JP5826701B2 - チップ位置決め装置、チップ位置決め方法、およびダイボンダ - Google Patents
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Description
18 シート
20 コレット
21 突き上げ針
25 認識手段
26 予測手段
Claims (5)
- 複数のチップが貼り付けられたシートからチップを剥離させる前において、剥離すべきチップの位置決めを行うチップ位置決め装置であって、
剥離すべきチップに対して近接する少なくとも2個の近接チップの認識が可能な認識手段と、
認識手段にて認識された近接チップの位置情報に基づいて前記剥離すべきチップの位置を予測する予測手段とを備えたことを特徴とするチップ位置決め装置。 - シートに対して複数のチップがマトリックス状に配設され、剥離すべきチップに対する近接チップは、一行隣のチップと、一列隣のチップであることを特徴とする請求項1に記載のチップ位置決め装置。
- ピックアップポジションでチップをピックアップして、このピックアップしたチップをボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップをボンディングするダイボンダにおいて、
ピックアップポジションでピックアップするチップの位置決めに、前記請求項1又は請求項2に記載のチップ位置決め装置を用いることを特徴とするダイボンダ。 - ピックアップポジションでピックアップする際に、突き上げ針によってピックアップすべきチップを突き上げることを特徴とする請求項3に記載のダイボンダ。
- 複数のチップが貼り付けられたシートからチップを剥離させる前において、剥離すべきチップの位置決めを行うチップ位置決め方法であって、
剥離すべきチップに対して近接する少なくとも2個の近接チップの認識を行い、この認識された近接チップの位置情報に基づいて、剥離すべきチップの位置を予測して、剥離すべきチップの位置決めを行うことを特徴とするチップ位置決め方法。
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