JP2010287806A - オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 光源(1)からの光により被照射面(M;W)を照明する照明光学系は、オプティカルインテグレータ(7)の直後の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系(3,4,6,7)を備えている。オプティカルインテグレータは、光軸(AX)と直交する平面(XZ平面)に沿って矩形状の断面を有する複数の波面分割要素を備えている。複数の波面分割要素のうちの少なくとも1つの波面分割要素の矩形状の断面の一辺に沿った一方の端部領域および他方の端部領域にそれぞれ光学的に対応する第1領域および第2領域には、減光領域が設けられている。
【選択図】 図1
Description
前記照明光学系の光軸と直交する平面に沿って矩形状の断面を有する複数の波面分割要素を備え、
前記複数の波面分割要素のうちの少なくとも1つの波面分割要素の前記矩形状の断面の一辺に沿った一方の端部領域および他方の端部領域にそれぞれ光学的に対応する第1領域および第2領域には、減光領域が設けられていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
第1形態のオプティカルインテグレータと、
前記オプティカルインテグレータの直後の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系とを備えていることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
3 回折光学素子
4 アフォーカルレンズ
6 ズームレンズ
7 シリンドリカルマイクロフライアイレンズ
8 コンデンサー光学系
9 マスクブラインド
10 結像光学系
M マスク
PL 投影光学系
AS 開口絞り
W ウェハ
Claims (22)
- 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系に用いられるオプティカルインテグレータにおいて、
前記照明光学系の光軸と直交する平面に沿って矩形状の断面を有する複数の波面分割要素を備え、
前記複数の波面分割要素のうちの少なくとも1つの波面分割要素の前記矩形状の断面の一辺に沿った一方の端部領域および他方の端部領域にそれぞれ光学的に対応する第1領域および第2領域には、減光領域が設けられていることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記矩形状の断面は、前記平面内の第1方向に沿った短辺および前記平面内の第2方向に沿った長辺を有することを特徴とする請求項1に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1領域および前記第2領域は、前記矩形状の断面の前記第1方向に沿った一方の端部領域および他方の端部領域にそれぞれ光学的に対応していることを特徴とする請求項2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記一方の端部領域と前記他方の端部領域とは、前記矩形状の断面の中心を通って前記第2方向に延びる軸線に関して対称であることを特徴とする請求項2または3に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記オプティカルインテグレータは、単一の光学部材を備え、
前記単一の光学部材は、二次元的に並列配置された複数の曲面状の入射屈折面と、二次元的に並列配置された複数の曲面状の射出屈折面とを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記減光領域は、前記複数の入射屈折面および前記複数の射出屈折面のうちの少なくとも1つの屈折面に形成されていることを特徴とする請求項5に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光領域は、前記単一の光学部材の近傍の位置に設けられていることを特徴とする請求項5または6に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記オプティカルインテグレータは、光の入射側から順に、第1光学部材と、第2光学部材とを備え、
前記第1光学部材は、一方向に並んで形成された複数の円筒面状の第1入射屈折面と、一方向に並んで形成された複数の円筒面状の第1射出屈折面とを有し、
前記第2光学部材は、一方向に並んで形成された複数の円筒面状の第2入射屈折面と、一方向に並んで形成された複数の円筒面状の第2射出屈折面とを有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記減光領域は、前記複数の第1入射屈折面、前記複数の第1射出屈折面、前記複数の第2入射屈折面、および前記複数の第2射出屈折面のうちの少なくとも1つの屈折面に形成されていることを特徴とする請求項8に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光領域は、前記第1光学部材の近傍の位置または前記第2光学部材の近傍の位置に設けられていることを特徴とする請求項8または9に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の円筒面状の第1入射屈折面および前記複数の円筒面状の第2入射屈折面は、前記第1方向に沿って配列されて、前記第1方向に屈折力を有し且つ前記第2方向に無屈折力であり、
前記複数の円筒面状の第1射出屈折面および前記複数の円筒面状の第2射出屈折面は、前記第2方向に沿って配列されて、前記第2方向に屈折力を有し且つ前記第1方向に無屈折力であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の円筒面状の第1入射屈折面および前記複数の円筒面状の第1射出屈折面は、前記第1方向に沿って配列されて、前記第1方向に屈折力を有し且つ前記第2方向に無屈折力であり、
前記複数の円筒面状の第2入射屈折面および前記複数の円筒面状の第2射出屈折面は、前記第2方向に沿って配列されて、前記第2方向に屈折力を有し且つ前記第1方向に無屈折力であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記減光領域は、入射光を遮る遮光領域を有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光領域は、入射光を散乱させる散乱領域を有することを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記減光領域は、入射光を回折させる回折領域を有することを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光源からの光により被照射面を照明する照明光学系において、
請求項1乃至15のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータと、
前記オプティカルインテグレータの直後の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系とを備えていることを特徴とする照明光学系。 - 前記減光領域は、前記照明瞳よりも前側に設けられていることを特徴とする請求項16に記載の照明光学系。
- 前記被照射面と光学的に共役な面を形成する投影光学系と組み合わせて用いられ、前記照明瞳は前記投影光学系の開口絞りと光学的に共役な位置であることを特徴とする請求項16または17に記載の照明光学系。
- 所定のパターンを照明するための請求項16乃至18のいずれか1項に記載の照明光学系を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に形成する投影光学系を備え、該投影光学系に対して前記所定のパターンおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させて、前記所定のパターンを前記感光性基板へ投影露光することを特徴とする請求項19に記載の露光装置。
- 前記オプティカルインテグレータは所定方向に沿って細長い矩形状の単位波面分割面を有し、前記所定方向は前記走査方向と直交する方向に対応していることを特徴とする請求項19または20に記載の露光装置。
- 請求項19乃至21のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10115933A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-05-06 | Nippon Seiko Kk | 光照射装置 |
WO2000011706A1 (fr) * | 1998-08-18 | 2000-03-02 | Nikon Corporation | Illuminateur et appareil d'exposition a la projection |
JP2002258489A (ja) * | 2000-04-20 | 2002-09-11 | Nikon Corp | 露光装置および露光方法 |
JP2002359176A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Canon Inc | 照明装置、照明制御方法、露光装置、デバイス製造方法及びデバイス |
JP2004047786A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Nikon Corp | 照明光学装置,露光装置および露光方法 |
JP2004054199A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-02-19 | Ono Sokki Co Ltd | 分割露光装置 |
JP2005292316A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2005352062A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Nikon Corp | マイクロレンズおよび露光装置 |
JP2008153401A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2009071011A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Nikon Corp | オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
JP2010147433A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Nikon Corp | 照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
-
2009
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10115933A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-05-06 | Nippon Seiko Kk | 光照射装置 |
WO2000011706A1 (fr) * | 1998-08-18 | 2000-03-02 | Nikon Corporation | Illuminateur et appareil d'exposition a la projection |
JP2002258489A (ja) * | 2000-04-20 | 2002-09-11 | Nikon Corp | 露光装置および露光方法 |
JP2002359176A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Canon Inc | 照明装置、照明制御方法、露光装置、デバイス製造方法及びデバイス |
JP2004054199A (ja) * | 2002-05-28 | 2004-02-19 | Ono Sokki Co Ltd | 分割露光装置 |
JP2004047786A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Nikon Corp | 照明光学装置,露光装置および露光方法 |
JP2005292316A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2005352062A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Nikon Corp | マイクロレンズおよび露光装置 |
JP2008153401A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2009071011A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Nikon Corp | オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
JP2010147433A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Nikon Corp | 照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
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