置が定まった時点で、前記ピックアップポイント13上に設置された前記カメラによって、前記ピックアップポイント13に配置されたチップ4の画像を取得するとともに、取得画像を解析してチップ位置を確認することで、前記ピックアップポイント13に移動された前記チップ4の位置と前記ボンドヘッド81の位置との座標軸上での誤差情報を演算する(SD3)。
次に、この誤差情報を用いて、前記ユニット駆動機構41による前記突き上げユニット22の補正移動と(SC3)、前記ホルダ駆動機構12による前記ウエハホルダ11の補正移動と(SD4)、前記ステージ駆動機構71による前記吸着式移動ステージ51の補正移動と(SF2)を同期して行うことによって、前記ウエハシート3上の前記次チップ4の位置と前記ボンドヘット81の位置とを一致させた後、前記突き上げユニット22においては、前記突き上げヘッド23に負圧を供給して当該突き上げヘッド23のステージ面24に前記ウエハシート3を吸着固定する(S7)。
また、前記吸着式移動ステージ51にあっては、当該吸着式移動ステージ51への負圧の供給を遮断して前記吸着面61による前記ウエハシート3の吸着状態を解放し(SF3)、予め定められたウエハシート吸着開放遅延時間待機した後(SF4)、前記ステージ駆動機構71により当該吸着式移動ステージ51を下降するとともに(SF5)、当該吸着式移動ステージ51を前記突き上げユニット22位置に合わせて後退する(SF6)。
この後退位置において、前記ステージ駆動機構71により前記吸着式移動ステージ51を上昇するとともに(SF7)、該吸着式移動ステージ51に負圧を供給することで前記吸着面61に前記次チップ4が貼着された前記ウエハシート3の部位を吸着固定して(SF8)、当該チップ4の突き上げ及びピックアップに備える。
そして、前記ステップS1〜S7と、前記突き上げユニット22の前記ステップSC1〜SD4と、前記ウエハホルダ11の前記ステップSD1〜SC3と、前記吸着式移動ステージ51の前記ステップSF1〜SF8とを繰り返すことによって、前記ウエハシート3に貼着されたチップ4を前記ワークに順次ボンディングする。
このように、前記突き上げピン31によって突き上げられたチップ4をボンドヘッド81でピックアップした後には、前記ウエハホルダ11によるウエハシート3の移動が開始され、次にピックアップされる次チップ4がピックアップポイント13へ移動される(図9参照)。
このとき、前記突き上げユニット22は、前記ウエハホルダ11で移動される前記ウエハシート3と共に前記ユニット駆動機構41で移動された後、前記ピックアップポイント13に戻される(図7参照)。
このように、前記ウエハシート3に刺された前記突き上げピン31を有する前記突き上げユニット22を前記ウエハシート3と共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート3上の次チップ4を、すぐに前記ピックアップポイント13へ移動することができる。
このため、図10に示すように、突き上げピン31が下降してからウエハホルダ11の移動を開始していた従来と比較して、チップ4ピックアップ直後にウエハホルダ11を移動することができるため、高速化された次のボンドヘッド81がピックアップポイント13へ移動される前に、前記次チップ4の前記ピックアップポイント13への移動を完了することができる。
そして、前記突き上げユニット22を前記ピックアップポイント13へ戻す間において、大型のウエハホルダ11によって移動された前記ウエハシート3上のチップ4の位置が安定するまでの待機時間を確保することができる。
このため、前記突き上げユニット22を前記ピックアップポイント13へ戻す時間を前記待機時間として有効に利用することができる。
したがって、ボトルネックであったピックアップの準備時間を短縮することができ、高速化を図ることができる。
また、本実施の形態にあっては、前記ボンドヘッド81によるピックアップ後において、突き上げられた前記突き上げピン31を下降する際に、前記突き上げユニット22を前記ウエハシート3と共に移動することができる。これにより、このウエハシート3と共に前記突き上げユニット22を移動する間に、前記突き上げピン31を下降することができる。
このため、突き上げユニット22移動後に前記突き上げピン31を下降する場合と比較して、突き上げピン31の下降時間を別途設けること無く、当該突き上げピン31の下降を前記突き上げユニット22の移動と同時に行うことができ、さらなる時短化を図ることができる。
一方、前記ウエハシート3は、前記突き上げユニット22に対応した対応部位の外周部の直近部位が吸着式移動ステージ51の吸引面61によって保持された状態で移動される。
このため、前記ウエハホルダ11を移動する際の加速度による振動や、前記突き上げヘッド23のステージ面24引き摺り時の摩擦が前記ウエハシート3に生じた場合であっても、前記吸着式移動ステージ51で包囲された前記対応部位での不用意な変形や変位を防止することができる。
これにより、前記対応部位内でのチップ4の位置ズレを防止することができるため、チップ位置が安定するまで待機する等の無駄な時間を削減することができ、高速化を促進することができる。
また、前記対応部位でのチップ4の位置ズレを防止できるので、小型化傾向にあるチップ4の位置決め精度を高めることができ、位置ズレの補正に要する補正時間の短縮化やピックアップミス等を未然に防止することができる。
そして、本実施の形態では、前記ピックアップポイント13に移動されたチップ4と前記ボンドヘッド81とに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ11及び前記突き上げユニット22を移動することにより、その位置ズレを補正することができる。
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動される前記ボンドヘッド81側に当該ボンドヘッド81の位置調整を行う為の補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド81側の機構を簡素化することができ、当該ボンドヘッド81を備えたボンドヘッドユニット111の小型化及び軽量化を図り、かつ高速動作を可能とすることができる。
また、前記チップ4の位置ズレを補正することによって、小型化傾向にあるチップ4に対するピックアップ精度を向上することができる。
1 ダイボンダ
2 ウエハリング
3 ウエハシート
4 チップ
11 ウエハホルダ
12 ホルダ駆動機構
13 ピックアップポイント
22 突き上げユニット
31 突き上げピン
41 突き上げユニット駆動機構
51 吸着式移動ステージ
71 ステージ駆動機構
81 ボンドヘッド
2 ウエハリング
3 ウエハシート
4 チップ
11 ウエハホルダ
12 ホルダ駆動機構
13 ピックアップポイント
22 突き上げユニット
31 突き上げピン
41 突き上げユニット駆動機構
51 吸着式移動ステージ
71 ステージ駆動機構
81 ボンドヘッド
Claims (4)
- ウエハホルダに保持されたウエハシート上のチップをピックアップポイントへ移動し、該ピックアップポイントに移動された前記チップを、前記ウエハシートの裏側に設けられた突き上げユニットの突き上げピンで突き上げるとともに、ボンドヘッドでピックアップして移送するダイボンダにおいて、
前記ボンドヘッドによる前記チップのピックアップ後に、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動して次チップを前記ピックアップポイントへ移動する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動した後、当該突き上げユニットを前記ピックアップポイントに移動することを特徴とするダイボンダ。 - 突き上げた前記突き上げピンを下降する際に前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動することを特徴とした請求項1記載のダイボンダ。
- 前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動する際に前記突き上げユニットに対応する前記ウエハシートの対応部位の外周部を保持し前記ウエハシートと共に移動するステージを備えたことを特徴とする請求項1又は2記載のダイボンダ。
- 前記ピックアップポイントに移動された前記チップの位置と前記ボンドヘッドの位置との誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動して当該チップの位置を補正する位置補正制御を行うことを特徴とした請求項1、2又は3記載のダイボンダ。
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2009
- 2009-07-08 JP JP2009161623A patent/JP2011018734A/ja active Pending
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