JP2010272185A - ヘッドサスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】 開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得る。
【解決手段】 アクチュエータベース１８の開口部２１との間に生じた周回溝４２に、非導電性接着剤４７を充填することによって、開口部２１に圧電素子２３を埋め込み式に実装する。この実装の際に、周回溝４２からあふれ出た非導電性接着剤４７の拡散を防止する目的で、開口部２１の周縁に沿う外周部分に、拡散防止溝４８を刻設する。この拡散防止溝４８の存在が、周回溝４２からあふれ出た非導電性接着剤４７の拡散を防止する役割を果たす。
【選択図】図２

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子が、非導電性接着剤を媒介して実装されたヘッドサスペンションに関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢から、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の技術分野では、そうしたマイクロアクチュエータの要請が高い。

一方、磁気ディスク装置では、記憶容量を大きくすることが喫緊の課題である。一般に磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで実現される。ディスクの直径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長さあたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくすること、つまり、トラックの幅を狭くすることが必要である。そのため、トラックにおける幅方向の磁気ヘッドの位置決め精度を向上することが必要となる。かかる観点からも、微細領域で高精度の位置決めを実現可能なアクチュエータが望まれる。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。

上述の特許文献１に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれる。この方式では、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加えて、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる圧電素子を採用している。

この圧電素子は、ロードビームの先端側を、サスペンションにおける幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。同方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、サスペンション本体に圧電素子を実装するにあたり、脆く壊れやすい圧電素子を破損から保護するとともに、圧電素子の表面からのパーティクルの脱落を未然に防止しつつ、サスペンション本体と圧電素子との間の電気絶縁性をいかにして確保するか、が問題となる。

こうした問題を解決するためのアプローチにひとつとして、本願出願人は、ロードビームと、アクチュエータベースと、圧電素子と、を備え、圧電素子は、アクチュエータベースに形成された開口部に、非導電性接着剤を介して実装され、この接着剤によって、圧電素子の周端面を被覆するように構成したディスク装置用サスペンションを提案している（例えば特許文献２参照）。

特許文献２記載のヘッドサスペンションによれば、圧電素子を破損させることなく、かつ、圧電素子の表面からのパーティクルの脱落を防止しながら、圧電素子とアクチュエータベースとの間を確実に絶縁することができる。

しかしながら、特許文献２記載の、非導電性接着剤を介して圧電素子を実装する技術では、開口部への圧電素子の実装工程において、開口部の外周部分にまであふれ出た非導電性接着剤が拡散してしまい、同外周部分を汚染するおそれがあった。

特開２００２−１８４１４０号公報 特開２００２−１８４１３９号公報

解決しようとする課題は、開口部への圧電素子の実装工程において、開口部の外周部分にまであふれ出た非導電性接着剤が拡散してしまい、同外周部分を汚染するおそれがあった点である。

本発明は、開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドサスペンションは、ロードビームと、前記ロードビームの基部に固設したアクチュエータベースの開口部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を実装してなる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、前記圧電素子は、前記開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、前記開口部の外周部分には、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝が刻設されている、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションによれば、アクチュエータベースに設けた開口部の外周部分に、周回溝からあふれ出た非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝を刻設する構成を採用したので、従って、開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることができる。

実施例１に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。 実施例１に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 図３は、図２に示す実施例１に係る圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図によって、実施例１の接着剤拡散防止作用を、比較例と対比して示す説明図であり、図３（Ａ）は、比較例に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散状況を示す説明図、図３（Ｂ），（Ｃ）は、実施例１に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散防止作用を示す説明図である。 実施例１の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例１に係るヘッドサスペンション１１において、開口部への圧電素子の実装手順を表す工程図である。 実施例２に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例２の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例３に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例３の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。 実施例４に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。 実施例５に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

開口部への圧電素子の実装を見映え良く行うことによって、開口部の外周部分を非導電性接着剤で汚染することのないヘッドサスペンションを得るといった目的を、圧電素子は、アクチュエータベースの開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、前記開口部の外周部分に、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝を刻設する構成を採用することで実現した。

本発明の実施例１に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して詳細に説明する。

初めに、実施例１に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。

［ヘッドサスペンションの概略構成］
図１は、実施例１に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１は、図１に示すように、ベースプレート１３と、ロードビーム１５と、ロードビーム１５の先端側をスウェイ方向に変位させる圧電アクチュエータ１７の構成要素であるアクチュエータベース１８と、を備える。

ベースプレート１３は、例えば、板厚が１５０〜２００μｍ程度の、ステンレス鋼などの金属薄板からなる。その素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ベースプレート１３の慣性質量（イナーシャ）を軽減することを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション１１のトレース能力向上に寄与することができる。

ベースプレート１３における基部側には、略円形のボス孔１９が開設されている。このボス孔１９を介して、ベースプレート１３は、ボイスコイルモータ（不図示）によって駆動されるアクチュエータアームの先端部分に固着され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるように構成されている。

ベースプレート１３の前端側には、図１に示すように、アクチュエータベース１８が、ベースプレート１３とは別体に設けられている。

ロードビーム１５は、不図示のスライダに負荷荷重を与えるもので、例えば、板厚が３０〜１５０μｍ程度の、ステンレス鋼などのばね性を有する金属製薄板からなる。その素材としては、ベースプレート１３と同様に、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼からなるクラッド材等を用いることもできる。

ロードビーム１５には、フレキシャ２５が設けられている。フレキシャ２５における先端側には、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられる。

ロードビーム１５には、その両側部に一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂが形成されている。これら一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂは、ロードビーム１５の剛性を高める役割を果たす。

ロードビーム１５における後端側には、連結プレート２９が一体に設けられている。

連結プレート２９は、例えば、板厚が３０μｍ程度の、ステンレス鋼などのばね性を有する金属薄板からなる。連結プレート２９の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げ、軽量化を図る等の目的で、孔３１が開設されている。この孔３１の両側部に、厚み方向に撓むことのできる一対のヒンジ部３３ａ，３３ｂが、それぞれ形成されている。

連結プレート２９における後端側、つまり、ロードビーム１５の基部は、次述するアクチュエータベース１８の前端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。

次に、実施例１に係るヘッドサスペンション１１において主要部を構成する圧電アクチュエータの概略構成について説明する。

［圧電アクチュエータの概略構成］
図２は、実施例１に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図３は、図２に示す実施例１に係る圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図によって、実施例１の接着剤拡散防止作用を、比較例と対比して示す説明図であり、図３（Ａ）は、比較例に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散状況を示す説明図、図３（Ｂ），（Ｃ）は、実施例１に係る圧電アクチュエータの接着剤拡散防止作用を示す説明図、図４は、実施例１の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

圧電アクチュエータ１７を設計するにあたっては、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子２３の歪み（変位）を効果的にロードビーム１５に伝達すること、圧電素子２３の電極とアクチュエータベース１８間における電気的な絶縁性を担保すること、圧電素子２３の周側面から塵埃が脱落するのを未然に防止すること、脆く壊れやすい圧電素子２３をその損傷から保護すること、並びに、開口部２１への圧電素子２３の実装を見映え良く行うこと、などの諸要素を考慮することが求められる。

かかる諸要素を考慮して、本発明の実施例１に係る圧電アクチュエータ１７は、図１及び図２に示すように、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１に、圧電素子２３を実装してなる。

実施例１に係るアクチュエータベース１８は、先に述べた通り、ベースプレート１３とロードビーム１５との間に介在させて、ベースプレート１３とは別体に設けられている。ただし、アクチュエータベース１８を、ベースプレート１３と一体に形成する構成を採用してもよい。

上記別体の構成を採用した実施例１では、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８とを接合するにあたっては、アクチュエータベース１８の後端側とベースプレート１３の前端側とを重ね合わせた部分に対し、レーザ溶接等の適宜の固着手段を適用することによって接合すればよい。

一方、上記一体の構成を採用した実施例１の変形例では、ステンレス鋼などの金属製薄板から、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８とを含む所定の外形形状を、例えばプレス加工処理によって打ち抜いた後、次述する開口部２１の周縁部分等に適宜のエッチング処理を適用することによって、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８とが一体となる構成部材を製造すればよい。

上記の、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８が一体となる構成部材を備えた実施例１の変形例では、上記一体の構成部材を、「アクチュエータベース」と総称することとする。この場合において、本発明で「アクチュエータベース」と言うときは、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８の両者の概念を含むことになる。

アクチュエータベース１８は、図１及び図２に示すように、圧電素子２３を収容するための開口部２１を有する。具体的には、アクチュエータベース１８には、略矩形形状の開口部２１が開設されている。この開口部２１に、圧電素子２３が埋め込み式に実装される。これによって、圧電アクチュエータ１７は、圧電素子２３の変形に従ってロードビーム１５の先端側をスウェイ方向に変位させる機能を獲得するように構成されている。なお、図２等に示すアクチュエータベース１８において、紙面上方の部分が前端側に相当し、この前端側部分がロードビーム１５の基部に固着される。

図３に示すように、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１は、圧電素子２３の周側面２３ｃに対向する周縁部４１と、開口部２１から内方側にせり出して圧電素子２３の底面２３ｂに対向する底面受け部４３と、を有する。この底面受け部４３は、圧電素子２３の底面２３ｂがアクチュエータベース１８の下方側から臨めるように、圧電素子２３の下方側に該当する部分が切り欠かれている。こうして構成された底面受け部４３は、圧電素子２３の底面２３ｂ側との間に形成される間隙に、非導電性接着剤４７を充填するにあたり、この接着剤４７を底面２３ｂ側からもれなく受け止める役割を果たす。

底面受け部４３を開口部２１と一体に形成するにあたっては、共通の金属製薄板から所定の形状に切り出したアクチュエータベース１８のうち、底面受け部４３に該当する部位に化学的な腐食処理を施すことによって、その周囲の部分に比べて板厚を薄くする、部分的なハーフエッチング処理を適用すればよい。

開口部２１に装着される圧電素子２３の外寸は、開口部２１の内寸よりも僅かに小さい、略矩形形状に形成されている。

図３に示すように、圧電素子２３は、例えば、７０〜２００μｍ程度の厚みを有した、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスを素材としてなる。

圧電素子２３の上面２３ａ及び底面２３ｂには、蒸着、スパッタリング、又はメッキ等の適宜の手段によって、例えば、金（Ａｕ）等の接触抵抗が低い良導電性の材料からなる電極２４が形成されている。

上面２３ａ側の電極２４ａは、図２に示すように、銀ペースト等の導電性樹脂４５を介して、アクチュエータベース１８に設けられた導通部４６に接地されている。導通部４６は、導電性向上を狙って、例えばアクチュエータベース１８の表面の不動態皮膜を除去した端子部分であって、圧電素子２３の電極２４との間で電気的な導通を確保する役割を果たす。

一方、底面２３ｂ側の電極２４ｂは、例えばボンディングワイヤ等の適宜の導通材料を介して、フレキシャ２５に配設された銅製の配線部（不図示）に接続されている。なお、図２の符合２４ｃは、電極２４間に形成された非電極領域を示す。

圧電素子２３を、開口部２１における所定の取付位置に置いた状態で、圧電素子２３の周側面２３ｃと、開口部２１の周縁部４１との間に、所定の間隙を生じる。この間隙を、以下において周回溝４２と呼ぶ。

この間隙（周回溝４２）を埋めて、圧電素子２３の歪み（変位）を効果的にロードビーム１５に伝達する等の効果を狙って、圧電素子２３は、図２及び図３に示すように、圧電素子２３と周縁部４１との間に生じた周回溝４２、並びに、圧電素子２３と底面受け部４３との間に生じた間隙４４に、非導電性接着剤４７を隈無く充填することによって、開口部２１に実装されている。非導電性接着剤４７としては、公知の非導電性接着剤（導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有させたものを含む。）を適宜採用することができる。

圧電素子２３を開口部２１に実装するにあたっては、アクチュエータベース１８の厚み方向における中心と、圧電素子２３の厚み方向における中心と、が整合する厚み方向の位置に実装することが好ましい。このように構成すれば、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時におけるよじれ動作の発生を未然に抑制することができる。

開口部２１の周縁に沿う外周部分には、図２に示すように、周回溝４２からあふれ出た非導電性接着剤４７の拡散を防止するための拡散防止溝４８が刻設されている。拡散防止溝４８の深さは、アクチュエータベース１８の厚みの三分の一程度を目安として、例えば３０〜７０μｍ程度に設定される。拡散防止溝４８の幅は、周回溝４２の幅の三分の一程度を目安として、例えば３０〜７０μｍ程度に設定される。図２の例では、拡散防止溝４８は、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうち、ロードビーム１５側に属する領域の略全周にわたり刻設されている。ただし、例えば図４に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート１３側に属する領域にも、拡散防止溝４８を刻設する構成を採用しても良い。

アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の外方側には、Ｕ字形状に突出した一対の可撓連結部５０が形成されている。これら一対の可撓連結部５０の存在が、圧電アクチュエータ１７の剛性向上に寄与するとともに、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

次に、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１への圧電素子２３の実装手順について説明する。

図５は、実施例１に係るヘッドサスペンション１１において、開口部への圧電素子の実装手順を表す工程図である。

図５に示すように、ステップＳ１において、非導電性接着剤４７を、周回溝４２、並びに、間隙４４にそれぞれ塗布する。

ステップＳ２において、開口部２１における所定の取付位置に、圧電素子（ＰＺＴ）２３を載置するように組み付ける。

ステップＳ３において、周回溝４２からあふれ出た硬化前の接着剤４７が、拡散防止溝４８の直前で止まるか（図３（Ｂ）参照）、又は、拡散防止溝４８の内部に収容される（図３（Ｃ）参照）。

ステップＳ４において、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１への圧電素子２３の実装が済んだヘッドサスペンション１１を、電気炉等を用いて所定時間・所定の温度下で加熱処理を施すことによって、非導電性接着剤４７を硬化させる。

次に、上述の実装手順を経て製造されたヘッドサスペンション１１の作用について説明する。

アクチュエータベース１８の開口部２１に実装された圧電素子２３は、所定の電圧が印加されると、圧電素子２３の長手方向に沿う非電極領域２４ｃを境界として、一側が長手方向に伸びるとともに、他側が長手方向に縮む。つまり、圧電素子２３は、全体として略台形形状に歪む。その結果、圧電アクチュエータ１７は、圧電素子２３によってもたらされる歪み方向及び変位ストローク量に応じて、ロードビーム１５の先端側を幅方向（スウェイ方向）に微少距離だけ変位させるように動作する。

上述したスウェイ方向への変位を円滑かつ的確に行わせるために、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７では、アクチュエータベース１８の開口部２１に設けた周縁部４１によって、圧電素子２３の周側面２３ｃをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子２３の周側面２３ｃと周縁部４１との間に生じた周回溝４２に、非導電性接着剤４７を充填する構成を採用している。

また、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７では、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１から内方側にせり出して圧電素子２３の底面２３ｂに対向する底面受け部４３によって、圧電素子２３の底面２３ｂのうち外周縁部分を下方から支持し、圧電素子２３の底面２３ｂと底面受け部４３間に生じた間隙４４に、非導電性接着剤４７を充填する構成を採用している。

そして、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７では、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の周縁に沿う外周部分に、周回溝４２からあふれ出た非導電性接着剤４７の拡散を防止するための拡散防止溝４８を刻設する構成を採用している。

［実施例１の効果］
実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の周縁に沿う外周部分に、周回溝４２からあふれ出た非導電性接着剤４７の拡散を防止するための拡散防止溝４８を刻設する構成を採用したので、従って、開口部２１への圧電素子２３の実装を見映え良く行うことができ、開口部２１の外周部分を非導電性接着剤４７で汚染することのないヘッドサスペンションを得ることができる。

特に、非導電性接着剤４７の拡散による汚染からアクチュエータ部１８を効果的に防護することが可能となる結果として、アクチュエータ部１８と連結プレート２９間のレーザ接合に支障をきたす懸念を一掃することができる。

また、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、アクチュエータベース１８の開口部２１に設けた周縁部４１によって、圧電素子２３の周側面２３ｃをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子２３の周側面２３ｃと周縁部４１との間に生じた周回溝４２に、非導電性接着剤４７を充填することによって、圧電素子２３を開口部２１に実装したので、開口部２１の周縁部４１と、圧電素子２３の周側面２３ｃと、の広い隙間を適切に埋めて、圧電素子２３の電極とアクチュエータベース１８間における電気的な絶縁性を担保することができる。

さらに、開口部２１、非導電性接着剤４７、並びに圧電素子２３が、相互に密着することであたかも三位一体の支持梁のように機能するので、サスペンション１１本体の剛性を高水準に維持することができる。

しかも、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の外方側に、Ｕ字形状に突出した一対の可撓連結部５０を形成したので、これら一対の可撓連結部５０の存在が、圧電アクチュエータ１７の剛性向上に寄与するとともに、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

従って、実施例１に係るヘッドサスペンション１１によれば、アクチュエータとしての変位ストロークの減少を招くことなしに、振動特性や衝撃特性といった基本的な特性を良好に維持することができる。

そして、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、アクチュエータベース１８の開口部２１に設けた周縁部４１によって、圧電素子２３の周側面２３ｃをほぼ全面にわたって包囲し、圧電素子２３の周側面２３ｃと周縁部４１との間に生じた周回溝４２に、非導電性接着剤４７を充填することによって、圧電素子２３を開口部２１に実装する構成を採用したので、従って、圧電素子２３の歪み（変位）を効果的にロードビーム１５に伝達すること、圧電素子２３の周側面から塵埃が離脱するのを未然に防止すること、並びに、脆く壊れやすい圧電素子２３をその損傷から保護すること、の全てを、高い水準で実現することができる。

本発明の実施例２に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図６は、実施例２に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図７は、実施例２の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１と、実施例２に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例１と実施例２との相違点は次の通りである。すなわち、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７では、図２に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうち、ロードビーム１５側に属する領域の略全周にわたり、拡散防止溝４８を刻設する構成を採用している。

これに対し、実施例２に係る圧電アクチュエータ６１では、図６に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうちロードビーム１５側の部分に限定して、直線形状の拡散防止溝６３を刻設し、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路には、拡散防止溝６３を設けない構成を採用した点が、実施例１とは大きく相違している。

本発明者らの研究によれば、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７のように、圧電素子２３と導通部４６との間に拡散防止溝６３が横切るように存在すると（図２参照）、圧電素子２３から導通部４６に至る経路に導電性ペースト４５を塗布した場合、導電性ペースト４５が拡散防止溝６３に沿って流れていってしまい、圧電素子２３と導通部４６との間の導通の確保に支障を来すおそれがあることがわかった。

そうした観点から、実施例２に係る圧電アクチュエータ６１では、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路には、拡散防止溝６３を設けない構成を採用することとした。

実施例２に係る圧電アクチュエータ６１を備えたヘッドサスペンションによれば、実施例１に係る圧電アクチュエータ１７を備えたヘッドサスペンション１１が奏する作用効果に加えて、圧電素子２３と導通部４６との間の導通の確保を、拡散防止溝６３に妨げられることなく円滑に行うことができる。

ただし、例えば図７に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート１３側に属する領域にも、拡散防止溝６３を刻設する構成を採用しても良い。

本発明の実施例３に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図８は、実施例３に係るヘッドサスペンションの主要部である圧電アクチュエータを拡大して示す平面図、図９は、実施例３の変形例に係る圧電アクチュエータを拡大して示す平面図である。

実施例２に係るヘッドサスペンションと、実施例３に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例２と実施例３との相違点は次の通りである。すなわち、実施例２に係る圧電アクチュエータ６１では、図６に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうちロードビーム１５側の部分に限定して、直線形状の拡散防止溝６３を刻設し、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路には、拡散防止溝６３を設けない構成を採用している。

これに対し、実施例３に係る圧電アクチュエータ７１では、図８に示すように、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路に、同経路を横断するように直線的に延びる、導通部４６の全長よりも長く、かつ、実施例２に係る拡散防止溝６３と比べて短い拡散防止溝７３を、導通部４６と並行に設け、実施例２に係る拡散防止溝６３と、実施例３に係る拡散防止溝７３と、の間に、両溝６３，７３間を物理的に隔てる非連続部７５を介在させる構成を採用した点が、実施例２とは大きく相違している。

本発明者らの研究によれば、実施例２に係る圧電アクチュエータ６１のように、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路に、拡散防止溝６３を設けない構成を採用すると（図６参照）、圧電素子２３から導通部４６に至る経路に導電性ペースト４５を塗布した場合、導電性ペースト４５が拡散防止溝６３に沿って流れていってしまう事態は回避出来る反面、導電性接着剤４７の拡散抑止効果が損なわるおそれのあることがわかった。

そうした観点から、実施例３に係る圧電アクチュエータ７１では、開口部２１における外方側の、圧電素子２３から導通部４６に至る経路に、孤立した拡散防止溝７３を、導通部４６と並行に設け、実施例２に係る拡散防止溝６３と実施例３に係る拡散防止溝７３との間に、非連続部７５を介在させる構成を採用することとした。

実施例３に係る圧電アクチュエータ７１を備えたヘッドサスペンションによれば、実施例２と比べて、導電性接着剤４７の拡散抑止効果を高めることができる。

ただし、例えば図９に示すように、開口部２１の周縁に沿う外周部分のうち、ベースプレート１３側に属する領域にも、拡散防止溝６３を刻設する構成を採用しても良い。

本発明の実施例４に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図１０は、実施例４に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例１〜３に係るヘッドサスペンションと、実施例４に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例１〜３と実施例４との相違点は次の通りである。すなわち、実施例１〜３に係るヘッドサスペンションでは、例えば図１に示すように、アクチュエータベース１８の開口部２１の外方側に、Ｕ字形状に突出した一対の可撓連結部５０を形成する構成を採用している。

これに対し、実施例４に係るヘッドサスペンション８１の主要部である圧電アクチュエータ８３では、図１０に示すように、アクチュエータベース１８の開口部２１の外方側に、実施例１〜３の可撓連結部５０に代えて、離間部５２を形成する構成を採用した点が、実施例１〜３とは大きく相違している。なお、この離間部５２は、開口部２１の外方側における略中央部分を、微少距離隔てて離間させることによって形成すればよい。

なお、実施例４に係るヘッドサスペンション８１を構成するに際しては、実施例１〜３に係る拡散防止溝の構成のうちいずれかを組み合わせ適用すればよい。

上述のように構成された実施例４に係るヘッドサスペンション８１によれば、開口部２１、非導電性接着剤４７、並びに圧電素子２３が、相互に密着することであたかも三位一体の支持梁のように機能するので、実施例１〜３の可撓連結部５０を設けることなしに、サスペンション８１本体の剛性を高水準に維持することができる。

また、アクチュエータベース１８に設けた開口部２１の外方側における略中央部分に離間部５２を形成したので、この離間部５２の存在が、圧電アクチュエータ８３のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

従って、実施例４に係るヘッドサスペンション８１によれば、アクチュエータとしての変位ストロークの減少を招くことなしに、振動特性や衝撃特性といった基本的な特性を良好に維持することができる。

しかも、サスペンション８１の幅方向の寸法を抑制することができるので、製造工程での面付け数を増大させて、材料歩留まりの向上に寄与することができる。

さらに、既存の一般的なサスペンションと比べて、幅方向の寸法を同等程度に抑制することができるので、既存のサスペンション用生産ラインをそのまま流用して生産を行うことができる。従って、設備投資の側面からの負担を軽減することができる。

しかも、実施例４に係るアクチュエータベース１８を、仮に、プレス成形によって生産する場合であっても、実施例１〜３に係る可撓連結部５０に相当する突出部分が一切存在しないので、バレル研磨によるバリ取りを円滑に行うことができ、その製造原価を低く抑えることができる。

また、ヘッドサスペンションが組み込まれる、例えば磁気ディスク装置等の設計段階において、実施例１〜３に係る可撓連結部５０に相当する突出部分が一切存在しないので、周辺部品との干渉の回避を考慮する必要がない。従って、サスペンション周辺部品を配置する際の設計の自由度をじゅうぶんに享受することができる。

しかも、振動特性面においても、実施例１〜３に係る可撓連結部５０に相当する突出部分が一切存在しないので、一般のサスペンションでは生じ得ない振動モードを考慮する必要がない。従って、従来のサスペンションと同等程度の設計工数をもって、実施例１〜３が奏する優れた効果を併せ持つヘッドサスペンションを得ることができる。

本発明の実施例５に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図１１は、実施例５に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例４に係るヘッドサスペンション８１と、実施例５に係るヘッドサスペンション９１とは、基本的な構成要素が共通であるため、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進めることにする。

実施例４と実施例５との相違点は次の通りである。すなわち、実施例４に係るヘッドサスペンション８１の圧電アクチュエータ８３では、図１０に示すように、ひとつの開口部２１を有し、この開口部２１に対し、非導電性接着剤４７を介して、ひとつの圧電素子２３を実装する構成を採用している。

これに対し、実施例５に係るヘッドサスペンション９１の圧電アクチュエータ９３では、図１１に示すように、一対の開口部２１を有し、これら一対の各開口部２１のそれぞれに対し、非導電性接着剤４７を介して、一対の各圧電素子２３を実装する点が、実施例４とは大きく相違している。

なお、実施例５に係るヘッドサスペンション８１を構成するに際しては、実施例１〜３に係る拡散防止溝の構成のうちいずれかを組み合わせ適用すればよい。

上述のように構成された実施例５に係るヘッドサスペンション９１によれば、実施例４と同様の作用効果を奏する。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

すなわち、本発明実施例では、説明の便宜上、磁気ディスクの上方にヘッドサスペンションが対向して位置する使用態様を前提として、その上下等の位置関係を説明した。ただし、実際の使用態様では、磁気ディスクの下方にヘッドサスペンションが対向して位置する場合もある。こうした場合であっても、本発明は、実施例で述べた位置関係に係る表現を実際の使用態様に合わせて解釈した上で、本発明の技術的思想を曲解することなく、適切に適用可能であることは言うまでもない。

１１ ヘッドサスペンション（実施例１）
１３ ベースプレート（実施例１〜５間で共通）
１５ ロードビーム（実施例１〜５間で共通）
１７ 圧電アクチュエータ（実施例１）
１８ アクチュエータベース（実施例１〜５間で共通）
１９ ボス孔（実施例１〜５間で共通）
２１ 開口部（実施例１〜５間で共通）
２３ 圧電素子（実施例１〜５間で共通）
２３ａ 圧電素子の上面（実施例１〜５間で共通）
２３ｂ 圧電素子の底面（実施例１〜５間で共通）
２３ｃ 圧電素子の周側面（実施例１〜５間で共通）
２４ａ，２４ｂ 電極（実施例１〜５間で共通）
２４ｃ 非電極領域（実施例１〜５間で共通）
２５ フレキシャ（実施例１〜５間で共通）
２７ａ，２７ｂ 一対の曲げ縁（実施例１〜５間で共通）
２９ 連結プレート（実施例１〜５間で共通）
３１ 孔（実施例１〜５間で共通）
３３ａ，３３ｂ 一対のヒンジ部（実施例１〜５間で共通）
４１ 周縁部（実施例１〜５間で共通）
４３ 底面受け部（実施例１〜５間で共通）
４５ 銀ペースト（実施例１〜５間で共通）
４６ 導通部（実施例１〜５間で共通）
４７ 非導電性接着剤（実施例１〜５間で共通）
４８ 拡散防止溝（実施例１）
５０ 一対の可撓連結部（実施例１〜３間で共通）
５２ 離間部（実施例４，５間で共通）
６１ 圧電アクチュエータ（実施例２）
６３ 拡散防止溝（実施例２）
７１ 圧電アクチュエータ（実施例３）
７３ 孤立した拡散防止溝（実施例３）
７５ 非連続部（実施例３）
８１ ヘッドサスペンション（実施例４）
８３ 圧電アクチュエータ（実施例４）
９１ ヘッドサスペンション（実施例５）
９３ 圧電アクチュエータ（実施例５）

Claims (6)

1. ロードビームと、前記ロードビームの基部に固設したアクチュエータベースの開口部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を実装してなる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に変位させる機能を有するヘッドサスペンションであって、
   前記圧電素子は、前記開口部との間に生じた周回溝に非導電性接着剤を充填することによって前記開口部に埋め込み式に実装され、
   前記開口部の外周部分には、前記周回溝からあふれ出た前記非導電性接着剤の拡散を防止するための拡散防止溝が刻設されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
   前記開口部及び前記圧電素子は、略矩形形状に形成され、
   前記拡散防止溝は、前記開口部の周縁に沿う外周部分に刻設されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
3. 請求項２記載のヘッドサスペンションであって、
   前記拡散防止溝は、非連続部を有し、
   前記非連続部は、前記拡散防止溝のうち、前記アクチュエータベースに設けられて前記圧電素子の電極との間で電気的な接続を行うための導通部の内方側近傍に設けられている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
4. 請求項１〜３のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
   前記アクチュエータベースには、前記開口部の外方側に突出した略Ｕ字形状の一対の可撓連結部が形成されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
5. 請求項１〜３のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
   前記アクチュエータベースには、前記開口部の外方側に一対の離間部が形成されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
6. 請求項１〜５のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションであって、
   前記開口部は、幅方向に並列して一対設けられ、前記一対の各開口部のそれぞれに前記圧電素子が前記非導電性接着剤を介して実装されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。