JP5383557B2 - ヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を備えたヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法に関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢を背景として、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の分野では、マイクロアクチュエータの要請が高い。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレート及びヒンジ部材を含むアクチュエータベースと、フレキシャを取り付けるロードビームと、一対の圧電素子となどを備え、アクチュエータベースに形成された開口部に一対の圧電素子を接着剤層を介して固定したディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。

特許文献１に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれる。この方式では、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加えて、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる圧電素子を採用している。

この圧電素子は、ロードビームの先端側を、サスペンションの幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。同方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。

こうしたデュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションにおいて、薄型化の要請に応えるためには、特許文献２の図６〜図８のように、ベースプレートとアクチュエータベースを一体の部材から形成するのが好ましい。

ところが、ベースプレートとアクチュエータベースとを一体の部材から形成しようとすると製造コストの高騰を招くため、薄型化に対応しづらいという課題があった。

すなわち、圧電素子に給電するためには、圧電素子の電極をアクチュエータベースに電気的に接続する必要がある。この接続は、例えば、圧電素子の電極とアクチュエータベースとの間を渡るように銀ペースト等の導電性部材を塗布することにより行われる。この際、アクチュエータベースのうち導電性部材の塗布部位に、導電性を確保するための部分金メッキ処理が行われる。

このとき、アクチュエータベースがベースプレートから独立していれば、その製造は、エッチングによる連状態（実際は連状態のものが複数配置された薄パネル、もしくはロール材）で行われる。この場合、アクチュエータベースのエッチングの最終工程で、連状態のワークに対してマスキングを施して部分金メッキ処理を行うことができる。

これに対し、アクチュエータベースがベースプレートと一体の場合、ベースプレートに対してボス部をプレス成型する関係から、連状態ではなく単品状態で、その後のバリ取工程や熱処理工程等を順次経て、前記一体部品が完成する。この場合、前記一体部品は数ｍｍ程度と非常に小さく、例えばバリ取工程の後に、個々の一体部品に対してマスキングを施して部分金メッキ処理を行うことは難しい。

従って、高価な金メッキ処理を前記一体部品の全体にわたり行う必要があり、製造コストの高騰を招くため、薄型化に対応しづらかった。

特開２００２−１８４１４０号公報 特開２００２−５０１４０号公報

解決しようとする問題点は、従来技術では、薄型化への対応と、圧電素子の電極及びアクチュエータベース間の導電性確保とを両立させることが難しかった点である。

本発明は、薄型化への対応と、圧電素子の電極及びアクチュエータベース間の導電性確保とを両立させることが可能なヘッドサスペンションを得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドサスペンションは、導電性のベースプレートとロードビームとの間に設けられて前記ベースプレート側に導通する取付部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を設け、前記圧電素子の変形に従って前記ベースプレートに対し前記ロードビームをスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、前記取付部は、前記ベースプレートと一体のアクチュエータベースと、前記アクチュエータベースに対向する補助プレート部とからなり、前記補助プレート部は、前記圧電素子の一側平面部の周縁に対向する平面受け部とこの平面受け部に設けられスウェイ方向で前記圧電素子の側面に対向する側面受け部とを有し、前記取付部と前記圧電素子との間に介在させ前記圧電素子を前記取付部に取り付ける非導電性接着剤層と、前記圧電素子の電極面と前記側面受け部との間を導通接続する導電性部材と、を備えたことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションでは、平面受け部及び側面受け部を有する取付部に圧電素子を非導電性接着剤層により取り付けると共に、圧電素子の電極面と側面受け部との間を導電性部材により導通接続したため、ベースプレートとアクチュエータベースとを一体形成することによる薄型化への対応と、圧電素子の電極及びアクチュエータベース間の導電性確保とを両立させることが可能なヘッドサスペンションを得ることができる。

本発明の実施例１に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。 実施例１に係るヘッドサスペンションの平面図であり、（Ａ）は表側から視た図、（Ｂ）は裏側から視た図である。 実施例１に係るヘッドサスペンションの圧電素子周りの構造を示す図であり、（Ａ）は圧電素子周りを拡大して示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線に沿う矢視断面図である。 実施例１に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図である。 実施例１に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図であり、（Ａ）は、ベースプレートに裏側から重ねて接合されるワーク部材の取付部形成前の窓部周りを示す平面図、（Ｂ）はワーク部材の取付部形成前の窓部周りを拡大して示す側面図、（Ｃ）は、ワーク部材の取付部形成後の窓部周りを示す平面図、（Ｄ）はワーク部材の取付部形成後の窓部周りを拡大して示す側面図である。 実施例２〜４に係るヘッドサスペンションの圧電素子周りを拡大して示す要部断面図であり、（Ａ）は実施例２に係るヘッドサスペンションの要部断面図、（Ｂ）は実施例３に係るヘッドサスペンションの要部断面図、（Ｃ）は実施例４に係るヘッドサスペンションの要部断面図である。 実施例２に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図である。 実施例２に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図であり、（Ａ）は、実施例２に係る半製品ワークの取付部形成前の窓部周りを示す平面図、（Ｂ）は実施例２に係る半製品ワークの取付部形成前の窓部周りを拡大して示す側面図、（Ｃ）は、実施例２に係る半製品ワークの取付部形成後の窓部周りを示す平面図、（Ｄ）は実施例２に係る半製品ワークの取付部形成後の窓部周りを拡大して示す側面図である。 実施例５に係るヘッドサスペンションの平面図であり、図９（Ａ）は表側から視た図、図９（Ｂ）は裏側から視た図である。 実施例６に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

薄型化への対応と、圧電素子の電極及びアクチュエータベース間の導電性確保とを両立させることが可能なヘッドサスペンションを得るといった目的を、平面受け部及び側面受け部を有する取付部に圧電素子を非導電性接着剤層により取り付けると共に、圧電素子の電極面と側面受け部との間を導電性部材により導通接続することによって実現した。

本発明の実施例１に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して詳細に説明する。

初めに、実施例１に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。

［ヘッドサスペンションの概略構成］
図１は、実施例１に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図、図２は、実施例１に係るヘッドサスペンションの平面図であり、図２（Ａ）は表側から視た図、図２（Ｂ）は裏側から視た図、図３は、実施例１に係るヘッドサスペンションの圧電素子周りの構造を示す図であり、図３（Ａ）は圧電素子周りを拡大して示す斜視図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う矢視断面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）のＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線に沿う矢視断面図である。

以下では、説明の便宜上、ヘッドサスペンションのうちベースプレートの側を基端側又は後側と呼び、ロードビームの側を先端側又は前側と呼ぶ場合がある。また、ヘッドサスペンションのうち反ディスク側を表側と呼び、ディスク側を裏側と呼ぶ場合がある。さらに、本発明の説明で内側又は外側というときは、ヘッドサスペンションの長手方向中心軸に対して内外いずれかの側の方向を意味する。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１は、図１及び図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、ベースプレート１３と、ロードビーム部１５及び本発明の”取付部”の一部等を有するワーク部材１４とを備える。

ベースプレート１３は、例えば、板厚が１５０〜２００μｍ程度の、ステンレス鋼などの金属製薄板からなる。

ベースプレート１３の基端側には、略円形のボス孔１９が設けられている。このボス孔１９を介して、ベースプレート１３は、ボイスコイルモータ（不図示）によって駆動されるアクチュエータアームの先端部分に固着され、ボイスコイルモータによって旋回駆動される。

ベースプレート１３の先端側には、図１に示すように、アクチュエータベース１８がベースプレート１３と一体に設けられている。これにより、板材間の重なりによる厚肉化を排除して、ヘッドサスペンション製品の薄型化を図っている。

ワーク部材１４は、補強プレート部１３Ａと、補助プレート部１８Ａと、ロードビーム部１５とからなる。

補強プレート部１３Ａは、ベースプレート１３に重ね合わせて接合され、ベースプレート１３を補強する役割を果たす。この補強プレート部１３Ａは、ベースプレート１３と同様に、略円形のボス孔１９を有する。後述の実施例５（図９参照）に示すように、補強プレート部１３Ａを省略してワーク部材１４を構成してもよい。この場合、ワーク部材１４の後端表側が、ベースプレート１３の前端裏側に重ね合わせて接合される。

ロードビーム部１５は、ばね部１５ａと剛体部１５ｂとからなる。剛体部１５ｂは、ばね部１５ａの前側に設けられている。ばね部１５ａの後端部１５ａ１には、図２（Ｂ）に示すように、補助プレート部１８Ａが一体に設けられている。補助プレート部１８Ａは、アクチュエータベース１８に重ね合わせて接合され、圧電素子２３の取付部としての機能を有する。

ロードビーム部１５は、不図示のスライダに負荷荷重を与える。ロードビーム部１５には、図１に示すように、フレキシャ２５が設けられている。フレキシャ２５の先端側には不図示の磁気ヘッドスライダが設けられる。

フレキシャ２５は、ロードビーム部１５よりも薄く精密なばね性を有するステンレス製薄板からなる。このフレキシャ２５は、図３（Ｂ）に示すように、ワーク部材１４の側から、導電性基材層２５ａ、電気絶縁層２５ｂ、及び導体層２５ｃを順次積層させてなる。フレキシャ２５は、ワーク部材１４裏側の所定箇所にレーザスポット溶接等によって接合固定される。

導電性基材層２５ａは、例えばステンレス等の金属製薄板からなる。電気絶縁層２５ｂは、例えばポリイミド樹脂等の電気絶縁性の良好な素材からなる。導体層２５ｃは、例えば銅やニッケル等の電気導電性の良好な素材からなる。この導体層２５ｃは、圧電素子２３の電極面に対する給電並びに磁気ヘッドスライダの読み取り及び書き込み信号を伝送する役割を果たす。

ロードビーム部１５には、その剛体部１５ｂの両側部に一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂが形成されている。これら一対の曲げ縁２７ａ，２７ｂは、ロードビーム部１５の剛性を高める役割を果たす。

ばね部１５ａのスウェイ方向中央には、厚み方向の曲げ剛性を下げて軽量化を図る等の目的で孔３１が設けられている。この孔３１の両側部に、厚み方向に撓むことのできる一対のヒンジ部３３ａ，３３ｂがそれぞれ形成されている。これらヒンジ部３３ａ，３３ｂによりばね部１５ａが構成される。

次に、実施例１に係るヘッドサスペンション１１の主要部を構成する圧電アクチュエータの概略構成について説明する。

［圧電アクチュエータの概略構成］
本実施例１に係る圧電アクチュエータ１７は、図１及び図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、アクチュエータベース１８と、補助プレート部１８Ａと、この補助プレート部１８Ａに形成された平面受け部４３及び側面受け部４５と、圧電素子２３とを含む。圧電素子２３は、例えば、０．０７〜０．２０ｍｍ程度の厚さを有する。

アクチュエータベース１８は、図１に示すように、基端部１８ａと、前端部１８ｂと、帯状連結部１８ｃと、一対の開口２１とを有する。帯状連結部１８ｃは、基端部１８ａ及び前端部１８ｂ間をスウェイ方向中央で前後方向に連結する。

一対の各開口２１は、アクチュエータベース１８の基端部１８ａ、前端部１８ｂ、及び帯状連結部１８ｃによって並列に区画された矩形湾状の部分であり、矩形板状の一対の圧電素子２３をそれぞれ収容する役割を果たす。

アクチュエータベース１８に形成された一対の開口２１と、補助プレート部１８Ａに形成された平面受け部４３及び側面受け部４５とで、本発明の取付部が構成されている。この取付部は、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、平面受け部４３及び側面受け部４５を有して圧電素子２３の周縁部２３ｄを囲む形状とされる。

具体的には、矩形板状の圧電素子２３の周縁部２３ｄは、図３（Ａ）に示すように、矩形湾状の一対の各開口２１の前側壁２１ｂ１，内側壁２１ｂ２，後側壁２１ｂ３で三方向が囲まれると共に、残りの一方向が側面受け部４５で囲まれている。

一対の各開口２１に収容される個々の圧電素子２３の外寸は、開口２１の内寸よりも僅かに小さく形成されている。

一対の各圧電素子２３は、給電状態に応じて変形する例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなり、共通の構成を有して、略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。一対の各圧電素子２３は、図３（Ｂ），（Ｃ）に示すように、良好な電気伝導性を有する金（Ａｕ）等の材料からなる表側及び裏側電極面２３ａ，２３ｂをそれぞれ有する。

これら表側及び裏側電極面２３ａ，２３ｂは、蒸着、スパッタリング又はメッキ等によって形成することができる。

一対の各圧電素子２３は、図１及び図２（Ａ）に示すように、相互に並列した状態で一対の各開口２１にそれぞれ埋め込み式に収容される。この埋め込み式とは、図３（Ｂ）に示すように、各圧電素子２３が各開口２１の所定位置にそれぞれ収容された状態において、各圧電素子２３の裏側電極面２３ｂがアクチュエータベース１８の表面１８ｄに対して低位に位置することにより、外観上、各圧電素子２３が各開口２１にそれぞれ埋め込まれているようにみえる状態をいう。

実際には、一対の各圧電素子２３は、図１及び図２（Ａ）に示すように、各圧電素子２３の表側電極面２３ａが、アクチュエータベース１８の表面１８ａに対して面一または低位に位置するように、各圧電素子２３が各開口２１にそれぞれ埋め込み式に設けられる。

平面受け部４３は、各圧電素子２３の一側（裏側）平面部の周縁２３ｂ１に対向するように設けられている。この平面受け部４３は、図２（Ｂ）に示すように、ワーク部材１４の補助プレート部１８Ａにより構成される。従って、平面受け部４３は導電性を有する。

平面受け部４３には、図２（Ｂ）及び図３（Ｂ），（Ｃ）に示すように、圧電素子２３の裏側電極面２３ｂがアクチュエータベース１８の裏側から臨めるように、圧電素子２３の一側（裏側）平面部の中央部分２３ｂ２を略矩形状に切り欠いた窓部２１ａが形成されている。

平面受け部４３は、圧電素子２３の一側（裏側）平面部の周縁２３ｂ１との間に形成される間隙に非導電性接着剤層４７を充填により形成する際に、この接着剤４７をもれなく受け止める役割を果たす。

側面受け部４５は、平面受け部４３に設けられスウェイ方向で各圧電素子２３の外側面２３ｃに対向するように位置している。この側面受け部４５は、図２（Ｂ）に示すように、平面受け部４３と同様に、ワーク部材１４の補助プレート部１８Ａにより構成される。従って、側面受け部４５は導電性を有する。

側面受け部４５は、図２（Ｂ）及び図３（Ａ）に示すように、圧電素子２３の外側面２３ｃの略中央に対応する部分に離間部４５ａを有する。

この離間部４５ａは、図２（Ｂ）に示すように、窓部２１ａのスウェイ方向外側に形成されたスリット２１ａ１に連なって設けられている。つまり、窓部２１ａの内部空間は、離間部４５ａ及びスリット２１ａ１を介して窓部２１ａのスウェイ方向外側に連通するようになっている。

換言すれば、窓部２１ａ及び離間部４５ａは、平面受け部４３及び側面受け部４５をスウェイ交差方向前後部間で不連続として圧電アクチュエータ１７の変位を許容する変位許容部として機能する。この変位許容部の存在が、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

離間部４５ａを境として前側に位置する側面受け部４５ｂ１は、各圧電素子２３の表側電極面２３ａに対し面一となるようにひさし状に延び出した接続面４５ｃを有する。

この接続面４５ｃは、後述する銀ペースト等の導電性部材４８の塗布時に、導電性部材４８をもれなくこぼさずに受け止める機能と、側面受け部４５ｂ１の剛性を高めて圧電素子２３の支持剛性を高める機能とを有する。圧電素子２３の支持剛性が高まると、離間部４５ａを境とした前後間での圧電変位を確実に行わせると共に、導電性部材４８の耐久性を高める効果を期待することができる。

これに対し、離間部４５ａを境として後側に位置する側面受け部４５ｂ２は、前記のような接続面４５ｃを有していない。

ただし、前述とは逆に、離間部４５ａを境として前側に位置する側面受け部４５ｂ１に接続面４５ｃを設けるのに代えて、後側に位置する側面受け部４５ｂ２に接続面４５ｃを設けてもよい。また、両者の各側面受け部４５ｂ１，４５ｂ２に接続面４５ｃを設ける構成を採用してもよい。さらに、接続面４５ｃは、省略してもよい。

前側側面受け部４５ｂ１と開口２１の前側壁２１ｂ１との間には、図３（Ａ）に示すように、隙間４６ａが設けられている。同様に、後側側面受け部４５ｂ２と開口２１の後側壁２１ｂ３との間にも、図３（Ａ）に示すように、隙間４６ｂが設けられている。

各圧電素子２３を各開口２１の所定位置にそれぞれ収容した状態で、圧電素子２３の周縁部２３ｄと、開口２１、平面受け部４３、及び側面受け部４５との各間に間隙を生じる。

この間隙を埋めて圧電素子２３の歪み（変位）を的確にロードビーム部１５に伝えるために、各圧電素子２３は、図３（Ｂ）に示すように、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部に取り付けられている。

この取付部への取付は、圧電素子２３の周縁部２３ｄと、各開口２１の前側壁２１ｂ１，内側壁２１ｂ２，後側壁２１ｂ３、平面受け部４３、及び側面受け部４５との各間に非導電性接着剤層４７を隙間無くほぼ均一の厚みで充填形成することによって行われる。

これにより、圧電素子２３は、その周縁部２３ｄを、各開口２１の前側壁２１ｂ１，内側壁２１ｂ２，後側壁２１ｂ３、及び側面受け部４５でもれなく囲むと共に、その一側（裏側）平面部の周縁２３ｂ１を平面受け部４３で支持されて、平面受け部４３及び側面受け部４５に取り付けられる。

非導電性接着剤層４７は、図３（Ａ）に示すように、側面受け部４５に形成された離間部４５ａに対応する部分に、他の部分と比べてスウェイ方向の厚みが薄い薄肉部４７ａを有する。この薄肉部４７ａは、図３（Ａ）に示すように、離間部４５ａに対応する部分の非導電性接着剤層４７を、表裏方向全部に渡って略直方形状にえぐり取ることで形成される。

ただし、圧電素子２３の周縁部２３ｄのうち離間部４５ａに対応する部分は、薄肉部４７ａにより非導電性接着剤層４７で覆われている。つまり、圧電素子２３の周縁部２３ｄは、その厚みの薄い部分（薄肉部４７ａ）がわずかに存在するものの、非導電性接着剤層４７で全面的に被覆されている。

このように、各開口２１の前側壁２１ｂ１，内側壁２１ｂ２，後側壁２１ｂ３、及び側面受け部４５でもれなく囲むと共に、その一側（裏側）平面部の周縁２３ｂ１を平面受け部４３で支持した状態で、圧電素子２３を非導電性接着剤層４７により囲むように取り付けたため、圧電素子２３の電極面とアクチュエータベース１８との間の電気的な絶縁性を確保すること、圧電素子２３の周縁部２３ｄから塵埃が離脱するのを未然に防止すること、並びに、脆く壊れやすい圧電素子２３をその損傷から保護することの全てを、いずれも高い水準で実現することができる。

前記したような薄肉部４７ａは、例えば非導電性接着剤層４７を充填形成する際に、所定形状の凸部を有する治具を用いて形成することができる。薄肉部４７ａの存在が、変位許容部の存在と相俟って、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない役割を果たす。

ただし、非導電性接着剤層４７を隙間無く充填形成する態様に代えて、部分的に非導電性接着剤層４７を充填形成する態様を採用してもよい。また、薄肉部４７ａは、省略してもよい。この場合、非導電性接着剤層４７は、離間部４５ａに対応する部分にも均等に充填形成される。

非導電性接着剤層４７としては、公知の非導電性接着剤（導電性接着剤に絶縁性を有するシリカやガラス等の粒子を含有させたものを含む。）を適宜採用すればよい。

各圧電素子２３の表側電極面２３ａと側面受け部４５ｂ１との間は、図２（Ａ）及び図３（Ａ），（Ｃ）に示すように、非導電性接着剤層４７を渡って銀ペースト等の導電性部材４８を介して導通接続されている。これにより、各圧電素子２３の表側電極面２３ａは、側面受け部４５ｂ１及び平面受け部４３を経由してアクチュエータベース１８に接地されている。

導電性部材４８を塗布する位置は、各圧電素子２３の外側面２３ｃのうち隅部に近接させた方が、圧電アクチュエータ１７のスウェイ動作時において、変位ストローク動作を妨げない観点から好ましい。

一方、各圧電素子２３の裏側電極面２３ｂは、図３（Ｂ）に示すように、円柱形状の導電性接着剤塊４９を介して、フレキシャ２５の配線部２５ｃに接続されている。なお、裏側電極面２３ｂと、フレキシャ２５の配線部２５ｃとの間を接続するにあたっては、導電性接着剤塊４９に代えて、ボンディングワイヤ、半田付け、又は超音波接合等の接続手段を採用してもよい。

上述のように構成された圧電アクチュエータ１７では、所定の給電電圧が印加されると、いずれか一方の圧電素子２３が長手方向に収縮する一方、他方の圧電素子２３が長手方向に伸長することで、全体として略台形形状に歪む。

これにより、圧電アクチュエータ１７は、一対の各圧電素子２３の歪み方向及び変位ストロークに応じて、ベースプレート１３に対してロードビーム部１５の先端側を幅方向（スウェイ方向）に変位させるように動作する。

次に、実施例１に係るヘッドサスペンションの製造方法について説明する。

［実施例１に係るヘッドサスペンションの製造方法］
図４は、実施例１に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図、図５は、実施例１に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図であり、図５（Ａ）は、ベースプレートに裏側から重ねて接合されるワーク部材の取付部形成前の窓部周りを示す平面図、図５（Ｂ）はワーク部材の取付部形成前の窓部周りを拡大して示す側面図、図５（Ｃ）は、ワーク部材の取付部形成後の窓部周りを示す平面図、図５（Ｄ）はワーク部材の取付部形成後の窓部周りを拡大して示す側面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１は、次の各工程を経て製造される。

ステップＳ１１では、ベースプレート１３や第１の半製品ワーク１４ａ等の、各構成部材のアートワークを行う。このアートワークとは、各構成部材の該当基材から所定の形状を打ち抜き又はエッチング加工で切り出すことによって、個々の構成部材を製造することをいう。例えば、第１の半製品ワーク１４ａの補助プレート部１８’Ａが、図５（Ａ）に示すように、ステンレス製薄板基材に所定のプレス加工を施すことによって製造される。

ステップＳ１１の工程が終了した時点で、図５（Ａ）に示すように、平面受け部となる部分４３’及び側面受け部となる部分４５’の各形状が抜き形成されている。側面受け部となる部分４５’は、図５（Ａ）に示すように、離間部となる部分４５’ａと、同部分４５’ａを境として前後に分かれた側面受け部となる部分４５’ｂ１，４５’ｂ２と、接続面となる部分４５’ｃとからなる。

ステップＳ１３では、第１の半製品ワーク１４ａの側面受け部となる部分４５’を平面受け部となる部分４３’に対して曲げ加工し、さらに、接続面となる部分４５’ｃを側面受け部となる部分４５’に対して曲げ加工する。

これにより、側面受け部４５及び接続面４５ｃを有した第２の半製品ワーク１４ｂを形成する。例えば図５（Ｃ），（Ｄ）に示すように、側面受け部４５ｂ及び接続面４５ｃが、パンチとダイを用いた曲げ加工により形成される。

ステップＳ１３の工程が終了した時点で、図５（Ｃ），（Ｄ）に示すように、平面受け部４３に対して側面受け部４５及び接続面４５ｃが曲げ形成されている。

ステップＳ１５では、各構成部材の組み立てを行う。ベースプレート１３と、第２の半製品ワーク１４ｂ、つまりワーク部材１４とは、不図示のレーザスポット溶接機によって対応する面同士が重ね合わされた状態で接合固定される。

ステップＳ１５の工程が終了した時点で、図１及び図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、ヘッドサスペンション１１としての外観上の体裁が整う。

ステップＳ１３〜Ｓ１５の工程は、本発明の”取付部形成工程”に相当する。

ステップＳ１７では、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部に対する各圧電素子２３の実装が行われる。この実装は、圧電素子２３の周縁部２３ｄと、開口２１、平面受け部４３及び側面受け部４５（取付部）との各間に非導電性接着剤層４７を隙間無く充填形成することで行われる。

ステップＳ１７の工程は、本発明の”実装工程”に相当する。

ステップＳ１９では、導電性部材４８の塗布が行われる。この塗布は、非導電性接着剤層４７を渡って圧電素子２３の表側電極面２３ａと側面受け部４５との間に流動性を有する導電性部材４８を適用することで行われる。

これにより、各圧電素子２３の表側電極面２３ａは、側面受け部４５及び平面受け部４３（補助プレート部１８Ａ）を経由してアクチュエータベース１８に接地される。

ステップＳ１９の工程は、本発明の”塗布工程”に相当する。

［実施例１の効果］
実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、外方に突出する可撓連結部の採用に代えて、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部に圧電素子２３の周縁部２３ｄを非導電性接着剤層４７により囲むように取り付ける構成を採用した。

このため、圧電素子２３、圧電素子２３の周縁部２３ｄを囲む非導電性接着剤層４７、及び平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部が、あたかも三位一体の支持梁のように機能する。

離間部４５ａを境として側面受け部４５が前側及び後側に分離されているにもかかわらず、後側の側面受け部４５ｂ２を非導電性接着剤層４７を介し圧電素子２３に結合すると共に、前側の側面受け部４５ｂ１を非導電性接着剤層４７を介し圧電素子２３に結合することにより、圧電素子周りの剛性を向上することができる。

しかも、窓部２１ａ及び離間部４５ａからなる変位許容部の存在が、平面受け部４３及び側面受け部４５をスウェイ交差方向前後部間で不連続として圧電アクチュエータ１７の変位を許容するように作用するため、その変位をロードビーム部１５に的確に伝えることができる。

従って、ヘッドサスペンションの幅寸法増大を抑制しながら、振動特性や衝撃特性等の基本特性を維持可能なヘッドサスペンションを得ることができる。

また、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、非導電性接着剤層４７を渡って圧電素子２３の表側電極面２３ａと側面受け部４５との間を導電性部材４８で導通接続する構成を採用した。

従って、非導電性接着剤層４７を渡って圧電素子２３の表側電極面２３ａとアクチュエータベース１８との間をスウェイ方向の交差方向で導電性部材４８により導通接続する従来の導通経路に加え、導通経路の選択肢を豊富化し、製造時に従来の導通経路を選択するか本発明の導通経路を選択するかの自由度を確保することができる。

例えば、圧電素子２３の電極面２３ａに近接するベースプレート（基部）１３の部分対して良導電性を確保するための金メッキ等の金属層形成処理を施すことが、マスキング出来ない等の諸般の事情により困難な場合がある。

かかる場合に、本発明に係る導通経路を採用する実益がある。すなわち、ベースプレート（基部）１３とは別体の部材（補助プレート部１８Ａ）に平面受け部４３及び側面受け部４５を形成すると共に部分的な金属層形成処理を施しておく。そして、非導電性接着剤層４７を渡って圧電素子２３の電極面２３ａと側面受け部４５との間を導電性部材４８で導通接続する。これにより、本発明に係る導通経路は、良導電性が確保された好ましいものとなる。

従って、実施例１に係るヘッドサスペンションによれば、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８との一体化による薄型化への対応と、圧電素子２３の表側電極２３ａ及びアクチュエータベース１８間の導電性確保とを両立させることができる。

また、良導電性が確保された導通経路を介して圧電素子の電極面を確実に接地することが出来るため、ヘッドサスペンション製品の品質向上に寄与することができる。

さらに、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部は、スウェイ方向で一対形成され、圧電素子２３は、各取付部にそれぞれ固定される構成を採用してもよい。

さらにまた、側面受け部４５は、導電性部材４８を受ける接続面４５ｃを圧電素子２３の表側電極面２３ａに対し面一に備える構成を採用してもよい。

このようにすれば、導電性部材４８の塗布対象部位の面積を拡張することができるため、導電性部材４８と塗布対象部位との間の接触抵抗を下げて確実な導通接続を実現することができる。

また、側面受け部４５は、その表面に良導電性の金属層（例えば金メッキ層）を備える構成を採用してもよい。

このようにすれば、導電性部材４８と塗布対象部位との間の接触抵抗を下げて確実な導通接続を実現することができる。

しかも、側面受け部４５は、導電性部材４８の収容部７５，８５，９５を備える構成を採用してもよい。

このようにすれば、塗布対象部位に対する導電性部材４８の食い付き性を良好にして両者間の確実な導通接続を実現することができる。

また、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、外方に突出する可撓連結部を有しないため、剛性向上と引き替えに現出する変位ストロークの減少を招くことなく、製造工程での面付け数を増大させて、材料歩留まりの向上に寄与することができる。

さらに、既存の一般的なサスペンションと同様、幅方向の寸法を同等程度に抑制することができるため、既存のサスペンション用生産ラインをそのまま流用して生産を行うことができる。従って、設備投資の側面からの負担を軽減することができる。

しかも、実施例１に係るアクチュエータベース１８を、仮にプレス成形によって生産する場合に、可撓連結部に相当する突出部分が一切存在しないため、バレル研磨によるバリ取りを円滑に行うことができ、その製造原価を低く抑えることができる。

また、ヘッドサスペンションが組み込まれる、例えば磁気ディスク装置等の設計段階において、可撓連結部に相当する突出部分が一切存在しないため、周辺部品との干渉の回避を考慮する必要がない。

従って、サスペンション周辺部品を配置する際の設計の自由度を確保することができる。

しかも、振動特性面においても、可撓連結部に相当するような突出部分が一切存在しないため、一般のサスペンションでは生じ得ない振動モードを考慮する必要がない。

従って、従来のサスペンションと同等程度の設計工数をもって、本実施例１の優れた効果を併せ持つヘッドサスペンションを得ることができる。

そして、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、各開口２１の前側壁２１ｂ１，内側壁２１ｂ２，後側壁２１ｂ３、及び側面受け部４５でもれなく囲むと共に、その一側（裏側）平面部の周縁２３ｂ１を平面受け部４３で支持した状態で、圧電素子２３を非導電性接着剤層４７により囲むように取り付ける構成を採用した。

このため、圧電素子２３の電極面とアクチュエータベース１８との間の電気的な絶縁性を確保すること、圧電素子２３の周縁部２３ｄから塵埃が離脱するのを未然に防止すること、並びに、脆く壊れやすい圧電素子２３をその損傷から保護することの全てを、いずれも高い水準で実現することができる。

一方、実施例１に係るヘッドサスペンションの製造方法は、ベースプレート（基部）１３及びロードビーム部１５に取付部を含む半製品ワークを形成する取付部形成工程と、取付部に圧電素子２３を非導電性接着剤層４７を介在させて取り付ける実装工程と、導電性部材４８を塗布する塗布工程とを備える構成を採用した。

例えば、圧電素子２３の電極面２３ａに近接するベースプレート（基部）１３の部分に対して良導電性を確保するための金メッキ等の金属層形成処理を施すことが、マスキングが出来ない等の諸般の事情により困難な場合がある。

かかる場合に、本発明に係る導通経路を採用する実益がある。すなわち、ベースプレート（基部）１３とは別体の部材（補助プレート部１８Ａ）に平面受け部４３及び側面受け部４５を形成すると共に金属層形成処理を施しておく。そして、非導電性接着剤層４７を渡って圧電素子２３の電極面２３ａと側面受け部４５との間を導電性部材４８で導通接続する。これにより、本発明に係る導通経路は、良導電性が確保された好ましいものとなる。

従って、実施例１に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、ベースプレート１３とアクチュエータベース１８との一体化による薄型化への対応と、圧電素子の電極及びアクチュエータベース間の導電性確保とを両立させることができる。

また、良導電性が確保された導通経路を介して圧電素子の電極面を確実に接地することが出来るため、ヘッドサスペンション製品の品質並びに歩留まりを向上することができる。

本発明の実施例２に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図６（Ａ）は、実施例２に係るヘッドサスペンションの要部断面図である。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１と、実施例２に係るヘッドサスペンション７１とは、基本的な構成要素が共通であるため、共通の構成部材には共通の符合を付し、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進める。

実施例１と実施例２との相違点は次の通りである。すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンション１１の圧電アクチュエータ１７では、図３（Ｃ）に示すように、側面受け部４５ｂ及び接続面４５ｃのいずれにも、塗布時に流動性を有する導電性部材４８の収容部は設けられていない。

これに対し、実施例２に係るヘッドサスペンション７１の圧電アクチュエータ７３では、図６（Ａ）に示すように、接続面４５ｃは、略円形状の凹部よりなる導電性部材４８の収容部７５を備える点で、実施例１とは大きく相違している。

次に、実施例２に係るヘッドサスペンションの製造方法について説明する。

［実施例２に係るヘッドサスペンションの製造方法］
図７は、実施例２に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図、図８は、実施例２に係るヘッドサスペンションの製造工程を示す説明図であり、図８（Ａ）は、ベースプレートに裏側から重ねて接合される半製品ワークの取付部形成前の窓部周りを示す平面図、図８（Ｂ）は半製品ワークの取付部形成前の窓部周りを拡大して示す側面図、図８（Ｃ）は、半製品ワークの取付部形成後の窓部周りを示す平面図、図８（Ｄ）は半製品ワークの取付部形成後の窓部周りを拡大して示す側面図である。

実施例２に係るヘッドサスペンション７１は、次の各工程を経て製造される。

ステップＳ２１では、ステップＳ１１と同様に、各構成部材のアートワークを行う。例えば、第１の半製品ワーク１４ａの補助プレート部１８’Ａが、図８（Ａ）に示すように、ステンレス製薄板基材に所定のプレス加工を施すことによって製造される。

ステップＳ２１の工程が終了した時点で、図８（Ａ）に示すように、平面受け部となる部分４３’及び側面受け部となる部分４５’の各形状が抜き形成されている。側面受け部となる部分４５’は、図８（Ａ）に示すように、離間部となる部分４５’ａと、同部分４５’ａを境として前後に分かれた側面受け部となる部分４５’ｂ１，４５’ｂ２と、接続面となる部分４５’ｃとからなる。

ステップＳ２３では、図８（Ａ）に示すように、第１の半製品ワーク１４ａの側面受け部となる部分４５’のうち接続面となる部分４５’ｃにパーシャルエッチング処理を施して導電性部材４８の収容部となる部分７５’を形成する。

ステップＳ２３の工程が終了した時点で、図８（Ａ）に示すように、接続面となる部分４５’ｃに収容部となる部分７５’が形成されている。従って、ステップＳ２３の工程は、本発明の”収容部形成工程”に相当する。

ステップＳ２５では、ステップＳ１３と同様に、側面受け部４５ｂ及び接続面４５ｃがパンチとダイを用いた曲げ加工により形成される。

ステップＳ２７では、ステップＳ１５と同様に、ベースプレート１３と、第２の半製品ワーク１４ｂ、つまりワーク部材１４とが、レーザスポット溶接機によって対応する面同士が重ね合わされた状態で接合固定される。
ステップＳ２１〜Ｓ２７の工程は、本発明の”取付部形成工程”に相当する。

ステップＳ２９では、ステップＳ１７と同様に、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部に対する各圧電素子２３の実装が行われる。ステップＳ２９の工程は、本発明の”実装工程”に相当する。

ステップＳ３１では、ステップＳ１９と同様に、導電性部材４８の塗布が行われる。接続面４５ｃには収容部７５が形成されているため、流動性を有する導電性部材４８を不用意に拡散させることなく、所定の位置に速やかに塗布することができる。

ステップＳ３１の工程は、本発明の”塗布工程”に相当する。

［実施例２の効果］
実施例２に係るヘッドサスペンション７１では、側面受け部４５ｂの接続面４５ｃは導電性部材４８の収容部７５を備えたため、実施例１の効果に加えて、塗布対象部位に対する導電性部材４８の食い付き性を良好にして両者間の確実な導通接続を実現することができる。

一方、実施例２に係るヘッドサスペンションの製造方法は、取付部に圧電素子２３を非導電性接着剤層４７を介在させて取り付ける実装工程と、導電性部材４８を塗布する塗布工程とを備え、取付部形成工程に、側面受け部となる部分にパーシャルエッチング処理を施して収容部７５となる部分を形成する収容部形成工程を備えたため、実施例１の効果に加えて、導電性部材４８を不用意に拡散させることなく、所定の位置に速やかに塗布することができる。

本発明の実施例３に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図６（Ｂ）は、実施例３に係るヘッドサスペンションの要部断面図である。

実施例２に係るヘッドサスペンション７１と、実施例３に係るヘッドサスペンション８１とは、基本的な構成要素が共通であるため、共通の構成部材には共通の符合を付し、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進める。

実施例２と実施例３との相違点は次の通りである。すなわち、実施例２に係るヘッドサスペンション７１の圧電アクチュエータ７３では、図６（Ａ）に示すように、側面受け部４５ｂの接続面４５ｃは、導電性部材４８の収容部７５を備える。

これに対し、実施例３に係るヘッドサスペンション８１の圧電アクチュエータ８３では、図６（Ｂ）に示すように、接続面４５ｃは、側面受け部４５ｂから接続面４５ｃに至る途中に存在する屈曲部４５ｄを挟んで延びる導電性部材４８の収容部８５を備える点で、実施例２とは大きく相違している。

実施例３に係るヘッドサスペンション８１は、実施例２と同様の製造方法を用いて製造することができる。このため、その製造方法の説明を省略する。

［実施例３の効果］
実施例３に係るヘッドサスペンション８１では、側面受け部４５ｂの接続面４５ｃは、側面受け部４５ｂから接続面４５ｃに至る途中に存在する屈曲部４５ｄを挟んで延びる導電性部材４８の収容部８５を備えたため、実施例２と同様に、塗布対象部位に対する導電性部材４８の食い付き性を良好にして両者間の確実な導通接続を実現することができる。

一方、実施例３に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、実施例２と同様に、導電性部材４８を不用意に拡散させることなく、所定の位置に速やかに塗布することができる。

本発明の実施例４に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図６（Ｃ）は、実施例４に係るヘッドサスペンションの要部断面図である。

実施例２，３に係るヘッドサスペンション７１，８１と、実施例４に係るヘッドサスペンション９１とは、基本的な構成要素が共通であるため、共通の構成部材には共通の符合を付し、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進める。

実施例２，３と実施例４との相違点は次の通りである。すなわち、実施例２，３に係るヘッドサスペンション７１の圧電アクチュエータ７３では、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、側面受け部４５ｂは接続面４５ｃを備え、接続面４５ｃに導電性部材４８の収容部７５，８５を備える。

これに対し、実施例４に係るヘッドサスペンション９１の圧電アクチュエータ９３では、図６（Ｃ）に示すように、側面受け部４５ｂは、接続面４５ｃを有することなく、平面受け部４３からの立ち上がり形状を維持して、圧電素子２３の表側電極面２３ａよりも上位まで延び出した突出部４５ｅを備え、この突出部４５ｅは、導電性部材４８の収容部９５を備える点で、実施例２，３とは大きく相違している。

実施例４に係るヘッドサスペンション９１は、実施例２，３と同様の製造方法を用いて製造することができる。このため、その製造方法の説明を省略する。

［実施例４の効果］
実施例３に係るヘッドサスペンション８１では、側面受け部４５ｂは、平面受け部４３からの立ち上がり形状を維持して圧電素子２３の表側電極面２３ａよりも上位まで延び出した突出部４５ｅを備え、この突出部４５ｅは、導電性部材４８の収容部９５を備えたため、実施例２，３の効果に加えて、導電性部材４８の拡散を確実に抑止することができる。

一方、実施例４に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、実施例２，３の効果に加えて、流動性を有する導電性部材４８の拡散を確実に抑止して所定の位置に速やかに塗布することができる。

本発明の実施例５に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図９は、実施例５に係るヘッドサスペンションの平面図であり、図９（Ａ）は表側から視た図、図９（Ｂ）は裏側から視た図である。

実施例１に係るヘッドサスペンション１１と、実施例５に係るヘッドサスペンション１０１とは、基本的な構成要素が共通であるため、共通の構成部材には共通の符合を付し、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進める。

実施例１と実施例５との相違点は次の通りである。すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンション１１では、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、ワーク部材１４は、補強プレート部１３Ａと、補助プレート部１８Ａと、ロードビーム部１５とからなり、補強プレート部１３Ａは、ベースプレート１３に重ね合わせて接合される。

これに対し、実施例５に係るヘッドサスペンション１０１では、図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、ワーク部材１４Ａは、補助プレート部１８Ａと、ロードビーム部１５とからなり、ベースプレート１３に重ね合わせて接合される補強プレート部１３Ａが省略されている点で、実施例１とは大きく相違している。

この場合、図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、ワーク部材１４Ａの後端表側が、ベースプレート１３の前端裏側に重ね合わせて接合される。

さらに、補助プレート部１８Ａをばね部１５ａの後端部１５ａ１から分離してロードビーム部１５を別体に形成してもよい。この場合、例えば、ばね部１５ａの後端部１５ａ１の表側を、アクチュエータベース１８の前端部１８ｂ裏側に重ね合わせて接合すればよい。

［実施例５の効果］
実施例５に係るヘッドサスペンション１０１によれば、実施例１に係るヘッドサスペンション１１と同様の効果を奏する。

本発明の実施例６に係るヘッドサスペンションについて、図面を参照して説明する。

図１０は、実施例６に係るヘッドサスペンションの外観を表す斜視図である。

実施例１に係るヘッドサスペンションと、実施例６に係るヘッドサスペンションとは、基本的な構成要素が共通であるため、共通の構成部材には共通の符合を付し、その重複した説明を省略して、両者の相違点に注目して説明を進める。

実施例１と実施例６との相違点は次の通りである。すなわち、実施例１に係るヘッドサスペンション１１のアクチュエータベース１８は、一対の開口２１を有する。これら一対の各開口２１は、アクチュエータベース１８の基端部１８ａ、前端部１８ｂ、及び基端部１８ａと前端部１８ｂの間を帯状連結部１８ｃによって並列に区画されている。一対の各開口２１には、矩形板状の一対の圧電素子２３が非導電性接着剤４７を介してそれぞれ収容される。

これに対し、実施例６に係るヘッドサスペンション１１１のアクチュエータベース１８は、ひとつの開口２２を有する。この開口２２は、アクチュエータベース１８の基端部１８ａ、前端部１８ｂ、及び略Ｕ字形状の一対の可撓連結部１８ｄ，１８ｅによって区画される。一対の可撓連結部１８ｄ，１８ｅは、基端部１８ａと前端部１８ｂとの間を連結してスウェイ方向の両外方に突出形成されている。開口２２には、矩形板状のひとつの圧電素子２３が非導電性接着剤４７を介して収容される点が、実施例１とは大きく相違している。

本実施例６では、アクチュエータベース１８に形成されたひとつの開口２２と、補助プレート部１８Ａに形成された平面受け部４３及び側面受け部４５とで本発明の取付部が構成されている。

［実施例６が奏する特有の効果］
実施例６が奏する特有の効果は以下の通りである。

実施例６に係るヘッドサスペンション１１１では、一対の可撓連結部１８ｄ，１８ｅを採用すると共に、平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部に圧電素子２３の周縁部２３ｄを非導電性接着剤層４７により囲むように取り付ける構成を採用した。

このため、基本的には、一対の可撓連結部１８ｄ，１８ｅの存在が、ひとつの圧電素子２３周りの剛性向上に寄与するのに加えて、圧電素子２３、圧電素子２３の周縁部２３ｄを囲む非導電性接着剤層４７、及び平面受け部４３及び側面受け部４５を有する取付部が、あたかも三位一体の支持梁のように機能する。

離間部４５ａを境として側面受け部４５が前側及び後側に分離されているにもかかわらず、後側の側面受け部４５ｂ２を非導電性接着剤層４７を介し圧電素子２３に結合すると共に、前側の側面受け部４５ｂ１を非導電性接着剤層４７を介し圧電素子２３に結合することにより、可撓連結部１８ｄ，１８ｅによる剛性向上効果とが相俟って、圧電素子周りの剛性を格段に向上することができる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンション及びヘッドサスペンションの製造方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含される。

すなわち、本発明実施例では、説明の便宜上、磁気ディスクの上方にヘッドサスペンションが対向して位置する使用態様を前提として、その上下等の位置関係を説明した。

ただし、実際の使用態様では、磁気ディスクの下方にヘッドサスペンションが対向して位置する場合もある。こうした場合であっても、本発明は、実施例で述べた位置関係に係る表現を実際の使用態様に合わせて解釈した上で、本発明の技術的思想を曲解することなく、適切に適用可能であることは言うまでもない。

１１，７１，８１，９１ ヘッドサスペンション
１３ ベースプレート
１４ ワーク部材
１４ａ 第１の半製品ワーク
１４ｂ 第２の半製品ワーク
１５ ロードビーム部（ロードビーム）
１７，７３，８３，９３ 圧電アクチュエータ
１８ アクチュエータベース（取付部）
１８Ａ 補助プレート部（取付部）
２１ 実施例１〜５の開口（取付部）
２１ａ 窓部（変位許容部）
２２ 実施例６の開口（取付部）
２３ 圧電素子
２３ａ 圧電素子の表側電極面
２３ｂ 圧電素子の裏側電極面
２３ｃ 圧電素子の外側面
２３ｄ 圧電素子の周縁部
４３ 平面受け部（取付部）
４５ 側面受け部（取付部）
４５ａ 離間部（変位許容部）
４７ 非導電性接着剤層
４８ 導電性部材
４９ 導電性接着剤
７５，８５，９５ 収容部

Claims (10)

1. 導電性のベースプレートとロードビームとの間に設けられて前記ベースプレート側に導通する取付部に、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を設け、前記圧電素子の変形に従って前記ベースプレートに対し前記ロードビームをスウェイ方向に変位させるヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記ベースプレートと一体のアクチュエータベースと、前記アクチュエータベースに対向する補助プレート部とからなり、
   前記補助プレート部は、前記圧電素子の一側平面部の周縁に対向する平面受け部とこの平面受け部に設けられスウェイ方向で前記圧電素子の側面に対向する側面受け部とを有し、
   前記取付部と前記圧電素子との間に介在させ前記圧電素子を前記取付部に取り付ける非導電性接着剤層と、
   前記圧電素子の電極面と前記側面受け部との間を導通接続する導電性部材と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンション。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記圧電素子の周縁部を囲む形状であり、
   前記非導電性接着剤層は、前記取付部と前記圧電素子の周縁部との間に介在させ前記圧電素子の周縁部を囲むようにして設けられ、
   前記導電性部材は、前記非導電性接着剤層を渡って前記圧電素子の電極面と前記側面受け部との間を導通接続する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
3. 請求項１又は２記載のヘッドサスペンションであって、
   前記平面受け部及び側面受け部をスウェイ交差方向前後部間で不連続として前記変位を許容する変位許容部を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記スウェイ方向で一対形成され、
   前記圧電素子は、前記各取付部にそれぞれ固定された、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
5. 請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記取付部は、前記側面受け部の外方にそれぞれ突出した一対の可撓連結部を備え、
   前記圧電素子は、前記取付部に固定された、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、前記導電性部材を受ける接続面を前記圧電素子の電極面に対し面一に備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、その表面に良導電性の金属層を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のヘッドサスペンションであって、
   前記側面受け部は、前記導電性部材の収容部を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンション。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載のヘッドサスペンションを製造するためのヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記ベースプレート及び前記ロードビームに前記取付部を含む半製品ワークを形成する取付部形成工程と、
   前記取付部に前記圧電素子を前記非導電性接着剤層を介在させて取り付ける実装工程と、
   前記導電性部材を塗布する塗布工程と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
10. 請求項８記載のヘッドサスペンションを製造するためヘッドサスペンションの製造方法であって、
    前記ベースプレート及び前記ロードビームに前記取付部を含む半製品ワークを形成する取付部形成工程と、
    前記取付部に前記圧電素子を前記非導電性接着剤層を介在させて取り付ける実装工程と、
    前記導電性部材を塗布する塗布工程とを備え、
    前記取付部形成工程に、前記側面受け部となる部分にパーシャルエッチング処理を施して前記収容部となる部分を形成する収容部形成工程を備えた、
    ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。